Inficon UL3000 Fab Manual De Instrucciones página 9

Prueba de fugas de helio con tecnología de sensor ultratest
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Ajuste automático / ajuste de la masa
Esta función ajusta el espectrómetro de masas de forma que se alcanza una
visualización de las tasas de fugas máximas. Para detectar una corriente iónica
máxima con el detector de iones, el ordenador de control adapta la tensión a la
aceleración iónica dentro del correspondiente intervalo de masa seleccionado.
En cada calibración se realiza un ajuste automático.
Modo de servicio
El detector de fugas distingue entre los modos de servicio "Vacío" y "Aspiración". En
el modo de servicio "Vacío", por lo general el gas de prueba fluye dentro del objeto de
ensayo. La presión en el objeto de ensayo es menor que la presión ambiente.
En el modo de servicio "Aspiración", el gas de prueba sale del objeto de ensayo y se
aspira con un mango de aspiración. La presión en el objeto de ensayo es mayor que
la presión ambiente.
FINE
FINE designa la conexión a la bomba turbomolecular para presiones de entrada de
hasta 0,4 mbar. Este también se emplea para el modo de servicio "Aspiración".
Formigas
Formigas es un concepto colectivo para mezclas de gas de nitrógeno e hidrógeno.
GROSS
GROSS designa la conexión a la bomba turbomolecular con la sensibilidad más baja.
Este también permite presiones de entrada elevadas (hasta 15 mbar).
Fondo de helio interno
El sistema de medición del detector de fugas siempre contiene una cierta cantidad
residual de helio. Esto crea una parte de señal de medición interna (límite inferior) que
desde el principio se solapa con la visualización de la fuga y molesta en la detección
de fugas.
Para ocultar este límite inferior, se activa la "supresión de fondo" interna por ajuste de
fábrica. Al pulsar la tecla START, se evalúa la señal de medición interna actual
determinada como fondo de helio y se quita de la medición. Si el detector de fugas ha
estado otros 20 segundos en "standby" o "llenado", se retira el fondo de helio interno
usado por última vez.
Tasa de fuga mínima detectable
La tasa de fuga mínima detectable que el detector de fugas puede registrar en
condiciones ideales (< 5x10
-12
mbar l/s).
Acerca de estas instrucciones | 1
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