MSA
Interferente
Germano
Hexano
Hidrógeno
Ácido
clorhídrico
Ácido
cianhídrico
Ácido
fluorhídrico
Ácido
sulfhídrico
MEK
Mercaptano
[Metilo]
Metano
Óxido nítrico 100
Dióxido de
nitrógeno
Fosfina
Silano
Dióxido de
sulfuro
Ticloroetile-
no
ES
Concen-
tración
GeH
3
[ppm]
1
1
500
Sin da-
tos
500
0
50
Sin da-
tos
10
Sin da-
tos
10
Sin da-
tos
10
Sin da-
tos
200
Sin da-
tos
5
Sin da-
tos
5000
Sin da-
tos
Sin da-
tos
5
0.5
0.5
1
5
0.2
10
3
1000
Sin da-
tos
Serie ULTIMA X
Anexo: Características técnicas del equipo
B
H
Br
F
2
6
2
2
5
0
0
Sin da-
0
0
tos
0
0
0
Sin da-
0
0
tos
Sin da-
0
0
tos
Sin da-
0
0
tos
Sin da-
0
-0.2
tos
Sin da-
0
0
tos
Sin da-
0
-0.2
tos
Sin da-
0
0
tos
Sin da-
0
0
tos
Sin da-
0.4
1
tos
3
0
0
15
0
0
6
0
0
Sin da-
Sin da-
0
tos
tos
®
NH
NH
EtO
3
2
Sin da-
Sin da-
Sin da-
tos
tos
tos
Sin da-
Sin da-
Sin da-
tos
tos
tos
Sin da-
500
0
tos
0
0
Sin da-
tos
0
3
0
Sin da-
Sin da-
Sin da-
tos
tos
tos
0.5
1
Sin da-
tos
0
Sin da-
3
tos
Sin da-
Sin da-
Sin da-
tos
tos
tos
Sin da-
Sin da-
Sin da-
tos
tos
tos
0
3
Sin da-
tos
Sin da-
Sin da-
0
tos
tos
0
0
0
Sin da-
Sin da-
Sin da-
tos
tos
tos
0
0
Sin da-
tos
Sin da-
Sin da-
Sin da-
tos
tos
tos
93