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INFICON
FTC3000 Instrucciones de uso-mima95es1-04-(2208)
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Fig. 2: FTC3000 montada en la GCU
1
Espárrago trasero (2 uds.)
3
Tuerca moleteada (4 uds.)
5
Espárrago delantero (2 uds.)
1
Quite los cuatro tornillos de la parte superior de la unidad de control de vacío.
PRECAUCIÓN
Lesiones causadas por la corriente eléctrica
Para garantizar una buena puesta a tierra, los cuatro espárragos deben fijarse
correctamente.
► El par de apriete de los espárragos delanteros es de 7 Nm.
► El par de apriete de los espárragos traseros es de 18 Nm.
2
Enrosque los dos espárragos delanteros en los orificios roscados previstos de
la unidad de control de vacío.
3
Enrosque los dos espárragos traseros en los orificios roscados previstos de la
unidad de control de vacío.
4
Coloque la cámara de prueba en los espárragos y fije la cámara cerrada con
las dos tuercas moleteadas delanteras.
5
Abra la cámara y fije las dos tuercas moleteadas traseras.
6
Conecte las conexiones con los cables y los tubos flexibles incluidos en el
volumen de suministro tal como se muestra en «Conexión del aparato [} 18]».
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4
2
Cámara de inspección
4
GCU
Instalación | 5
3
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