Varian E-series Manual De Instrucciones página 9

NEIN!
! ! ! !
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E
series dürfen ausschließlich
Spezialsteuerungen betrieben werden (Baureihen 969-9464
220V, 969-9564 120V) und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe
Information").
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 4668 Nm standhalten muß.
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch
doppelten oder einfachen
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen
sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH SCHELLENART
ISO 200 Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme mit
NM10-Gewinde
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben
eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze
2
von 500N/mm haben und mit einem Anzugsmoment 4,5 Nm
angezogen werden.
Installation Sonderzubehör:
Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse mit einer
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 80°C nicht
überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen
die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
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mit einer der Varian-
Schema "Technical
müssen mittels
Klemmschellen an die
ANZAHL ANZUGSMOMENT
6 23 Nm
12 23 Nm
siehe Anhang "Technical
Heizmanschette (Optional)
! ! ! !
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
! ! ! !
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem
atmosphärischen Druck sein.
! ! ! !
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
! ! ! !
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
! ! ! !
Wenn die Pumpe zur
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen
die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E series sind
wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten
Fachkräften vorgenommen werden.
! ! ! !
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
Förderung von giftigen, leicht
GEFAHR!
87-900-942-01(A)