Tabla de contenido
Publicidad
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene
sollevata
da
eventuali
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le
pompe
della
serie
Turbo-V300
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
particolarmente adatte per l'uso nei settori legati all'industria dei
semiconduttori, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi
o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V300 ICE
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice "Technical information".
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
−
temperatura: da -20 °C a +70 °C
−
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del control-
ler).
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non
disperdere
l'imballo
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
responsabilità
dovute
ICE
sono
pompe
nell'ambiente.
Il
materiale
La
pompa
non
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
−
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
−
temperatura: da + 5 °C a +35 °C
−
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta
tramite
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V300 ICE devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9433, 969-9533) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse.
Staccare l'adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
è
1
ISTRUZIONI PER L'USO
NOTA
può
essere
danneggiata
opportuni
schermi.
Vedere
ATTENZIONE!
87-900-897-01(C)
rimanendo
l'appendice
Publicidad
Tabla de contenido
