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Introducción
1.1
Ámbito y definiciones
En este manual se proporcionan las instrucciones de instalación, uso y mantenimiento del manómetro AIM de Edwards
(manómetro de magnetrón activo invertido) Utilice el manómetro AIM tal y como se especifica en este manual.
Lea este manual antes de realizar la instalación y poner en funcionamiento el manómetro AIM. La información
importante de seguridad aparece destacada a modo de ADVERTENCIAS y PRECAUCIONES; es necesario que siga dichas
instrucciones. A continuación se define el uso de las ADVERTENCIAS y las PRECAUCIONES.
Las advertencias aparecen si, al hacer caso omiso de las instrucciones, existiera la posibilidad de
que se produzcan daños personales o, incluso, la muerte.
Las precauciones aparecen si, al hacer caso omiso de las instrucciones, existiera la posibilidad de que se
produzcan daños en el equipo, el equipo asociado o el proceso.
Las unidades utilizadas a lo largo de este manual cumplen con el sistema internacional SI de unidades de medición.
En el producto figura también el símbolo de advertencia siguiente:
Edwards ofrece un servicio de reciclaje a sus clientes europeos.
1.2
Descripción
El manómetro AIM, que se muestra en la
magnetrón invertido en una sola unidad compacta. Este manómetro funciona como un manómetro de ionización de
cátodo frío en el que la presión se mide de manera indirecta, en función de la corriente que fluye en una descarga
de Townsend mantenida en el barrilete.
Existen cuatro versiones del manómetro AIM: S, SL, X y XL. Los manómetros X y XL tienen una gama de medición
mayor (se puede consultar a continuación) y una salida lineal. Los manómetros SL y XL tienen un campo magnético
externo muy bajo y son adecuados para utilizarse con instrumentos de análisis de gran sensibilidad.
La gama de medición de los manómetros AIM-S y AIM-SL es de 1 × 10
manómetros AIM-X y AIM-XL es de 1 × 10
brida NW25.
El manómetro AIM requiere una fuente de alimentación de entre 13,5 y 36 V CC: tiene una salida analógica de 2 a
10 V CC asociada a la presión. El manómetro AIM es compatible con todos los AGC (controladores de medida activos)
de Edwards y con las versiones adecuadas de AGD (indicadores de medida activos) de Edwards.
También se puede usar una fuente de alimentación independiente para el manómetro AIM y consultar su señal de
salida con un voltímetro o un conversor de señal analógica a digital.
Recomendamos utilizar el manómetro AIM únicamente cuando la presión del sistema de vacío sea de 1 × 10
o menos. Para controlar el funcionamiento del manómetro AIM, se utiliza una señal de activación del manómetro;
para obtener más información, consulte la
© Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
ADVERTENCIA
PRECAUCIÓN
Figura
1, incluye un controlador de medida y un cabezal de calibre con
–9
-2
a 1 × 10
mbar. La conexión de vacío de los manómetros AIM es una
Sección
4.2.
–8
–2
a 1 × 10
mbar. La gama de medición de los
D14641888 Issue L
–2
mbar
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