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B722-40-888 Issue G
Parámetro
Velocidad de bombeo interfásica
para bombas DX interfásicas con N
Flujo de 70 sccm a través de
la válvula interfásica
Flujo de 5 sccm a través de
la válvula interfásica
Velocidad de bombeo
interfásica para:
N
2
He
Presión máxima:
con bomba previa rotativa
†
de paletas:
con una bomba previa de
‡
diafragma:
*
Velocidades de bombeo sin utilizar pantalla de entrada o filtro de entrada. Las pantallas de entrada y los
filtros de entrada reducen la velocidad en, aproximadamente, un 10 %.
†
Presión máxima 48 horas después del desgaseado por calentamiento con una bomba previa rotativa de
paletas bifásica.
‡
Presión máxima 48 horas después del desgaseado por calentamiento con P
Parámetro
Presión de salida crítica
N
2
He
H
2
Desplazamiento mínimo de la bomba previa
Presión de salida continua máxima
(a presión de entrada máxima)
Nitrógeno:
Refrigeración por agua (40 °C ambiente)
Refrigeración por aire forzado (35 °C ambiente)
Refrigeración por convección natural (30 °C ambiente)
Página 12
Tabla 4 – Datos técnicos de las bombas DX (continuación)
EXT255DX ISO100
2
-
-
-
-
–9
<5 × 10
(brida de entrada
DN100ISO-K)
–8
<5 × 10
mbar (brida de
entrada DN100ISO-K)
Tabla 5 – Datos técnicos de las bombas DX
*
†
‡
Edwards y el logotipo de Edwards son marcas comerciales de Edwards Limited.
EXT255iDX ISO100
-
-
10 l/s
–1
8 l/s
mbar
–9
<5 × 10
mbar (brida
de entrada DN100ISO-K)
–8
<5 × 10
mbar (brida
de entrada DN100ISO-K)
b
EXT75DX
8 mbar
6,5 mbar
2,5 mbar
3
–1
0,6 m
h
4 mbar
5 mbar
2 mbar
© Edwards Limited 2015. Todos los derechos reservados.
EXT255DX
100CF
-
-
–1
-
-
–10
<5 × 10
mbar (brida
de entrada DN100CF)
–9
<5 × 10
mbar (brida
de entrada DN100CF)
<5 mbar (500 Pa).
EXT255DX
12 mbar
9 mbar
2,5 mbar
3
0,6 m
h
7 mbar
5 mbar
2 mbar
–1
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