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INFICON
6.16 Apagar el aparato
UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
INDICACIÓN
Las bombas turbomoleculares pueden dañarse
Las bombas turbomoleculares en funcionamiento pueden dañarse debido a
movimientos bruscos o cuerpos extraños.
► Antes de apagar el aparato, ventile la entrada para asegurarse de que la TMP2
(bomba amplificadora) se ralentiza.
► Después de llenar la entrada, evite los movimientos bruscos o las sacudidas del
aparato durante el funcionamiento y hasta 2 minutos después del apagado.
► Si no ventila la entrada, evite los movimientos bruscos o las sacudidas del aparato
durante el funcionamiento y hasta 6 minutos después del apagado.
► Evite que entren cuerpos extraños en la entrada del aparato.
Puede apagar el aparato en cualquier momento por el interruptor de red. Los
parámetros definidos en el aparato están guardados.
Funcionamiento | 6
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