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10.6 Especificaciones del Transductor de Flujo Interno
Tabla 10 - Transductor de flujo interno - Especificaciones generales
El transductor de flujo interno contiene dos sensores, un sensor de flujo y el otro para medir la temperatura.
Cada sensor tiene una salida de tensión no lineal independiente. Para determinar el flujo de masa de gas
que pasa a través del transductor, la tensión de salida de cada uno de los sensores se mide.
Un microprocesador procesa los resultados y calcula el flujo utilizando un algoritmo específico.
El circuito que mide el flujo normalmente se conoce como un sensor térmico o anemómetro de hilo caliente.
Este transductor de flujo utiliza un sensor de hilo calentado y mantenido a una temperatura de 150 ° C.
La velocidad del gas pasando por el sensor determina la tasa de transferencia de calor entre el sensor y el
gas.
Esta tasa de transferencia de calor se traduce en una tensión necesaria para mantener la temperatura a
150 ° C.
En consecuencia, esta tensión es una función del flujo de masa de gas que atraviesa el sensor.
La tasa de transferencia de calor también está influenciada por la temperatura del gas.
Un circuito termistor se utiliza para medir la temperatura del gas y una corrección se realiza también a través
de un algoritmo específico.
Rango de lectura
Tolerancia especificada
Resistencia
Rango de temperatura del gas
Rango de humedad
Presión de funcionamiento
Alimentación
Tiempo de respuesta
Presión de ruptura
Peso
Especificaciones generales
Aire: 0 a 300 SLPM
O
: 0 a 300 SLPM
2
Aire: 2.0% o 0.05 SLPM (el que sea mayor)
O2: 2.0% o 0.05 SLPM (el que sea mayor)
< 2.5mbar
5 a 46°C
Gas seco (<10% UR)
Presión atmosférica
5V ± 10% sensor y 2.7V - 5.5V Eeprom
< 2.5ms
por encima de 100 psi
21g
83
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