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Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam-
mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An-
zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel-
lenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE ANZ.
ISO 63
Doppelschelle mit
Gewinde M10
Einzelschelle
Gewinde M8
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
HINWEIS
Modell Mini-TASK AG81 kann nicht mittels seines Sockels be-
festigt werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager
könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen
Schaden zugefügt werden.
!
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeits-
freies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck
am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphäri-
schen Druck) betragen.
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
mit
4
11 Nm
GEFAHR!
GEFAHR!
GEFAHR!
GEFAHR!
Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini-TASK
AG81
Zur Einschaltung des Mini-TASK AG81 ist der Netzstecker anzu-
schließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu
stellen (rote Kontrollleuchte eingeschaltet). Der eingebaute Cont-
roller erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und star-
tet die Pumpe.
Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"
über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden
Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"
zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte
den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Informa-
tion", nachschlagen.
Die blauen LEDs "STATUS" an der Bodenplatte von Modell
Mini-TASK AG81 gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be-
triebsbedingungen des System an:
-
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
-
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
"Waiting for Interlock".
-
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des Mini-
TASK AG81 siehe im Anhang "Technical Information".
Stoppen von Modell Mini-TASK AG81
Zur Stillsetzung des Mini-TASK AG81 ist der externe Schalter
auf die Schaltstellung OFF zu schalten (rote Kontrollleuchte
ausgeschaltet). Der eingebaute Controller sorgt für den soforti-
gen Pumpenstopp.
Not-Aus
Zur Notstillsetzung des Mini-TASK AG81 ist der Netzstecker zu
ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu
schalten.
WARTUNG
Modell Mini-TASK AG81 erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service.
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen-
den. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver-
sand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
HINWEIS
87-901-003-01(A)
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