Inficon LDS3000 Traducción Del Manual De Instrucciones Original página 31

INFICON
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)
• Las condiciones ambientales deben ser estables (temperatura, ausencia de
vibraciones/choques, entorno limpio)
• El objeto de ensayo tiene que funcionar con ZERO desconectado hasta que la
base sea estable. Solo después se permite activar la función ZERO.
Conexión
ULTRA KnL:
p :
max
p brevemente (< 3 s):
max
S:
FINE KnL:
p :
max
p brevemente (< 3 s):
max
S:
GROSS KnL:
p :
max
S:
La superación de la presión de entrada admisible en permanencia genera el mensaje
de advertencia "Sobrecalentamiento TMP".
INDICACIÓN
Daños materiales por golpes de presión
Los golpes de presión que superan la presión admisible máxima causan daños en el
módulo de espectrómetro de masas.
- No se permite superar la presión de admisión máxima.
1
Defina el modo de servicio de la conexión de vacío y el número de revoluciones
de la bomba turbomolecular según las condiciones físicas de vacío de la
instalación de comprobación.
2 Conecte el módulo de espectrómetro de masas a través de las conexiones
"ULTRA", "FINE" o "GROSS" al sistema de vacío de la instalación de
comprobación.
3
Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular.
Número de revoluciones bomba
turbomolecular
1000 Hz 1500 Hz
-12
5 x 10 mbar l/s 1 x 10
0,2 mbar 0,2 mbar
0,2 mbar 0,4 mbar
5 l/s 6 l/s
-11
1 x 10 mbar l/s 5 x 10
0,9 mbar 0,4 mbar
0,9 mbar 0,7 mbar
1,8 l/s 2,5 l/s
-9
1 x 10 mbar l/s 2 x 10
18 mbar 15 mbar
en función de la bomba de vacío previo
Montaje LDS3000 | 5
-11
mbar l/s
-11
mbar l/s
-8
mbar l/s
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