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orte en ambientes de alto vacío
Diseñado especialmente para la mínima generación de partículas,
fugas y desgasificación.
Fugas:
1
Desgasificación reducida
Reducción de la desgasificación
1
gracias al tratamiento de la superficie
Todas las piezas externas (de
aleación de aluminio) como el
cuerpo y la mesa deslizante están
niqueladas electrolíticamente.
Por otra parte, los imanes externos
están cubiertos de nitruro de titanio.
Nota 1) Consulte con SMC si desea otro tipo de
tratamiento de la superficie.
1.3 x 10
1.3 x 10
-
⁷
10
-
⁸
10
-
⁹
10
-
¹⁰
10
0
Utiliza un cilindro
sin vástago
acoplado
magnéticamente
Nota 1) El diagrama adjunto indica el resultado del test
sin fugas de aire
Nota 2) Para realizar un ajuste de carrera preciso, se
de la masa móvil.
2
Marca con láser
Fugas mínimas
-
-
⁷ Pa⋅m ³ /sec
⁷ Pa⋅m ³ /sec
(a temperatura normal, excluyendo la permeabilización del gas)
Valor estándar
Resultado del test de fugas
5
Duración [min]
2
Las juntas tóricas separan el vacío de la atmósfera.
Las juntas tóricas estáticas se
utilizan siempre entre el vacío y
la atmósfera.
de fugas basado en un test realizado con este
tipo de construcción del cilindro.
han instalado juntas tóricas para separar el
vacío de la atmósfera. Póngase en contacto
con SMC si desea modificar el método de se-
llado.
Materiales de
resina eliminados
La marca con láser se utiliza
para la designación del modelo.
(1.3 x 10 -4 Pa)
o menos
Nota 1) El dato indica la medición de la fuga
en un ambiente de vacío de 10 - ⁵ Pa.
Nota 2) El resultado del test de fugas adjun-
to está basado en un test realizado
durante 10 minutos después de pre-
surizar el cilindro con helio a 0.1
MPa.
Nota 3) Este dato se considera común pero
no está garantizado.
10
Junta tórica
Ajustes precisos
en el extremo de la carrera
Se pueden realizar ajustes precisos
entre –2 a 0mm en un lado (–4 a 0mm
en ambos lados).
Llave hexagonal
ZX
ZR
ZM
ZY
ZH
ZU
ZL
ZF
ZP
ZCU
CYV
Componentes
para vacío
3.11-3
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