Tabla de contenido
Publicidad
8 | Limpieza y mantenimiento
8.8 Plan de mantenimiento
Grupo
Trabajos de
constructivo
mantenimiento
Sistema de vacío
Bomba Scroll
Sustituir la junta de la
Agilent TS620
punta
Sustituir el cabezal Scroll
SplitFlow 80
Sustituir el depósito de
lubricante
Cambio de cojinete
Bloque de
Limpiar las válvulas,
válvulas
sustituir las juntas de las
válvulas
Desarmar y limpiar el
bloque de válvulas
Renovar el filtro del
conducto del flujo del gas
de barrido
Filtro de salida
Inspeccionar, vaciar
de escape
UL3000
Sustituir el elemento
filtrante
Eléctrico
Grupos
Soplar el chasis del
constructivos
ventilador y el TMP
ventilador
Comprobar el kit de filtros
del ventilador y sustituirlo
si fuera necesario
116 / 146
Horas de servicio/años
1500
1/4
X
1
1
Leyenda del plan de mantenimiento:
• I: Nivel de servicio I Cliente
• II: Nivel de servicio II Cliente con formación técnica
• III: Nivel de servicio III técnico de servicio autorizado de INFICON
4000
8000
16000 24000
1
2
3
X
X
1
1
X
1
X
2
2
X
X
2
X
1
X
X
1
1
X
X
X
X
X
1
1
X
X
X
1
1
1
X
X
X
1
1
1
UL3000-Fab-Manual-de-instrucciones-iina73es1-08-(1910)
Nivel
Número de
pieza de
recambio
4
X
III
200001671
1
III
200001665R
II, III
200003801
X
III
2
X
III
200007630
2
III
X
II, III
200000683
1
200001095
X
II, III
X
II, III
200000694
1
X
II
1
X
I
200007656
1
INFICON
Publicidad
Tabla de contenido
