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5.4.4
Determinación del factor de muestreo para el modo
de muestreo
5-18
Operación
Dado que normalmente se desconoce la capacidad de aspiración efectiva debido a
los valores de conductancia de las uniones de vacío, se impone una medición
indirecta:
1)
Poner en funcionamiento el LDS2010.
2)
En primer lugar debe realizarse una calibración interna. Capítulo
3)
Conectar una fuga calibrada externa (p. ej. TL 6; valor nominal: 2,0E-6 mbar l/
s) a la cámara de ensayo. Véase el menú 14.
4)
Medir la tasa de fuga (valor real) con la válvula abierta (unión entre cámara de
ensayo y bomba de vacío), p. ej. 5,0E-8 mbar l/s.
5)
Al ajustar (modificar) el factor máquina en el menú 16 se indica la tasa de fuga
resultante.
El factor máquina debe modificarse hasta que se indique el valor de la fuga
calibrada externa (p. ej. 2,0E-6 mbar l/s).
Si la opción "fuga calibrada interna" está instalada (véase el capítulo 4.6.2), es
preciso determinar el factor de muestreo del conjunto del LDS2010.
Después del calibrado interno el factor de muestreo tiene en cuenta el valor de
medición real de la punta de muestreo.
Dado que normalmente se desconoce la capacidad de aspiración efectiva debido a
los valores de conductancia de las uniones de vacío, se impone una medición
indirecta:
1)
Poner en funcionamiento el LDS2010.
2)
En primer lugar debe realizarse una calibración interna. Capítulo
3)
Acercar la punta de muestreo a la fuga calibrada externa (p. ej. valor nominal:
2,0E-5 mbar l/s). Véase el menú 15.
4)
Medir la tasa de fuga (valor real), p. ej. 1,0E-5 mbar l/s.
5)
Al ajustar (modificar) el factor de muestreo en el menú 17 se indica la tasa de
fuga resultante.
El factor de muestreo debe modificarse hasta que se indique el valor de la fuga
calibrada externa (p. ej. 2,0xE-5 mbar l/s).
5.4.1
5.4.1
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