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INSTALLATION
GEFAHR!
Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten
Hebe- und Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken
sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindeboh-
rungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind.
!
ACHTUNG!
Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der
Turbopumpe an das System entfernt werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-
gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
-
Temperatur: von +5°C bis +40°C (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell Turbo-V 2K-G ist an eine Primärpumpe anzuschließen
(siehe Schema in "Technical Information").
Modell Turbo-V 2K-G kann in jeder beliebigen Position instal-
liert werden.
Modell Turbo-V 2K-G
ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-
flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von
10600 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Die Turbopumpe mit dem ISO-Eintrittsflansch ist mittels Mutter-
schrauben an der Vakuumkammer zu befestigen. In der nach-
stehenden Tabelle sind die Anzahl der erforderlichen Mutter-
schrauben und die von Varian empfohlenen Anzugsmomente
angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ISO 250 F
Mutterschraube
mit Gewinde M10
HINWEIS
Die Turbo-V 2K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt wer-
den. Zur Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu
verwenden. Die Befestigung muss nach ISO 1609 ausgeführt
sein.
Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse
2
von mindestens 500 N/mm
zu verwenden.
ANZ.
ANZUGSMOMENT
12
22 Nm
!
Der Turbo-V 2K-G gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü-
berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos-
sen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Zur Gewährleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnek-
toren zu verwenden.
Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und
die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange-
schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung
zugänglich ist .
Sicherstellen, daß die Isolierung der an den Turbo-V 2K-G
angeschlossenen Vorrichtung
ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1
vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneu-
matischen Anschlüsse auszuführen.
Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf
die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten.
Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers
niemals 120 °C überschreiten.
Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Be-
triebsart in Abhängigkeit von dem zu pumpenden Gas einge-
stellt ist: 1 für Stickstoff und leichtere Gase, 0 für Argon (vor-
eingestellte Betriebsart). Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 1 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon
und leichteren Gasen konzipiert.
Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als
Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian
Rücksprache zu halten.
7
GEBRAUCHSANLEITUNG
ACHTUNG!
auch bei einer Einzelstörung
GEFAHR!
ACHTUNG!
GEFAHR!
87-900-968-01(C)
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