3.2 Messa in esercizio del generatore
Accertarsi che durante la fase di messa in esercizio l'area sia adeguatamente ventilata, in quanto dalla valvola a sfera a 3 vie fuoriuscirà
azoto.
Si suppone che il sistema sia configurato con una valvola di intercettazione sull'uscita del generatore e una valvola a sfera a 3 vie sull'ingresso
del dispositivo di applicazione come mostrato nella sezione "Configurazione di sistema consigliata" a pagina 88.
Chiudere la valvola di intercettazione sull'uscita del generatore.
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Regolare la valvola a sfera a 3 vie in modo da isolare il dispositivo di applicazione dal sistema e deviare il flusso verso l'atmosfera.
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Sollevare il pannello di accesso superiore e verificare che la valvola bypass del regolatore di portata di massa N2 sia posizionata in modo
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da dirigere il flusso verso la porta di uscita N2 MFC.
Accendere il generatore dall'interruttore di alimentazione e attendere che entri in modalità
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standby.
Premere
per avviare il generatore. Controllare i manometri situati sulla parte anteriore del
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generatore per verificare che il generatore sia in fase di pressurizzazione.
Nota: durante il degassamento del generatore, sarà presente un ritardo di 30 secondi.
Controllare lo scarico del Mist-X per accertarsi che la valvola di scarico scarichi a intervalli
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regolari. Se la valvola di scarico è bloccata, il generatore non raggiunge la purezza necessaria.
Aprire lentamente la valvola di intercettazione sull'uscita del generatore e consentire il flusso di gas nell'atmosfera.
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Sono necessarie circa 2 ore affinché il generatore raggiunga il grado di purezza indicato nella sezione "Technical Specification" a
pagina 3. Inoltre, le tubazioni del sistema vanno spurgate per circa un'ora per ogni 10 metri di tubazione. La mancata esecuzione di
tale operazione potrebbe danneggiare il dispositivo di applicazione, pertanto si consiglia di monitorare la purezza.
Una volta che il generatore ha raggiunto il grado di purezza specificato e che il sistema è stato spurgato, sarà possibile collegare il
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dispositivo di applicazione. Regolare la valvola a sfera a 3 vie in modo da dirigere il flusso verso il dispositivo di applicazione.
Scambio dei collegamenti della porta di uscita N2
Se è presente un MFC secondario installato nel sistema, è necessario scambiare i collegamenti della porta N2 come indicato di seguito.
Chiudere la valvola di intercettazione sull'uscita del generatore e premere
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modalità Standby. Verrà visualizzata la schermata mostrata in figura.
10 Premere
seguito da
Il generatore continua a funzionare per un massimo di 9 minuti per completare il ciclo e
depressurizzare i tubi di ingresso e le colonne CMS. Una volta terminata questa operazione, il
menu tornerà per impostazione predefinita alla modalità Standby.
11 Scollegare la valvola di intercettazione dal generatore. Non scollegare le tubazioni del sistema dalla valvola di intercettazione,
questa deve restare sigillata per evitare l'ingresso di ossigeno.
12 Svitare la marmitta dalla porta di uscita N2 e installarla sulla porta di uscita N2 MFC.
13 Collegare la valvola di intercettazione alla porta di uscita N2.
14 Regolare la valvola bypass del regolatore di portata di massa N2 in modo da dirigere il flusso verso la porta di uscita N2.
per confermare l'arresto del generatore.
per selezionare la
C O N F I R M S H U T D O W N
S T A N D B Y
R u n
R U N N I N G
S t a n d b y
Y E S
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N O
S H U T T I N G D O W N
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