КАТАЛОГ РАСХОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ.
модель
Фильтр предварительной
HLP SMART
врeмя
нóмер
модель
Фильтр предварительной
очистки 5 мкм
HLP 5
+
HLP 5s
+
HLP 5p
+
HLP 5sp
+
HLP 5UV
+
врeмя
6 месяц
нóмер
EO-005-10
модель
Фильтр предварительной
очистки 5 мкм
HLP 10-30
+
HLP 10-30 s
+
HLP 10-30 p
+
HLP 10-30 sp
+
HLP 10-30 UV
+
врeмя
6 месяц
нóмер
EO-005-10
очистки 5 мкм
+
6 месяц
EO-005-10
Модуль
Модуль
A
H7, H7
+
+
+
+
+
+
+
+
+
-
6 месяц
2x2000 dm
EO-MA-11
EJ-2000-0 (x2)
Модуль
Модуль
A
H6
+
+
+
+
+
+
+
+
+
-
6 месяц
5000 dm
EO-MA-11
EJ-5000-0
Модуль
A
+
6 месяц
EO-MA-11
Модуль
Капсула микрофильтрации
H7 TOC, H7 TOC
-
-
-
-
+
3
3
*
2x2000 dm
*
EJ-2000-1 (x2)
Модуль
Капсула микрофильтрации
H6 TOC
-
-
-
-
+
3
3
*
5000 dm
*
EJ-5000-1
Модуль
H7
+
3
2000 dm
*
EJ-2000-0
УФ-лампа
0,2 μm
254 nm
-
-
+
-
-
-
+
-
+
+
12 месяц
8500 godz.
EM-SP-20
EUV-254-0
УФ-лампа
0,2 μm
254 nm
-
-
+
-
-
-
+
-
+
+
12 месяц
8500 godz.
EM-SP-20
EUV-254-0
143