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Turbo-V 2K-G
Pumping System
87-900-968-01(C)
MAY 2005
Models
969-8871
969-8873
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
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Manuales relacionados para Varian Turbo-V 2K-G 969-8871
Resumen de contenidos para Varian Turbo-V 2K-G 969-8871
- Página 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Turbo-V 2K-G MANUAL DE INSTRUCCIONES Pumping System MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING Models INSTRUKSTIONSBOG 969-8871 BRUKSANVISNING 969-8873 INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA 87-900-968-01(C) INSTRUCTION MANUAL MAY 2005...
- Página 2 Turbo-V 2K-G...
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Página 5: Tabla De Contenido
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................5 MODE D’EMPLOI ...............................9 INSTRUCCIONES DE USO ..........................13 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................21 BRUGSANVISNING ............................25 BRUKSANVISNING............................29 BRUKERVEILEDNING .............................33 KÄYTTÖOHJEET .............................37 PDHGIES CRHSEWS ............................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................45 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G..................69... -
Página 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci- fica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Página 7: Informazioni Generali
(mon- ATTENZIONE! tata). Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe- riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio- ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. 87-900-968-01(C) - Página 8 Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate serraggio consigliata da Varian stringerli. di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-...
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Página 9: Come Arrestare La Turbo-V 2K-G
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio- che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START). Il ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per- sistema viene avviato a passi successivi fino alla piena velocità... -
Página 10: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü- gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge- wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Página 11: Allgemeine Informationen
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Verpackungsinhalt der Turbo-V 2K-G: •... - Página 12 Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse und leichteren Gasen konzipiert. von mindestens 500 N/mm zu verwenden. Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian Rücksprache zu halten. 87-900-968-01(C)
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Página 13: Stillsetzung Der Turbo-V 2K-G
Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. lers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt wer- den, die von Varian Vacuum Technologies autorisiert sind. Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan- HINWEIS ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 2K-G startet der Controller generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System... -
Página 14: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Página 15: Indications Generales
Varian qui Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par- décline par conséquent toute responsabilité en cas de non ticulièrement à... - Página 16 ISO 1609. En cas de pompage de gaz plus lourds que l’argon, contacter le Il est nécessaire d’utiliser des boulons en acier ayant une classe service technique Varian pour informations. de résistance minimum de 500 N/mm 87-900-968-01(C)
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Página 17: Arrêt Du Système
"advanced exchange service", remplir et faire parvenir au en un temps qui peut varier de 10 minutes à 1 heure. Dès que bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe le système atteint sa vitesse maximum, la procédure de "soft au présent manuel d'instructions. -
Página 18: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combi- nación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Página 19: Información General
Varian antes de oficina local de ventas. usar el aparato. Varian se considera libre de posibles Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de... -
Página 20: Instalación
500 N/mm de nitrógeno, argón y gases más ligeros. En caso de que deban bombearse gases más pesados que el argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de Varian a fin de recibir mayores informaciones. 87-900-968-01(C) -
Página 21: Uso De Turbo-V 2K-G
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación alcanzar la plena velocidad, en un lapso comprendido entre 10 Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite minutos y 1 hora. Una vez que el sistema ha alcanzado plena obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado. -
Página 22: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específi- ca de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o e- stator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Página 23 Varian antes de escritório de vendas local. utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques...
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Página 24: Instalação
Azoto, Argon e gases mais leves. resistência de pelo menos 500 N/mm Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência Técnica da Varian para obter maiores informações. 87-900-968-01(C) -
Página 25: Manutenção
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de especial que protege os mancais contra possíveis danos assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service", (SOFT START). O sistema entra em funcionamento com uma que permite obter um sistema regenerado que substitua a sequência de operações sucessivas, até... -
Página 26: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Página 27: Algemene Informatie
Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in... -
Página 28: Installatie
Varian adviseert om ze aan te halen. inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). - Página 29 In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van op volle snelheid gebracht, in een tijdsbestek dat van 10 Varian of de "Varian advanced exchange service" in te minuten tot 1 uur kan variëren. Nadat het systeem de volle schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de snelheid heeft bereikt, wordt de "soft start"...
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Página 30: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Página 31 Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke skader, der kan være opstået under transporten. ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af Sørg for, at Turbo-V 2K-G ikke tabes eller udsættes for stød disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt...
- Página 32 BRUGSANVISNING INSTALLATION VIGTIGT! Turbo-V 2K-G hører til den anden installationsklasse (eller o- verspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor a- ADVARSEL! nordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne På grund af dens vægt skal pumpen håndteres ved hjælp af klasse.
- Página 33 Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og ADVARSEL! elektrisk til pumpen. Det er kun personale fra Varian Vacuum Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset. Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at BEMÆRK...
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Página 34: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Página 35: Allmän Information
Varian före användning av utrustningen. tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av att Turbo-V 2K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av... - Página 36 Ingångstrycket mot rätt dörr många bultar som behövs samt åtdragningsmoment som måsteunderstiga 1 bar (utöver det atmosfäriska trycket). rekommenderas av Varian. För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström FLÄNS...
- Página 37 När du använder Turbo-V 2K-G för första gången startas Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad systemet automatiskt av styrenheten med en speciell procedur eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett som skyddar lagren mot eventuella skador (SOFT START). renoverat system.
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Página 38: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Página 39: Generell Informasjon
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av Når Turbo-V 2K-G pakkes ut, må... - Página 40 Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 1 vakuumkammeret med bolter. Tabellen nedenfor oppgir antall bar (over atmosfærisk trykk). bolter som kreves, og strammemomentet anbefalt av Varian. Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive...
- Página 41 ADVARSEL! pumpen. Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun utføres autorisert personale Varian Vacuum Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, Technologies. pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er MERK lavere enn 50°C.
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Página 42: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-968-01(C) -
Página 43: Yleisiä Tietoja
Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä,... - Página 44 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOMIO! Turbo-V 2K-G kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite VAARA! tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisilla vaatimukset. nosto- ja siirtolaitteille. Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on Käytä...
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Página 45: Turbo-V 2K-G -Pumpun Pysäytys
(SOFT START). Järjestelmä käynnistetään peräkkäisillä askelilla täyteen nopeuteen asti 10 Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin minuutista 1 tuntiin vaihtelevana aikana. Kun järjestelmä on korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" - saavuttanut täyden nopeuden, "soft start"-toimenpide kytketään vaihtopalvelua, jonka... -
Página 46: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Página 47 ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se egceir∂diou odhgièn kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H epafÿ me to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£...
- Página 48 αριθµό των µπουλονιών που χρειάζονται και µε τι ροπή σύσφιξης, (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh) Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai που συνιστάται από την Varian, να τα σφίξετε. efodiasm◊nej me mia eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a dioc◊teush adranoÚj...
- Página 49 εκκινεί αυτοµάτως το σύστηµα µε µια ειδική διαδικασία που Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei προστατεύει τα ρουλεµάν από πιθανές ζηµιές (SOFT START). Το σύστηµα τίθεται σε κίνηση µε διαδοχικά βήµατα έως την πλήρη...
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Página 50: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Página 51 A Turbo-V 2K-G-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely forduljon a helyi szolgáltatási irodához. információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,...
- Página 52 (lásd „Műszaki információ” függelék). Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút csavarokkal kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő táblázat a csavarok szükséges számát és a Varian által ajánlott rögzítő nyomatékot VIGYÁZAT! mutatja. Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok...
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Página 53: Karbantartás
Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 2K-G-t, a vezérlő egység automatikusan elindítja a rendszert egy különleges eljárással, amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian START). A rendszer lépésről lépésre, fokozatosan indul teljes szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert sebességig 10 perctől 1 órán belülig. -
Página 54: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Página 55 Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 2K-G ani niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w...
- Página 56 śruby mocujące. w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie Niniejsza tabela opisuje ilość potrzebnych śrub i na jaki przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia moment, zalecany przez firmę Varian, należy je dokręcić. łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”). MOMENT KOŁNIERZ MOCOWANIA DOKRĘCENIA...
- Página 57 Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, personel upoważniony przez firmę Varian Vacuum należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni Technologies. elektrozawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni INFORMACJA pompy będzie wynosiła poniżej 50°C.
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Página 58: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... -
Página 59: Všeobecné Informace
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení... - Página 60 ISO 250 F šrouby M10 22 Nm Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší než Ar, kontaktujte technickou podporu firmy Varian a žádejte informace. POZNÁMKA Vývěvu Turbo-V 2K-G nelze připevnit pomocí její podstavy. Toto zařízení lze připevnit pouze pomocí jeho příruby ISO 250F .
- Página 61 Když spouštíte vývěvu Turbo-V 2K-G úplně poprvé, ovládací V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy jednotka spustí toto zařízení automaticky speciálním postupem, Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení který chrání ložiska vývěry před případným poškozením výměnou za porouchané.
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Página 62: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Página 63 Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Varian. Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie...
- Página 64 MECHANIZMUS KRÚTIACI je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých MOMENT plynov. Ak potrebujete čerpať plyn ťažší ako argón, informujte sa u technickej podpory firmy Varian. ISO 250 F skrutky M10 22 Nm POZNÁMKA Turbo-V 2K-G nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
- Página 65 V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko chráni ložiská systému pred poškodením (SOFT START). spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia. Systém sa dosiahne plnú rýchlosť postupne v časovom intervale od 10 minút do jednej hodiny. Keď systém dosiahol POZNÁMKA...
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Página 66: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Página 67 Naprava Turbo-V 2K-G je dobavljena v posebni zaščitni emba- mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne laži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno proda- informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren jno pisarno. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz.
- Página 68 Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Črpalka je narejena za hitro črpanje N , Ar in lažjih plinov. Če Spodnja tabela prikazuje število potrebnih vijakov in pripadajoči...
- Página 69 (SOFT START) Sistem se po korakih zažene do V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki polne hitrosti v času od 10 minut do 1 ure. Ko sistem doseže vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
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Página 70: Safety Guideline
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Página 71: General Information
Varian before operating the equipment. transport, contact your local sales office. Varian will not be held responsible for any events occurring due When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid to non-compliance, even partial, with these instructions, im- any kind of sudden impact or shock vibration to it. - Página 72 FIXING gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please FLANGE DEVICE TORQUE contact Varian technical support for information. ISO 250 F M10 bolts 22 Nm NOTE The Turbo-V 2K-G cannot be fixed by means of its base. The system can only be fixed through its ISO 250F flange.
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Página 73: How To Stop The System
Detaching of the controller from the Before carrying out any work on the system, disconnect it from pump must be carried out by authorized Varian Vacuum Tech- the mains, vent the pump by opening the appropriate electro nologies personnel only. -
Página 74: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G Pump Description The Turbo-V 2K-G pumping system consists of a The pump consists of a high frequency motor driv- pump with a dedicated controller fixed to it. The ing a turbine fitted with 5 bladed stages and 2 system has an ISO 250 F high vacuum flange. -
Página 75: Controller Description
TECHNICAL INFORMATION where: • Tb = upper bearing temperature • Tbody = measured water cooling related tem- perature • Tbody,lim = body temperature corresponding to Twater,max, according to Figure 2 • WIN.118 = set the body temperature control Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro- computer. - Página 76 TECHNICAL INFORMATION Maximum flange no process: 80 °C Installation Category temperature process: 50 °C Pollution Degree Max rotor temperature 120 °C Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Vibration level < 0.01 µm at inlet flange (displacement) Serial communication RS232 cable with a 9-pin D type...
- Página 77 TECHNICAL INFORMATION Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m /h primary pump. Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m /h primary pump. 87-900-968-01(C)
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Página 78: Turbo-V 2K-G Outline
TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 2K-G OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 2K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). INTERCONNECTIONS PIN N. SIGNAL NAME INPUT/ ISOLATION The following paragraphs describe the Turbo-V OUTPUT 2K-G interconnections. START/STOP (+) Optocoupled J1 – REMOTE I/O START/STOP (-) Optocoupled At power-on the controller goes into “Remote I/O”... -
Página 79: Soft Start
TECHNICAL INFORMATION The “Low Speed” function can also be activated by Signals description serial line with win.001, and the low speed value can be adjusted via serial command win.117. START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the Both low speed value (win.117) and high-speed START/STOP (+) signal is connected to the +24 value (win.120) are limited between 475Hz (can’t... - Página 80 TECHNICAL INFORMATION FAULT: this relay output signal is closed when any Electrical connections examples: system fault condition is detected. To detect the type of failure the serial protocol is needed (see • Start-Stop or Interlock the para. "RS232-485 Comunication Description"). SET POINT: this relay output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, cur- rent or time) is higher than the set threshold.
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Página 81: J2 - Serial
RESERVED A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). SERIAL CABLE INSTALLATION In order to maintain the IP-54 protection level, please use a certified IP-54 connector or the one provided by Varian. 87-900-968-01(C) -
Página 82: Rs 232/Rs 485 Communication Description
TECHNICAL INFORMATION − <DATA> = an alphanumeric ASCII string with RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION the data to be written into the window. In case of a reading command this field is not present. Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are The field length is variable according to the available on the connector P2. - Página 83 TECHNICAL INFORMATION The controller can answers with the following re- Command: STOP Source: PC sponse types: Destination: Controller TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION After a read instruction Logic 1 byte of a logic window STX ADDR WINDOW OFF ETX After a read instruction Numeric 6 bytes of a numeric window...
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Página 84: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Command: READ PUMP STATUS Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller (with address = 3) Set Point (default = 500) threshold (expressed in Hz, mA or s) STX ADDR WINDOW Set Point 0 to 99999 mask: time (default = 0) between the... - Página 85 Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Reserved to Varian service Pump tem- 0 to 70 perature in °C Valves oper- 0 = auto (default) ating mode 1 = on command Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 (see win.146)
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Página 86: Monitorr
The MoniTorr card doesn’t require any mainte- nance. Any intervention must be carried out by TOO HIGH LOAD NO CONNECTION authorised personnel. In case of failure, the Varian Repair Service is SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. available or Advanced Exchange Service that pro- OVERVOLTAGE CONTROLL. -
Página 87: Monitorr Connectivity Kit Installation Procedure
TECHNICAL INFORMATION MoniTorr Connectivity Kit Installation Proce- dure Install the File VT Serial Address Configurator on PC (launch VT-SAC\setup.exe on CD Rom) Connect the RS232 cable between the PC serial port and the first TV 2KG serial port 10. Check if Baud Rate of protocol converter is fixed at 115K2 (switch between 9 position and F position) 3. -
Página 88: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION In the two cases the following screen will be dis- Interconnections played on the personal computer: The following figure shows the Monitorr’s intercon- nections. Network Connector (RS 485) Close all the applications and then select OK. The following screen will now be displayed on the per- Network connector (RS-485) sonal computer monitor: In order to have the IP-54 environment protection... -
Página 89: Operating Procedure
If a change is required, click the right It is suggested that you maintain the proposed mouse button with the cursor on the Varian logo program group so as to facilitate the identification on the right-hand side of the windows bar. -
Página 90: Archive Saving Method Procedure
The option works as a bi-directional bridge be- • Alarm time: Defines the timeout after which an tween the ProfiBus network and the Varian turbo alarm condition is signalled. controller internal link. The interface provides input data (measures) and output data (commands) to... -
Página 91: Configuration
TECHNICAL INFORMATION Each device has its own state machine to manage Configuration the device operation. Before power-on the controller set the Profibus address by the 2 rotary switches. Up to 126 different addresses (from 0 to 125) can be selected. The address value sets by the 2 switches is expressed in hexadecimal notation, so value from 00 to 7D are permitted;... -
Página 92: Profibus Message Mapping
TECHNICAL INFORMATION The two machines continuously share I/O data slave configuration and reads back the entire slave with the relative bus, and interact each other only status. in following conditions: For this purpose one Input (from slave to master) • and one Output (from master to slave) buffers are ProfiBus Data Exchange is suspended (static provided. - Página 93 B7 - Reserved - B0.. B1 - Reserved - B2.. B3 - Start/Stop/Interlock Mode Change the logic of Start/stop and Interlock inputs. Ask to Varian personnel for this option B4.. B5 - Set Point Type 0 = frequency 1 = current...
- Página 94 TECHNICAL INFORMATION OUTPUT BUFFER (5 BYTES) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL B7 – Start/Stop 0 = Stop 1 = Start B6 – Low Speed 0 = off (set the “target speed”(In Buff byte-8) at” high speed” (Out. Buff. byte-1)) 1 = on (set the “target speed”...
- Página 95 TECHNICAL INFORMATION INPUT BUFFER (15 WORDS) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL 0-10000 Current Motor current consumption 0-500 Power Motor power absorption 0-400 Power Limit Applied Maximum allowable power 0-555 Driving Frequency Read the rotational speed of the pump 0-555 Target Frequency Read the target rotational speed...
- Página 96 TECHNICAL INFORMATION OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL B4 – Verify Line Select (the auto voltage selection mismatch the real input voltage) B3 – Power Fail (internal circuitry failure) B2 – Controller Over-Temperature (“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Tem- perature"...
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Página 97: Diagnostic Management
TECHNICAL INFORMATION Diagnostic management Diagnostic buffer In addition to the ProfiBus six byte standard diag- nostic, the interface provides both user diagnostic MEANING and static diagnostics functions station non exist (set by master) station not ready (slave not ready for The standard diagnostic management is fully com- data exchange) pliant with the ProfiBus specification. -
Página 98: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION MEANING Vent/Purge Auto/Man diag status 7 - 4 Vent/Purge Remote/Profibus diag status 3 - 0 Interlock Mode diag status 7 - 4 Set Point Logic diag status 3 - 0 Heater Jacket Mode diag status 7 - 4 Load Gas Type diag status 3 - 0 Purge Gas Type diag status... -
Página 99: Pump Purging And Venting
1 bar (14 psi) absolute (at- Purge and vent layout mospheric pressure). CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 20 sccm (0.33 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Var- ian for specific applications. -
Página 100: High Vacuum Flange Connection
However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Varian’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and ap- plied to the rotor. - Página 101 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Página 102 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
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Página 103: Sales And Service Offices
Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.