取扱説明書
可燃性材料:
警告
ポンプ内のガスが可燃性/燃焼性の範囲に入らないようにするために、必ず
指示に従い、以下の警告事項に注意する必要があります。引火性または可燃
性または燃焼性ある物質が装置内にある場合は、以下のことを行う必要があ
ります:
• 想定するガスだけが真空ポンプを通過するように、システムの気密性を確保
してください。
• ポンプ (「01Gas Ballast01」の入口フランジとポート) ポンプ内部、および
排気管内に流入する可燃性ガスまたは蒸気の濃度が、ガスの公表されている
爆発下限界 (LEL) の 4 分の 1 未満であることを確認してください。
• ポンプ(「01Gas Ballast01」の入口フランジとポート) ポンプ内部、および排
気管内に流入する可燃性ガスまたは蒸気の濃度を、システムまたは真空ポンプ
に障害が発生した場合でも、ガスの公表されている爆発下限界(LEL)の 4 分
の 1 未満に維持する安全システムが設定されていることを確認してくださ
い。
不適切な使用
Agilent Technologiesは、IDP-3 の不適切な使用に起因するすべての責任を負いま
せん。
不適切な使用は、責任および保証に対するすべての請求が無効になる原因となり
ます。
ポンプの操作とメンテナンスをする担当者は、十分な訓練を受け、事故防止規則
を認識している必要があります。このセクションに記載されている事故防止のた
めの注意事項は、ポンプの操作およびメンテナンス中は、操作者およびポンプへ
の損傷を避けるために継続的に厳守する必要があります。これらの注意事項は、
警告および注意の注記の形で記載されています。
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
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