Használat - Agilent Technologies TPS-compact Serie Manual De Istrucciones

Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a
rendszer használata előtt. A vákuumkamra esetleges melegítése
közben a bemeneti karima hőmérséklete nem haladhatja meg a 120
°C-ot ConFlat karima és a 80 °C-ot ISO karima esetén.
VESZÉLY! Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
VESZÉLY! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési
folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
VESZÉLY! Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a turbószivattyúhoz
működés közben! A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi
sérülés történhet.
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes semleges gázt (pl.
FIGYELEM!
nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2
barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött).
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H)
Felhasználói Kézikönyv
Használat
175/314
11