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C) Plan de sellado 53 – Cierre doble presurizado
U se un depósito o sistema de líquido de protección externo presurizado para suministrar líquido
limpio a la cámara de sellado.
La presión del depósito es mayor que la del proceso de la cámara de sellado.
Presión
externa
Deposito
A.0500.260 – IM-TL/15.00 ES (12/2011)
Sección A-A
A
A
93
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