Inficon LDS3000 Traducción Del Manual De Instrucciones Original
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Módulo espectrómetro de masas
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LDS3000, LDS3000 AQ
Módulo Espectrómetro de masas
560-300, 560-600
Versión del software igual o superior a
MS-Modul 2.72
jiqa54es1-10-(1911)

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Resumen de contenidos para Inficon LDS3000

  • Página 1 Traducción del manual de instrucciones original LDS3000, LDS3000 AQ Módulo Espectrómetro de masas 560-300, 560-600 Versión del software igual o superior a jiqa54es1-10-(1911) MS-Modul 2.72...
  • Página 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Colonia, Alemania...

  • Página 3: Tabla De Contenido

    4 Descripción.............................. 15 4.1 Función .............................. 15 4.2 Estructura del aparato .......................... 16 4.2.1 Aparato completo (LDS3000) .....................  16 4.2.2 Aparato completo (LDS3000 AQ) .................... 17 4.2.3 Bloque de conexión ........................ 21 4.2.4 Caja MSB............................  21 4.2.5 Identificativos en el aparato ...................... 24 4.3 Datos técnicos ............................ 24...
  • Página 4 Índice INFICON 7 Funcionamiento LDS3000 .......................... 39 7.1 Conectar el aparato .......................... 39 7.2 Ajustes previos ............................ 40 7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga..................... 41 7.4 Seleccionar la unidad para la presión..................... 42 7.5 Seleccionar modo de compatibilidad ...................... 42 7.6 Seleccionar el modo de servicio ...................... 44 7.7 Seleccionar tipo de gas (masa) ...................... 45...
  • Página 5 8.17 Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular ............. 85 8.18 Selección del cátodo.......................... 86 8.19 Resetear los ajustes .......................... 86 9 Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ)................ 87 9.1 Seleccionar el tipo del módulo de ampliación.................. 87 9.2 Ajustes para el módulo I/O IO1000...................... 87 9.2.1 Ajustes generales de interfaz......................
  • Página 6 11.3.4.2 Comprobar y actualizar la versión de software de la caja MSB........ 126 11.3.4.3 Actualizar el software del módulo I/O................ 127 12 Mantenimiento .............................. 129 12.1 Mantenimiento por INFICON ........................ 129 12.2 Indicaciones generales para el mantenimiento .................. 129 12.3 Plan de mantenimiento ......................... 130 12.4 Trabajos de mantenimiento ........................ 131 12.4.1 Sustituir el depósito de lubricante de la bomba turbomolecular ..........

  • Página 7: Acerca De Estas Instrucciones

    Las presentes instrucciones de servicio describen el montaje y el manejo del módulo espectrómetro de masas LDS3000. Está disponible en dos variantes diferentes: • LDS3000 • LDS3000 AQ (acumulación), también conmutable para todos los demás modos de funcionamiento. 1.1 Otros documentos aplicables...

  • Página 8: Definiciones De Los Términos

    En el modo de servicio "Aspiración", el gas de prueba sale del objeto de ensayo y se aspira con un mango de aspiración. La presión en el objeto de ensayo es mayor que la presión ambiente. 8 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)
  • Página 9 Modo de servicio «Aspiración»: Mediante el conducto de aspiración se lleva de forma continua el aire ambiente al detector de fugas. La cantidad de helio o hidrógeno presente en el aire de forma natural crea así un límite inferior constante. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 9 / 142...

  • Página 10: Presión De Vacío Previo

    Crea una señal de medición que baja lentamente. En caso de que desee ocultar este límite inferior o también la visualización de una fuga existente, puede ajustar la función ZERO. 10 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 11: Seguridad

    El LDS3000 AQ sirve para medir los gases de prueba para su enriquecimiento en una cámara de medición externa, pero también se puede remodelar para todos los demás fines.

  • Página 12: Cualificación Del Personal

    • Evite la aspiración de gases, p. ej., de hidrógeno, por encima del límite inferior de explosión. Para la composición admitida de mezclas de gas comercial, nos remitimos a las hojas de datos de seguridad del fabricante respectivo. 12 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)
  • Página 13 • Tome medidas de protección adecuadas. Peligro derivado de la Una cámara de medición externa que se conecta a un LDS3000 AQ se drena con implosión de una aprox. 60 sccm. Si se respeta el tiempo de medición habitual (2 - 30 segundos), no se cámara de medición...

  • Página 14: Volumen De Suministro, Transporte, Almacenamiento

    Manual de instrucciones Lápiz USB con instrucciones, planos en 3D y vídeos 1º) Incluye o bien el AQ LDS3000 560-300 o bien el 560-600 LDS3000 (acumulación). 2º) Véase «Seleccionar los componentes y establecer las conexiones [} 36]». ► A la recepción del aparato, compruebe si el volumen de suministro está completo.

  • Página 15: Descripción

    El módulo de espectrómetro de masas forma parte del sistema de prueba de estanqueidad LDS3000 y LDS3000 AQ. Se puede utilizar en una instalación de comprobación junto con un módulo de bus o un módulo I/O y un cable de datos sin accesorios INFICON adicionales.

  • Página 16: Estructura Del Aparato

    INFICON 4.2 Estructura del aparato 4.2.1 Aparato completo (LDS3000) Fig. 1: Módulo de espectrómetro de masas LDS3000 Bloque de conexión. Conexiones para instalación de comprobación, bomba de vacío previo, sensor de presión PSG500, fuga calibrada interna y conducto de aspiración, consulte también "Bloque de conexión [} 21]".

  • Página 17: Aparato Completo (Lds3000 Aq)

    Bomba de vacío previa seca con alimentación eléctrica separada. No se incluye en la entrega. La "Bomba de membrana LDS AQ" se puede pedir a INFICON con el número de pedido 560-630 y el "DIN Rail Power Supply 24 V, 10 A" con el número de pedido 560-324.
  • Página 18 1 Sensor de presión PSG500 para la medición del presión de entrada 2 Brida de regulación GROSS con manguera de conexión a la bomba de vacío previo 3 Tubo corrugado a la cámara de medición 4 Conexiones ULTRA brida ciega 18 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)
  • Página 19 ZERO se encuentran en la unidad de manejo CU1000 de INFICON. Véase también «Seleccionar los componentes y establecer las conexiones [} 36]». Accesorio opcional de Con la excepción de la cámara de medición, INFICON también oferta las piezas INFICON necesarias.
  • Página 20 • Conexiones ISO-KF (p. ej. brida roscada), disponibles en la página web de INFICON en "Componentes de vacío". • Anillos de centrado ISO-K y juntas, disponibles en la página web de INFICON en "Componentes de vacío". • Fuente de alimentación en carril DIN 24 V, 10 A de INFICON (código 560-324) para bomba de vacío previa seca de INFICON...

  • Página 21: Bloque De Conexión

    Válvula 2 (gas de traza), 24 V, máx. 1 A Válvula 3 (no se utiliza, reserva) Válvula 4 (no se utiliza, reserva) Válvula 6 (no se utiliza, reserva) SNIFFER Conexión eléctrica para el conducto de aspiración LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 21 / 142...
  • Página 22 INFICON GAUGES, EXT Conexión para puntos de medición de presión externos opcionales (0 ... 10 V/0 … 20 mA) para el servicio técnico de INFICON Asignación de conectores Salida de +24 V, máx. 200 mA Entrada para punto de medición de presión del servicio técnico P3, 0... 10 V Referencia para la entrada para el punto de medición de presión del servicio...
  • Página 23 Se está actualizando el software Verde Verde, parpadea Se está actualizando el software SERVICE Conexión RS232 para el servicio técnico de INFICON I/O / ANYBUS CONTROL UNIT Conexión para módulo I/O o de bus o unidad de manejo Las conexiones "I/O Anybus" y "Control Unit" tienen la misma funcionalidad. A elección, se pueden conectar:...

  • Página 24: Identificativos En El Aparato

    Mínima tasa de fuga detectable en vacío 5E-12 mbar l/s Mínima tasa de fuga detectable en 1E-7 mbar l/s muestreo Masas detectables 4He, H2, Masa 3 (por ejemplo H-D, 3He o H3) Fuente iónica 2 longlife filamentos de iridio, revestido con itria 24 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 25: Condiciones Ambientales

    – con XL Sniffer Adapter (Low Flow) 0,6 mbar Presión de control capilar obstruido – con XL Sniffer Adapter (High Flow) 150 mbar Presión de control capilar roto – con XL Sniffer Adapter (High Flow) 400 mbar LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 25 / 142...
  • Página 26 Factor de calibración VAC/SNIF Mx (para vacío, aspiración y todas las masas) Selección de cátodos Auto Cat1 Modo de compatibilidad LDS3000 Config. Salida analógica 1 Mantisa tasa de fuga Config. Salida analógica 2 Exponente tasa de fuga Config. Salida analógica escala 0.5 V / década...
  • Página 27 Nivel de disparo 1 (2, 3, 4) 1 x 10 mbar l/s 5 x 10 (1 x 10 ) mbar l/s Comprobación del preamplificador en Mensaje de mantenimiento ZERO al iniciar Modo ZERO Suprimir todo 1) en el modo AQ LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 27 / 142...

  • Página 28: Montaje Lds3000

    5 | Montaje LDS3000 INFICON 5 Montaje LDS3000 5.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje Seleccionar la ubicación Escoja un entorno a ser posible libre de helio para llevar a cabo el procedimiento de medición. Para obtener mediciones fiables con el aparato, el contenido de helio en el aire debe ser menor que 10 ppm.

  • Página 29: Montar El Módulo De Espectrómetro De Masas En La Instalación De Comprobación

    INFICON Montaje LDS3000 | 5 5.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación El módulo de espectrómetro de masas se puede montar en todas las posiciones. Fig. 9: Componentes de un elemento de fijación Tornillo Allen M8 x 50...

  • Página 30: Seleccionar Conexión Ultra, Fine O Gross

    Los siguientes datos son válidos en caso de uso de helio como gas de prueba. Para alcanzar la KnL se tienen que cumplir las siguientes condiciones: • El LDS3000 debe estar en funcionamiento desde hace 20 minutos, como mínimo. 30 / 142...
  • Página 31 INFICON Montaje LDS3000 | 5 • Las condiciones ambientales deben ser estables (temperatura, ausencia de vibraciones/choques, entorno limpio) • El objeto de ensayo tiene que funcionar con ZERO desconectado hasta que la base sea estable. Solo después se permite activar la función ZERO.

  • Página 32: Establecer Las Conexiones De Los Componentes

    5 | Montaje LDS3000 INFICON 5.4 Establecer las conexiones de los componentes Conecte el sensor de presión PSG500 a una de las conexiones GROSS/ FOREPUMP. Conectar la bomba de vacío previo a la segunda conexión GROSS/ FOREPUMP. Para el modo de muestreo, conecte el conducto de aspiración a una de las conexiones FINE/SNIFFER.

  • Página 33: Montaje Lds3000 Aq (Acumulación)

    INFICON Montaje LDS3000 AQ (acumulación) | 6 6 Montaje LDS3000 AQ (acumulación) 6.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje Seleccionar la ubicación Escoja un entorno a ser posible libre de helio para llevar a cabo el procedimiento de medición.

  • Página 34: Montar El Módulo De Espectrómetro De Masas En La Instalación De Comprobación

    6 | Montaje LDS3000 AQ (acumulación) INFICON 6.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación El módulo de espectrómetro de masas se puede montar en todas las posiciones. Fig. 11: Componentes de un elemento de fijación...
  • Página 35 INFICON Montaje LDS3000 AQ (acumulación) | 6 En el estado de entrega, los cojinetes están fijados en el bastidor base con la ayuda de los tornillos Allen y las tuercas de transporte. Para el montaje del módulo de espectrómetro de masas, utilice las tuercas autobloqueantes adjuntas, no las tuercas de transporte.

  • Página 36: Seleccionar Los Componentes Y Establecer Las Conexiones

    Bomba de vacío previa seca con alimentación eléctrica separada. No se incluye en la entrega. La "Bomba de membrana LDS AQ" se puede pedir a INFICON con el número de pedido 560-630 y el "DIN Rail Power Supply 24 V, 10 A" con el número de pedido 560-324.
  • Página 37 INFICON Montaje LDS3000 AQ (acumulación) | 6 ü Consta de un módulo del espectrómetro de masas (acumulación) de INFICON, un tubo corrugado y las conexiones representadas. ü Dispone de una bomba de vacío previo seca con su propia alimentación eléctrica.

  • Página 38: Establecer Las Conexiones Eléctricas

    6 | Montaje LDS3000 AQ (acumulación) INFICON La salida de aire de la bomba de vacío previa debería encontrarse lo más lejos posible de la cámara de pruebas. Consulte también 2 Aparato completo (LDS3000 AQ) [} 17] 6.4 Establecer las conexiones eléctricas La totalidad de las conexiones eléctricas se tienden de y a la caja MSB.

  • Página 39: Funcionamiento Lds3000

    (funcionamiento en "High Flow"). Los aparatos LDS3000 AQ también se pueden usar si no se operan en el modo AQ. Más información sobre la unidad de manejo, los módulos y el XL Sniffer Adapter se encuentran en los documentos: •...

  • Página 40: Ajustes Previos

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Establezca la alimentación de tensión hacia el módulo de espectrómetro de masas. ð El sistema arranca automáticamente. ð Si un XL Sniffer Adapter y el CU1000 están conectados, después del arranque se le preguntará si desea ajustar el modo de servicio "XL Sniffer Adapter". Esto no se aplica en los aparatos en el modo AQ.

  • Página 41: Seleccionar La Unidad Para La Tasa De Fuga

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga Indicación unidad Selección de la unidad de tasa de fuga en el display para vacío y muestreo de tasa de fuga mbar l/s (Ajustes de fábrica)

  • Página 42: Seleccionar La Unidad Para La Presión

    Se muestra el idioma según los ajustes de fábrica. Para modificar el idioma, consulte “Ajustes previos [} 40]“. Si posteriormente desea volver a utilizar el LDS3000 en el modo normal, guarde antes sus parámetros en una memoria USB, consulte "Guardar y cargar parámetros [} 59]".
  • Página 43 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 La siguiente tabla muestra las diferencias funcionales y los puntos en común de LDS2010 y LDS3000: LDS2010 LDS3000 Salidas de disparador sin referencia común con referencia común Otras salidas con referencia común con referencia común Disparador 1 (LED de muestreo, Activación LED de muestreo, salida...

  • Página 44: Seleccionar El Modo De Servicio

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON LDS2010 LDS3000 Número de revoluciones de la solo 2 números de revoluciones ajustable mediante puertos en serie bomba turbomolecular de 750 Hz hasta 1500 Hz, mediante panel de mando 1000 Hz y 1500 Hz Dirección RS485 sí, apto para bus...

  • Página 45: Seleccionar Tipo De Gas (Masa)

    El aparato cambia automáticamente al modo de servicio “XL Sniffer Adapter“ cuando conecta un XL Sniffer Adapter. En LDS3000 AQ, "AQ" viene predefinido. ► Si fuera necesario, puede ajustar "AQ" de nuevo en el "modo de compatibilidad". Seleccionar el modo de servicio VAC (Vacío)

  • Página 46: Calibrar El Aparato

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON 7.8 Calibrar el aparato 7.8.1 Momento y ajustes previos generales INDICACIÓN Calibración incorrecta debido a una temperatura de funcionamiento demasiado baja Si se calibra el aparato cuando está frío, puede suministrar resultados de medición incorrectos.
  • Página 47 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Activar solicitud de Si la solicitud de calibración está activada, el aparato solicita una calibración en caso calibración de variaciones de temperatura superiores a 5°C y al cabo de 30 minutos desde la conexión. Unidad de manejo Funciones >...

  • Página 48: Configurar E Iniciar Calibración Interna

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON de la calibración el factor máquina o de muestreo, consulte "Ajustar el factor máquina y de muestreo [} 56]" – No con el XL Sniffer Adapter externa – Modo de vacío: con fuga calibrada externa en una instalación de comprobación...

  • Página 49: Configurar E Iniciar Calibración Externa

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Abrir/ Abrir/cerrar fuga calibrada. Se realiza automáticamente con la calibración interna. Si cerrar fuga calibrada la fuga calibrada se abre mediante la unidad de manejo o la interfaz, no se puede realizar una calibración interna. En este caso, primero se debe volver a cerrar la fuga calibrada.
  • Página 50 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Tasa de fuga calibrada Definición de la tasa de fuga de la fuga calibrada que será utilizada para la – externa muestreo calibración. Si no se introduce este valor, la calibración no es posible. Para cada gas (masa) se tiene que ajustar una tasa de fuga específica.

  • Página 51: Iniciar La Calibración Dinámica Externa

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Fig. 14: Calibración externa con IO1000 en el ejemplo del conducto de aspiración SL3000XL, descripción de las entradas y salidas de PCL, consulte "Asignar entradas y salidas [} 88]" 7.8.4 Iniciar la calibración dinámica externa Para tener en cuenta condiciones de tiempo y presión especiales en un sistema de prueba, se puede efectuar una calibración dinámica.
  • Página 52 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Abra la fuga calibrada externa o coloque el conducto de aspiración junto a la fuga calibrada. Inicie la medición. Espere hasta el momento en el que la señal de la tasa de fuga se ajuste de forma óptima al procedimiento de medición normal de la instalación.

  • Página 53: Calibración Externa Con El Conducto De Aspiración Sl3000Xl

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Fig. 15: Fig. 7 Calibración externa dinámica con IO1000 en el ejemplo del conducto de aspiración SL3000XL, descripción de las entradas y salidas de PCL, consulte "Asignar entradas y salidas [} 88]" 7.8.5 Calibración externa con el conducto de aspiración SL3000XL El procedimiento corresponde al de una calibración externa o externa dinámica en el...

  • Página 54: Comprobar Calibración

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Para la calibración recomendamos nuestra fuga calibrada con el número de catálogo 12322. 7.8.6 Comprobar calibración Para comprobar si una calibración es necesaria, puede comprobar las existentes. 7.8.6.1 Comprobar calibración con fuga calibrada interna Esta prueba solamente es posible con el ajuste "Masa 4".

  • Página 55: Introducir El Factor De Calibrado

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 ð La prueba está terminada cuando: Unidad de manejo: Se muestra el resultado de la prueba Protocolo LD: Como en los otros pasos, se tiene que consultar el desarrollo Protocolo ASCII: Como en los otros pasos, se tiene que consultar el desarrollo IO1000 compare la imagen en "Configurar e iniciar calibración externa [} 49]".

  • Página 56: Ajustar El Factor Máquina Y De Muestreo

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Fac.calib. >Masa 2 (3, 4) > Factor de calibrado VAC H2 (M3, He) Protocolo LD Comando 520 Protocolo ASCII Comando *FACtor:CALVac 7.8.8 Ajustar el factor máquina y de muestreo La calibración interna calibra únicamente el sistema de medición del módulo de...

  • Página 57: Ajustar El Factor Máquina Y De Muestreo A Través De La Calibración De La Máquina

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Protocolo LD Comando 522 Protocolo ASCII Comando *FACtor:FACMachine Ajustar el factor de Corrige una posible desviación entre el calibrado interno y externo en el modo de muestreo muestreo Rango de valores 1E-4...1E+4 Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear >...

  • Página 58: Iniciar Y Parar La Medición

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Confirme la señal de tasa de fuga estabilizada. Unidad de manejo: "OK" Protocolo LD: 11, Parámetro 1 Protocolo ASCII: *CAL:CLOSED IO1000 consulte la imagen en "Configurar e iniciar calibración externa [} 49]" ð Se ha determinado el factor máquina o de muestreo.

  • Página 59: Guardar Y Cargar Parámetros

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 7.10 Guardar y cargar parámetros Para salvar y restaurar los parámetros de la unidad de manejo y del módulo de espectrómetro de masas se puede utilizar un lápiz USB en el CU1000. Guardar parámetros: ► "Funciones > Datos > Parámetro > Cargar > Guardar parámetros"...

  • Página 60: Representación De Resultados De Medición Con Filtros De Señales

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Activar y desactivar ZERO al iniciar suprime el fondo de helio automáticamente al iniciar una medición. "ZERO al iniciar" Unidad de Ajustes > ZERO/filtro > ZERO > ZERO al iniciar manejo Protocolo LD Comando 409...
  • Página 61 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 – Para el modo de servicio "Husmear" se suele seleccionar el filtro de señales I (I- Filter). – Si el filtro de señales debe imitar el comportamiento temporal de los aparatos antiguos, se elige el filtro "Fijo" o "2 niv".

  • Página 62: Control De La Válvula De Gas De Traza De La Bomba De Vacío Previo

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON 7.14 Control de la válvula de gas de traza de la bomba de vacío previo El módulo de espectrómetro de masas puede controlar a través de la conexión "Output" una válvula de gas de traza eléctrica de 24 V de la bomba de vacío previo.

  • Página 63: Ajustar Valores De Disparo

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 7.16 Ajustar valores de disparo El módulo de espectrómetro de masas posee cuatro valores de disparo independientes. Si la tasa de fuga medida sobrepasa los valores de disparo ajustado, se activan las salidas digitales correspondientes del IO1000.

  • Página 64: Ajuste El Número De Revoluciones De La Bomba Turbomolecular

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Detección de la Detección automática de la ausencia de un conducto de aspiración. Esta función se ausencia de un debería desactivar si se utiliza un conducto de aspiración que no se detecta conducto de aspiración automáticamente.

  • Página 65: Ajustes Para El Xl Sniffer Adapter

    INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 CAT1 CAT2 Auto Cat1 (conmutación automática al cátodo 2, ajustes de fábrica) Auto Cat2 (conmutación automática al cátodo 1) Unidad de Ajustes > Configurar > Módulo MS > Fuente iónica > Selección de manejo cátodos...
  • Página 66 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Protocolo ASCII Comando *CONFig:SEARch En el SL3000XL la barra de la tasa de fuga, el cambio de la iluminación de fondo, el zumbador y el cambio de la iluminación de la punta de aspiración dependen del disparo.
  • Página 67 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > manejo Proporción de gas > Masa 2 > Proporción de gas en % H2 Protocolo LD Comando 416 Protocolo ASCII Comando *CONFig:PERcent Intervalo Auto Standby Define el intervalo de tiempo en minutos hasta la activación de Standby.

  • Página 68: Resetear Los Ajustes

    7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Grande (High Flow) Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Flujo > Control flujo o manejo Funciones > Flujo > Control flujo Protocolo LD Comando 229 Protocolo ASCII Comando *CONFig:Highflow 7.21 Resetear los ajustes Módulo de...

  • Página 69: Modo De Servicio Lds3000 Aq (Acumulación)

    INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 8 Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) 8.1 Conectar el aparato Conecte la bomba de vacío previo. Establezca la alimentación de tensión hacia el módulo de espectrómetro de masas. ð El sistema arranca automáticamente.

  • Página 70: Seleccionar La Unidad Para La Tasa De Fuga

    8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON Protocolo ASCII *HOUR:DATE Ajustar la hora Formato hh:mm Unidad de manejo Ajustes > Fecha/hora > Hora Protocolo LD Comando 450 Protocolo ASCII *HOUR:TIME 8.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga Indicación unidad...

  • Página 71: Seleccionar La Unidad Para La Presión

    Se muestra el idioma según los ajustes de fábrica. Para modificar el idioma, consulte “Ajustes previos [} 69]“. Si posteriormente desea volver a utilizar el LDS3000 en el modo normal, guarde antes sus parámetros en una memoria USB, consulte "Guardar y cargar parámetros [} 84]".
  • Página 72 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Compatibilidad > Modo de compatibilidad Protocolo LD Comando 2594 (dez) Protocolo ASCII Comando *CONFig:COMP La siguiente tabla muestra las diferencias funcionales y los puntos en común de...
  • Página 73 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 LDS2010 LDS3000 Modo de compatibilidad 9.2 Otras funciones Valores por defecto y mensajes de LDS1000 error (los valores por defecto se emiten a través de la interfaz; en la pantalla táctil aparece el mensaje origina- ->...

  • Página 74: Realizar Los Ajustes Básicos Con El Asistente

    8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON LDS2010 LDS3000 Interruptor de llave instalado fijamente en caso necesario se puede conectar externamente, consulte "Asignar las entradas digitales del módulo I/O [} 95]" (interruptor de llave) 8.6 Realizar los ajustes básicos con el asistente Recomendamos el uso del asistente de AQ para los ajustes importantes y el calibrado.

  • Página 75: Determinar El Peak

    INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 También se pueden realizar los ajustes desde aquí: Menú principal > Ajustes > Configuración > Modo de servicio > AQ Menú principal > Ajustes > Masa 8.7 Determinar el peak Para obtener unos resultados de medición lo más exactos posibles, antes de un calibrado se debería determinar siempre el "´peak"...

  • Página 76: Calibrar El Aparato

    8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON Tamaño mínimo de la tasa de fuga de la fuga calibrada Para realizar un calibrado estable, recomendamos un tamaño mínimo de la tasa de fugas de la fuga calibrada empleada. Para mantener el tiempo de medición recomendado por el asistente AQ, la tasa de...
  • Página 77 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 Apagar la Durante la calibración el aparato comprueba el preamplificador instalado. Puede comprobación del desconectar la comprobación del preamplificador. Así la calibración será más rápida, preamplificador pero disminuirá la fiabilidad. Unidad de manejo Ajustes >...

  • Página 78: Introducir El Factor De Calibrado

    8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON 2 Ajustar el factor máquina y de muestreo [} 81] 8.9.2 Introducir el factor de calibrado Normalmente se fija el factor de calibración mediante la rutina de calibración correspondiente. Por tanto, normalmente no es necesario ajustar el factor de calibración manualmente.
  • Página 79 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 ð Se muestra la tasa de fuga de la fuga calibrada y se pregunta si se debe iniciar el calibrado. Confirme con "OK" el inicio del proceso de calibrado. Siga las instrucciones en la pantalla.
  • Página 80 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON ð En caso de error: Protocolo LD: Comando 260 estado 51...59 (estados de error) Protocolo ASCII: *STATus:CAL? en “FAIL“ IO1000: Entrada "Error o advertencia" Fig. 16: Calibrado externo con IO1000 en un aparato para el modo AQ. Para la descripción de las entradas y salidas PLC, véase "Asignar entradas y salidas [} 88]"...

  • Página 81: Ejecutar Zero

    Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 8.10 Ejecutar ZERO Después del arranque del LDS3000 AQ y la elección del formigas como tipo de gas, el hidrógeno existente del sistema de vacío se ocupa inicialmente de que en la pantalla se pueda ver una curva ascendente.
  • Página 82 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON ð El aparato indica una tasa de fuga demasiado pequeña, conforme a la proporción de flujo parcial. Ajustar el factor máquina o de muestreo, ver abajo. ð El aparato indica la tasa de fuga efectiva.

  • Página 83: Realizar La Medición

    ADVERTENCIA Peligro derivado de la implosión de una cámara de medición Una cámara de medición externa que se conecta a un LDS3000 AQ se drena con aprox. 60 sccm. Si se respeta el tiempo de medición habitual (2 - 30 segundos), no se genera una presión negativa peligrosa.

  • Página 84: Guardar Y Cargar Parámetros

    8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON 8.13 Guardar y cargar parámetros Para salvar y restaurar los parámetros de la unidad de manejo y del módulo de espectrómetro de masas se puede utilizar un lápiz USB en el CU1000.

  • Página 85: Ajuste El Número De Revoluciones De La Bomba Turbomolecular

    INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 – hasta 11 décadas en SNIF – hasta 8 décadas en el modo AQ Si por un ajuste inadecuado, el área útil es de menos de una década, el límite superior se desplaza hasta que sigue siendo visible una década.

  • Página 86: Selección Del Cátodo

    8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON 8.18 Selección del cátodo Selección de un cátodo El espectrómetro de masas tiene dos cátodos. En los ajustes de fábrica el aparato usa el cátodo 1. Si este está defectuoso, el aparato cambia automáticamente a otro cátodo.

  • Página 87: Usar El Módulo De Ampliación (Lds3000, Lds3000 Aq)

    INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 9 Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) 9.1 Seleccionar el tipo del módulo de ampliación Seleccionar el módulo Seleccione el tipo del módulo conectado a la conexión I/O de ampliación...

  • Página 88: Asignar Entradas Y Salidas

    9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON 9.2.2 Asignar entradas y salidas Asignar las salidas Las salidas analógicas del módulo I/O IO1000 se pueden asignar a diferentes analógicas del módulo representaciones de valores medidos. Posibles funciones: ver la siguiente tabla Unidad de Ajustes >...
  • Página 89 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Tasa de fuga lineal x ... 10 V; lineal; en la unidad seleccionada El límite superior (=10 V) se ajusta a través del parámetro «Exponente valor límite superior». El valor inferior siempre es 0 (tasa de fuga), lo cual se corresponde con una tensión de salida de 0 V.
  • Página 90 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Tasa de fuga log. H./ Funciones especiales. Utilice únicamente por Tasa de fuga exp. inv. recomendación de INFICON. Fig. 17: Tensión de salida analógica Tasa de fuga log. 1 V/década Fig. 18: Tensión de salida analógica Tasa de fuga log.
  • Página 91 Modo de compatibilidad Tensión LDS1000 LDS2010 10 V LDS3000 10,237 V Configuración Para la transmisión de los ajustes de LDS2010 a LDS3000 se puede utilizar la (compatible con siguiente tabla. LDS2010) LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite superior...
  • Página 92 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite superior Ajus. Punto analógica LDS3000 tasa de fuga (10 V = ...) del menú del canal Tasa de fuga exponente en la unidad...
  • Página 93 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite superior Ajus. Punto analógica LDS3000 tasa de fuga (10 V = ...) del menú del canal Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 2 V/déc.
  • Página 94 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite superior Ajus. Punto analógica LDS3000 tasa de fuga (10 V = ...) del menú del canal Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 1 V/déc.

  • Página 95: Asignar Las Entradas Digitales Del Módulo I/O

    INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite superior Ajus. Punto analógica LDS3000 tasa de fuga (10 V = ...) del menú del canal Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 1 V/déc.
  • Página 96 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Función Flanco/ Descripción estado: Sin función – Sin función CAL dinám. inactivo → activo: Iniciar la calibración dinámica externa. activo → inactivo: Aplicar el valor para el límite inferior y terminar la calibración.

  • Página 97: Asignar Las Salidas Digitales Del Módulo I/O

    INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Función Flanco/ Descripción estado: Tecla 3 activo: Usuario «Integrator» inactivo → activo: En Standby se inicia una calibración interna. En Meas se inicia una calibración externa. inactivo → activo: Se abre la fuga calibrada interna.
  • Página 98 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Posibles funciones: ver la siguiente tabla Unidad de Ajustes >Configurar > Interfaces > Módulo I/O > Sal. dig. > manejo Configuración Salida dig. Protocolo LD Comando 263 Protocolo ASCII *CONFig:PLCOUTLINK:1 (2 ...

  • Página 99: Ajustes Para El Módulo De Bus Bm1000

    INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Función Estado: Descripción ZERO activo cerrado: ZERO activado abierto: ZERO desactivado Emisión ON cerrado: Emisión activada abierto: Emisión desactivada Medir cerrado: Medición (ZERO es posible, todas las salidas de disparador conmutan en función de la tasa de fuga.)
  • Página 100 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Protocolo ASCII – 100 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 101: Mensajes De Advertencia Y Error (Lds3000, Lds3000 Aq)

    INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 10 Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) El aparato está dotado de funciones de autodiagnóstico muy completas. Mensajes de error Los errores son incidencias que el aparato no puede subsanar por sí mismo y obligan a interrumpir el funcionamiento.
  • Página 102 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Advertenc Indicación de error Número de error Valores Causa ia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocolo ASCII Error (Err) Protocolo Modo de compatibili LDS1000/ LDS2010 Wrn110 Reloj no ajustado...
  • Página 103 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Advertenc Indicación de error Número de error Valores Causa ia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocolo ASCII Error (Err) Protocolo Modo de compatibili LDS1000/ LDS2010 Wrn204 Tensión 24V_PWR34 fuera Cortocircuito en la válvula 3 o...
  • Página 104 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Advertenc Indicación de error Número de error Valores Causa ia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocolo ASCII Error (Err) Protocolo Modo de compatibili LDS1000/ LDS2010 3xx sistema de detección (offset preamplificador, comprobación del preamplificador, emisión, comprobación del cátodo)
  • Página 105 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Advertenc Indicación de error Número de error Valores Causa ia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocolo ASCII Error (Err) Protocolo Modo de compatibili LDS1000/ LDS2010 Wrn332 Sistema contaminado con Tasa de fuga muy negativa (p.
  • Página 106 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Advertenc Indicación de error Número de error Valores Causa ia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocolo ASCII Error (Err) Protocolo Modo de compatibili LDS1000/ LDS2010 Wrn361 Offset preamplificador >+/-50 mV...
  • Página 107 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Advertenc Indicación de error Número de error Valores Causa ia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocolo ASCII Error (Err) Protocolo Modo de compatibili LDS1000/ LDS2010 Err420 Tensión TMP demasiado Fuente de alimentación...
  • Página 108 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Wrn522 Aumento de presión, caída < 90% del La emisión era estable emisión valor anteriormente, presión p1 nominal demasiado alta, mensaje al cabo de 5s > 110% del valor...
  • Página 109 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Wrn603 FactorCal más alto que en > 200% del Fuga de calibración, factor la última calibración valor máquina o proporción de flujo antiguo parcial modificados Wrn604 Calibrado interno no es Fuga calibrada no habilitada posible;...

  • Página 110: Representación Del Código De Error Con La Ayuda De Los Led De Estado

    10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Wrn670 Error en la calibración Como ha aparecido un problema durante la calibración, debe realizar la calibración de nuevo. Wrn671 No se ha encontrado el La señal no estuvo lo pico suficientemente inmóvil durante la...
  • Página 111 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 • Decenas: 0 ... 9 señales rojas para errores o 0 ... 9 señales naranjas para advertencias • Separación: señal azul • Unidades: 0 ... 9 señales rojas para errores o 0 ... 9 señales naranjas para advertencias El código de intermitencia se repite cíclicamente.

  • Página 112: Funcionamiento Cu1000 (Opcional)

    Tasa de fuga con la función Peak Hold 10 Representación gráfica de la tasa 11 Eje del tiempo 12 Presión de vacío previo de fuga y de la función Peak Hold 13 Tecla "Favorito 2" 14 Tecla "Favorito 1" 15 Menú 112 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 113: Bloqueo De Teclado

    En el aparato están guardados unos mensajes de advertencia activos. Los mensajes de advertencia activos se pueden visualizar a través del menú «Información > Historial > Advertencias activas». 7 - Gas de prueba Gas de prueba ajustado y concentración del gas de prueba en %. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 113 / 142...
  • Página 114 Bajo esta tecla se pueden guardar los parámetros favoritos, véase “Ajustes de la pantalla táctil [} 116]“. En la figura de “Elementos de la pantalla de medición [} 112]“, la tecla "Favorito 1" tiene asignada la función "ZERO" como ejemplo. 114 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 115: Elementos De Visualización De Errores Y Advertencias

    También encontrará una vista general de los posibles errores u advertencias en las instrucciones de servicio para el LDS3000 (módulo del espectrómetro de masas), capítulo "Mensajes de advertencia y de error". LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 115 / 142...

  • Página 116: Ajustes Y Funciones

    A continuación se explican los ajustes y las funciones de la unidad de manejo. Los ajustes y las funciones del módulo de espectrómetro de masas LDS3000 que se ajustan a través de la unidad de manejo están listados en las instrucciones de servicio del módulo de espectrómetro de masas.
  • Página 117 Favorito 1: Botón central (vea la figura en “Elementos de la pantalla de medición [} 112]“). Favorito 2: Tecla derecha Favorito 3: Tecla abajo a la derecha en el menú principal. Volumen - - - (= sin función) LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 117 / 142...
  • Página 118 Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Unidad de manejo > Mensajes > Mostrar advertencias Ajuste de la alarma de Volumen de los auriculares o del altavoz activo audio --- (sin tono) 118 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 119: Tipos De Operador Y Autorizaciones

    Es posible registrar operadores adicionales. La siguiente tabla muestra las posibilidades de los distintos tipos de operador de registrar nuevos tipos de operador. Registro de operadores Viewer Operator Supervisor Integrator Operator Supervisor Integrator Viewer Operator Supervisor Viewer Operator Viewer LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 119 / 142...
  • Página 120 Introducir el desarrollo del mantenimiento El menú "Service" solo es accesible para el Servicio técnico INFICON. Cargar parámetros Los parámetros guardados/salvados del panel de mando CU1000 y del módulo de espectrómetro de masas se pueden cargar desde un lápiz USB.

  • Página 121: Desregistrar Operadores

    Funciones > Datos > Parámetro > Resetear > Ajustes Unidad de manejo 11.3.3.2 Registrar datos Los datos se almacenan como archivo TXT. Cada archivo TXT contiene la siguiente información: • Fecha de creación • Versión del software LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 121 / 142...
  • Página 122 Los datos se pueden guardar en la unidad de manejo o en un lápiz USB. La capacidad de memoria de la unidad de manejo está limitada al registro de una medición de 24 horas. • Lápiz USB • Unidad de manejo 122 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 123: Consultar Información

    • Preamplifier: información sobre el preamplificador • Preamplifier test: información sobre la prueba del preamplificador. Interfaces • Módulo I/O (1): Información de la versión de software, entradas y salidas • Módulo I/O (2): Información visualizada de las entradas digitales LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 123 / 142...
  • Página 124 Fig. 20: Módulo I/O (2): Información visualizada de las entradas digitales Estado de la señal de entrada Función configurada (INV = la función está invertida) Estado de la función (activo o inactivo) • Módulo I/O (3): Información visualizada de las salidas digitales 124 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)
  • Página 125 Estado de la señal de salida función está invertida) Estado de la función (activo o inactivo) • Módulo de bus (1): Información del módulo de bus • Módulo de bus (2): Información del módulo de bus, continuación LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 125 / 142...

  • Página 126: Actualizar El Software

    11 | Funcionamiento CU1000 (opcional) INFICON 11.3.4 Actualizar el software Las actualización de software de INFICON serán reproducidas con la ayuda de un lápiz USB. Encontrará la función de actualización del aparato en "Funciones > Datos > Actualización". Es posible una actualización, •...

  • Página 127: Actualizar El Software Del Módulo I/O

    ð Tras pulsar la tecla "Start" en la pantalla táctil, aparecerán las siguientes instrucciones: • Conectar y encender el IO1000. • Activar el modo de inicialización (encender y apagar DIP S2.3 una vez). • Cuando el LED de estado parpadea de color verde, pulse OK. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 127 / 142...
  • Página 128 11 | Funcionamiento CU1000 (opcional) INFICON Fig. 22: Interruptores DIP en el módulo I/O 128 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 129: Mantenimiento

    El mantenimiento del módulo de espectrómetro de masas se limita a la sustitución del depósito de lubricante de la bomba turbomolecular y la comprobación del ventilador en la bomba turbomolecular. Recomendamos firmar un contrato de mantenimiento con INFICON o una delegación de servicio técnico autorizada por INFICON. 12.1 Mantenimiento por INFICON...

  • Página 130: Plan De Mantenimiento

    Cambiar los cojinetes (recomendado) Limpiar el ventilador y I y II controlar su funcionamiento Accesorios Limpiar la válvula de muestreo Calibrar la fuga calibrada interna Calibración Realizar la calibración interna int. Calibración Realizar la externa calibración externa 130 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 131: Trabajos De Mantenimiento

    Separe la fuente de alimentación de 24 V de la caja MSB. En su caso, deje que se enfríe la bomba turbomolecular. Desmonte la bomba turbomolecular. Abra lentamente el tornillo de ventilación (1). ð La bomba turbomolecular se inunda hasta la presión atmosférica. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 131 / 142...

  • Página 132: Retirar El Depósito De Lubricante Antiguo

    ü Llave de espigas, P/N: 551-200 ü Dos destornilladores ü Espectrómetro de masas y la bomba turbomolecular inundados. Desenroscar la tapa (1) con llave de espigas. Levante el depósito de lubricante (2) con dos destornilladores. ¡No afloje los tornillos! 132 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 133: Intercambiar Varillas De Porex

    Saque las varillas viejas de Porex (1) (8 piezas) con pinzas. Elimine las impurezas en la bomba turbomolecular y la tapa de cierre siempre con un paño limpio que no suelte pelusa. Inserte nuevas barras de porex (1) (8 piezas) con pinzas. 1 Barras Porex LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 133 / 142...

  • Página 134: Insertar El Depósito De Lubricante Nuevo

    No empuje el nuevo depósito de lubricante (2) dentro de la bomba a toda su altura, sino solo hasta la junta tórica del depósito de lubricante. ð El nuevo depósito de lubricante se coloca correctamente atornillando la tapa de sellado (1). Retire la junta tórica vieja (3) de la cubierta. 134 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 135: Confirmar El Trabajo De Mantenimiento

    Ponga el módulo de espectrómetro de masas en servicio. Confirmar el trabajo de mantenimiento ü Unidad de manejo instalado ü Autorización = Integrator ► Confirmar el trabajo de mantenimiento en la unidad de manejo: "Autorización > Integrator > Mantenimiento > Trabajo de mantenimiento" LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 135 / 142...

  • Página 136: Puesta Fuera De Servicio

    Espere hasta que la bomba turbomolecular se haya parado. 13.2 Eliminar el módulo de espectrómetro de masas El aparato puede ser desechado por la empresa gestora o enviado a INFICON. El aparato está compuesto por materiales que pueden ser reutilizados. Para evitar la generación de residuos y proteger al medio ambiente, se debería hacer uso de esta...

  • Página 137: Anexo

    INFICON Anexo | 14 14 Anexo 14.1 Conformidad CE LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 137 / 142...

  • Página 138: Declaración De Incorporación

    14 | Anexo INFICON 14.2 Declaración de incorporación 138 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

  • Página 139: Declaración De Contaminación

    INFICON Anexo | 14 14.3 Declaración de contaminación LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911) 139 / 142...

  • Página 140: Rohs

    14 | Anexo INFICON 14.4 RoHS 140 / 142 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)

Este manual también es adecuado para:

Lds3000 aq560-300560-600

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