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Inficon UL6000 Fab Manual De Instrucciones página 71

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INFICON
6.3.4 Activación de los márgenes de vacío
Márgenes de vacío
6.3.5 Modificación del número de revoluciones de la bomba de
6.3.6 Activación o desactivación del modo TMP2
UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
2
Realice el ajuste.
3
Guárdelo
.
Puede activar los márgenes de vacío MASSIVE, GROSS, FINE y ULTRA para sus
mediciones.
Se pueden activar simultáneamente los 4 márgenes. Si están activados varios
márgenes, cambian automáticamente en función de la presión de entrada p1. Así se
puede medir con distintas sensibilidades.
Debe estar activo por lo menos un margen.
ü
Derechos de Operator o Supervisor
1
> Configurar > Medición > Vacío > Márgenes de vacío
2
Active los márgenes de vacío deseados en «Margen de vacío».
3
Guárdelo
.
vacío previo
ü
Derechos de supervisor
1
> Configurar > Medición > Vacío > Bomba de vacío previo
2
Si es necesario, cambie el ajuste del campo «Modo bomba de vacío previo».
ð «Automático» (ajuste de fábrica)
El número de revoluciones de la bomba de vacío previo desciende cuando es
posible.
ð «Fijo»
La bomba de vacío previo funciona con un número de revoluciones fijo.
ü
Derechos de supervisor
1
> Configurar > Medición > Vacío > TMP2
2
Si es necesario, cambie el ajuste del campo «Modo TMP2».
ð Automático (ajuste de fábrica)
La TMP2 arranca automáticamente al evacuar y se detiene al cambiar a
«standby». Este es el ajuste recomendado para un rendimiento máximo.
ð OFF: la TMP2 no arranca.
Funcionamiento | 6
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