ข้ อ ผิ ด พลาด
10.3
ข้ อ ผิ ด พลาดที ่ แ สดงบนหน้ า จอของแผงควบคุ ม หากต้ อ งการดู ข ้ อ ผิ ด พลาดที ่ ม ี อ ยู ่ ท ั ้ ง หมด ให้ ก ดเมนู แล้ ว เลื อ ก การ
วิ น ิ จ ฉั ย
รายการข้ อ ผิ ด พลาด
>TU5x00 sc>
ข้ อ ผิ ด พลาด
AUTOCHK. NO FUNC (
การตรวจสอบอั ต โนมั ต ิ
)
หน่ ว ยทำความสะอาด
หน่ ว ยความ
EE RSRVD ERR (
จำผิ ด พลาด
)
แฟลชเสี ย
ความชื ้ น
PCB
เลเซอร์ ต ่ ำ ไป
หน่ ว ยวั ด ไฟฟ้ า
หั ว กระบวนเปิ ด
ความขุ ่ น สู ง เกิ น
ไม่ ม ี ข วด
VIAL PRESENT (
แก้ ว
)
ความสะอาด
VIAL CLARITY (
ของขวดแก้ ว
)
น้ ำ เข้ า
WATER INGRESS (
8
หยดน้ ำ แอ่ ง น้ ำ หรื อ ธารน้ ำ เล็ ก ๆ ที ่ จ ะสร้ า งความเสี ย หายให้ เ ครื ่ อ งมื อ อาจจะเป็ น ภายในตั ว เครื ่ อ งได้
คำอธิ บ าย
ไม่ ม ี
การตรวจสอบระบบอั ต โนมั ต ิ ไ ม่ เ สร็ จ สมบู ร ณ์
หน่ ว ยทำความสะอาดอั ต โนมั ต ิ ม ี ค วามผิ ด ปกติ
เกิ ด ปั ญ หากั บ หน่ ว ยความจำภายใน
หน่ ว ยความจำการสอบเที ย บภายในเสี ย หาย
มี ค วามชื ้ น หรื อ น้ ำ อยู ่ ใ นอุ ป กรณ์
เลเซอร์ ม ี ค วามผิ ด ปกติ
เกิ ด ข้ อ ผิ ด พลาดกั บ การวั ด เกิ ด ปั ญ หากั บ ชิ ้ น ส่ ว น
อิ เ ล็ ก ทรอนิ ก ส์
หั ว กระบวนอยู ่ ใ นตำแหน่ ง เปิ ด หรื อ เครื ่ อ งตรวจจั บ ของ
ส่ ว นหั ว กระบวนมี ค วามผิ ด ปกติ
ค่ า ความขุ ่ น สู ง กว่ า ช่ ว งการตรวจวั ด ของอุ ป กรณ์
1000 FNU)
ไม่ ม ี ข วดแก้ ว อยู ่ ใ นช่ อ งใส่ ข วดแก้ ว
ขวดแก้ ว หรื อ ช่ อ งใส่ ข วดแก้ ว สกปรก
มี น ้ ำ อยู ่ ใ นอุ ป กรณ์
8
)
แนวทางแก้ ไ ขปั ญ หา
ติ ด ต่ อ ฝ่ า ยให้ บ ริ ก ารทางเทคนิ ค
ติ ด ต่ อ ฝ่ า ยให้ บ ริ ก ารทางเทคนิ ค
ติ ด ต่ อ ฝ่ า ยให้ บ ริ ก ารทางเทคนิ ค
ติ ด ต่ อ ฝ่ า ยให้ บ ริ ก ารทางเทคนิ ค
ติ ด ต่ อ ฝ่ า ยให้ บ ริ ก ารทางเทคนิ ค
ติ ด ต่ อ ฝ่ า ยให้ บ ริ ก ารทางเทคนิ ค
ติ ด ต่ อ ฝ่ า ยให้ บ ริ ก ารทางเทคนิ ค
หมุ น หั ว กระบวนไปยั ง ตำแหน่ ง ปิ ด
สู ง สุ ด
ตรวจสอบให้ แ น่ ใ จว่ า ค่ า ความขุ ่ น ของตั ว อย่ า งอยู ่ ภ ายใน
(
ช่ ว งการตรวจวั ด ของอุ ป กรณ์
ติ ด ตั ้ ง ขวดแก้ ว ลงในช่ อ งใส่ ข วดแก้ ว
ทำความสะอาดหรื อ เป่ า ขวดแก้ ว และช่ อ งใส่ ข วดแก้ ว ให้
แห้ ง
หยุ ด การไหลไปยั ง อุ ป กรณ์ ท ั น ที ถอดสายเคเบิ ล เซ็ น เซอร์
ตลั บ ดู ด ความชื ้ น อาจร้ อ นได้ โปรดสั ม ผั ส และนำตลั บ ดู ด
ความชื ้ น ออก เมื ่ อ ตลั บ มี ค วามร้ อ นเท่ า กั บ อุ ณ หภู ม ิ ห ้ อ ง
เท่ า นั ้ น
ไทย
203