Tabla de contenido
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B722-40-888 Issue G
1. Sistema de vacío
2. Manómetro de alto vacío
3. Aislante de vibraciones
4. Pantalla de entrada
5. Bomba DX
6. Válvula de salida
7. Manómetro de vacío
8. Fuelles flexibles
9. Trampa antirretorno
10. Bomba previa rotativa
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Figura 5 – Sistema de bombeo típico con una bomba DX
Edwards y el logotipo de Edwards son marcas comerciales de Edwards Limited.
11. Filtro de vapores
12. Válvula de ventilación
13. Posición alternativa de la válvula
de ventilación
14. Enfriador de aire
15. Limitador de purga PRX
16. Suministro regulado de gas de purga
17. Refrigerador de agua WCX y
conexiones
© Edwards Limited 2015. Todos los derechos reservados.
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