Agilent Technologies TV 551 SEM Navigator Manual De Instrucciones
  1. Manuales
  2. Marcas
  3. Agilent Technologies Manuales
  4. Bombas
  5. TV 551 SEM Navigator
  6. Manual de instrucciones

Agilent Technologies TV 551 SEM Navigator Manual De Instrucciones

Ocultar thumbs
Tabla de contenido

Publicidad

Idiomas disponibles
  • MX

Idiomas disponibles

  • MEXICANO, página 51

Enlaces rápidos

Descargar este manual
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-900-958-01(G)
04/2011
TV 551/701 SEM
Navigator
Pump models
969-8935, 969-8936, 969-8937, 969-8938
Controller models
969-8976, 969-8977
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Publicidad

Tabla de contenido
loading

Manuales relacionados para Agilent Technologies TV 551 SEM Navigator

Resumen de contenidos para Agilent Technologies TV 551 SEM Navigator

  • Página 1 TV 551/701 SEM Navigator Pump models 969-8935, 969-8936, 969-8937, 969-8938 Controller models 969-8976, 969-8977 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...

  • Página 2: Trademarks

    Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
  • Página 3 TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 3/276...
  • Página 4 TV 551/701 SEM Navigator 4/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 5: Tabla De Contenido

    Contents Contents Istruzioni per l’uso 15  Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16  Informazioni generali 17  Immagazzinamento 18  Preparazione per l'installazione 19  Installazione 20  Fissaggio della pompa 21  Uso 22  Manutenzione 25  Smaltimento 26  Gebrauchsanleitung 27  Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28  Allgemeine Informationen 29 ...
  • Página 6 Contents Entsorgung 38  Mode d’emploi 39  Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 40  Indications Generales 41  Stockage 42  Preparation pour l'installation 43  Installation 44  Fixation de la pompe 45  Utilisation 46  Entretien 49  Mise au rebut 50  Manual de istrucciones 51 ...
  • Página 7 Contents Manual de Istruções 63  Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 64  Informações gerais 65  Armazenagem 66  Preparação para a instalação 67  Instalação 68  Fixação da bomba 69  Utilização 70  Manutenção 73  Eliminação 74  Bedrijfshandleiding 75  Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76  Algemene informatie 77 ...
  • Página 8 Contents Generel Information 89  Opbevaring 90  Forberedelse før installation 91  Installation 92  Fastgørelse af pumpe 93  Anvendelse 94  Vedligeholdelse 97  Bortskaffelse 98  Bruksanvisning 99  Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 100  Allmänt 101  Förvaring 102  Förberedelser för installationen 103  Installation 104  Fastsättning av pump 105 ...
  • Página 9 Contents Klargjøre til installasjon 115  Installasjon 116  Festing av pumpen 117  Bruk 118  Vedlikehold 121  Avhending 122  10 Ohjekäsikirja 123  Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124  Yleisiä tietoja 125  Varastointi 126  Valmistelut asennusta varten127  Asennus 128  Pumpun kiinnitys 129  Käyttö 130  Huolto 133  Hävittäminen 134 ...
  • Página 10 Contents A szivattyú rögzítése 141  Használat 142  Karbantartás 145  Megsemmisítés 146  12 Podrecznik Instrukcji 147  Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 148  Ogólne informacje 149  Magazynowanie 150  Przygotowanie do instalacji 151  Instalacja 152  Mocowanie pompy 153  Użytkowanie 154  Konserwacja 157  Przetworstwo odpadow 158 ...
  • Página 11 Contents Údržba 169  Likvidace 170  14 Návod na Obsluhu 171  Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 172  Všeobecné informácie 173  Uchovávanie 174  Príprava na inštaláciu 175  Inštalácia 176  Upevnenie vývevy 177  Použitie 178  Údržba 181  Likvidácia 182  15 Priročnik za Navodila 183 ...
  • Página 12 Contents 16 Instructions for Use 195  Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 196  General Information 197  Storage 198  Preparation for Installation 199  Installation 200  Pump Fixing 201  Use 202  Maintenance 205  Disposal 206  17 Technical Information 207  Description of the TV 551/701 Navigator 209  Pump Description 210 ...
  • Página 13 Contents Inlet Screen Installation 243  Air Cooling Kit Installation 246  Water Cooling Kit Installation 250  Vent Accessories 252  Vibration Isolators 256  Purge Valve Installation 257  Serial Cable Installation 258  TV 551/701 SEM Controller Installation 259  Pump Used with Corrosive Gases 265  Pump Used in Presence of Magnetic Fields 268 ...
  • Página 14 Contents 14/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 15: Istruzioni Per L'uSo

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 17 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 19 Installazione Fissaggio della pompa 21 Accensione ed Uso del TV 551/701 SEM Navigator 23 Arresto del TV 551/701 SEM Navigator Arresto di Emergenza 25 Manutenzione Smaltimento...

  • Página 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.

  • Página 17: Informazioni Generali

    Istruzioni per l’uso Informazioni generali Informazioni generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.

  • Página 18: Immagazzinamento

    Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.

  • Página 19: Preparazione Per L'iNstallazione

    Istruzioni per l’uso Preparazione per l'installazione Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Preparazione per l'installazione Il TV 551/701 SEM Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale;...

  • Página 20: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Figura 1 Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 2 20/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 21: Fissaggio Della Pompa

    Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice...

  • Página 22: Uso

    Istruzioni per l’uso Tab. 1 FLANGIA COPPIA DI SERRAGGIO ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Il TV 551/701 SEM Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Il TV 551/701 SEM Navigator non può essere fissato tramite la sua base. NOTA Il TV 551/701 SEM Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione ATTENZIONE!

  • Página 23: Accensione Ed Uso Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Istruzioni per l’uso AVVERTENZA! Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento.

  • Página 24: Arresto Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Istruzioni per l’uso La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start” che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente, per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start” attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION”...

  • Página 25: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 551/701 SEM Navigator occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller. Manutenzione Il TV 551/701 SEM Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola,...

  • Página 26: Smaltimento

    Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

  • Página 27: Gebrauchsanleitung

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 551/701 SEM Navigator Stoppen von Modell TV 551/701 SEM Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen...

  • Página 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Página 29: Allgemeine Informationen

    Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.

  • Página 30: Lagerung

    Gebrauchsanleitung Lagerung In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine bestimmte Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf VORSICHT! aufmerksam, dass bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können...

  • Página 31: Vor Der Installation

    Gebrauchsanleitung Vor der Installation Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Vor der Installation Modell TV 551/701 SEM Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert.

  • Página 32: Installation

    Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 551/701 SEM Navigator kann durch die Umgebung an sich keine HINWEIS Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen.

  • Página 33: Befestigung Der Pumpe

    Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen.

  • Página 34: Gebrauch

    Gebrauchsanleitung Gebrauch FLANSCH ANZ. ANZUGSMOMENT ISO 200 K 35 Nm Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 551/701 SEM Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 551/701 SEM Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt HINWEIS werden.

  • Página 35: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 551/701 Sem Navigator

    Gebrauchsanleitung Gebrauch WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.

  • Página 36: Stoppen Von Modell Tv 551/701 Sem Navigator

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet. Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start" zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION"...

  • Página 37: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 551/701 SEM Navigator in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. Wartung Modell TV 551/701 SEM Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.

  • Página 38: Entsorgung

    Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.

  • Página 39: Mode D'eMploi

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications Generales 41 Stockage Preparation pour l'installation 43 Installation Fixation de la pompe 45 Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 551/701 SEM Navigator Arrêt du TV 551/701 SEM Navigator 48 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut...

  • Página 40: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.

  • Página 41: Indications Generales

    Mode d’emploi Indications Generales Indications Generales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent, avant d'utiliser l'appareil. Agilent décline par conséquent toute responsabilité...

  • Página 42: Stockage

    Mode d’emploi Stockage Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d'avertissement attirent l'attention de l’opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage.

  • Página 43: Preparation Pour L'iNstallation

    Mode d’emploi Preparation pour l'installation En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Preparation pour l'installation Le TV 551/701 SEM Navigator est livré dans un emballage de protection spécial;...

  • Página 44: Installation

    Mode d’emploi Installation Figure 1 Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Figure 2 44/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 45: Fixation De La Pompe

    Mode d’emploi Fixation de la pompe Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...

  • Página 46: Utilisation

    Mode d’emploi Utilisation Tab. 1 BRIDE COUPLE DE SERRAGE ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TV 551/701 SEM Navigator peut être installée dans n'importe quelle position. Le TV 551/701 SEM Navigator ne peut être fixé...

  • Página 47: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 551/701 Sem Navigator

    Mode d’emploi Utilisation AVERTISSEMENT! Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage.

  • Página 48: Arrêt Du Tv 551/701 Sem Navigator

    Mode d’emploi Utilisation La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive automatiquement et les mises en marche suivantes se font sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à...

  • Página 49: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Arrêt d'urgence Pour arrêter le TV 551/701 SEM Navigator en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. Entretien Le TV 551/701 SEM Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à...

  • Página 50: Mise Au Rebut

    Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ména-gères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective.

  • Página 51: Manual De Istrucciones

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento 54 Preparación para la instalación 55 Instalación Fijación de la bomba 57 Encendido y Uso del TV 551/701 SEM Navigator Parada del TV 551/701 SEM Navigator Parada de Emergencia 61 Mantenimiento Eliminación...

  • Página 52: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.

  • Página 53: Información General

    Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.

  • Página 54: Almacenamiento

    Manual de istrucciones Almacenamiento Este manual utiliza los siguientes símbolos convencionales: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.

  • Página 55: Preparación Para La Instalación

    Manual de istrucciones Preparación para la instalación En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent.

  • Página 56: Instalación

    Manual de istrucciones Instalación Figura 1 Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba ¡ATENCIÓN! al sistema. Figura 2 56/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 57: Fijación De La Bomba

    Manual de istrucciones Fijación de la bomba No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica temperatura: de +5 °C a +35 °C (véase gráfico en el anexo...

  • Página 58: Uso

    Manual de istrucciones Tab. 1 BRIDA PAR DE APRIETE ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TV 551/701 SEM Navigator puede instalarse en cualquier posición. El TV 551/701 SEM Navigator no puede fijarse utilizando su base. NOTA El TV 551/701 SEM Navigator pertenece a la segunda categoría de ATTENTION!

  • Página 59: Encendido Y Uso Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Manual de istrucciones ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento.

  • Página 60: Parada Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Manual de istrucciones La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a utilizar una puesta en marcha “Soft Start”...

  • Página 61: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el TV 551/701 SEM Navigator es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. Mantenimiento El TV 551/701 SEM Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar...

  • Página 62: Eliminación

    Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...

  • Página 63: Manual De Istruções

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 69 Utilização Acendimento e Utilização do TV 551/701 SEM Navigator Paragem do TV 551/701 SEM Navigator 72 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação...

  • Página 64: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

  • Página 65: Informações Gerais

    Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.

  • Página 66: Armazenagem

    Manual de Istruções Armazenagem Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...

  • Página 67: Preparação Para A Instalação

    Manual de Istruções Preparação para a instalação Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Preparação para a instalação O TV 551/701 SEM Navigator é...

  • Página 68: Instalação

    Manual de Istruções Instalação Figura 1 Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 2 68/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 69: Fixação Da Bomba

    Manual de Istruções Fixação da bomba Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica temperatura: de + 5 °C a + 35 °C (consultar a planilha no...

  • Página 70: Utilização

    Manual de Istruções Utilização Tab. 1 FLANGE TORQUE DE APERTO ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 551/701 SEM Navigator pode ser instalado em qualquer posição. O TV 551/701 não pode ser fixado através da sua base. NOTA O TV 551/701 SEM Navigator pertence à...

  • Página 71: Acendimento E Utilização Do Tv 551/701 Sem Navigator

    Manual de Istruções Utilização ATENÇAO! Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho. Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento.

  • Página 72: Paragem Do Tv 551/701 Sem Navigator

    Manual de Istruções Utilização O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que, no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente, portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão em “Soft Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”, será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o software (consultar o parágrafo “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION”...

  • Página 73: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Paragem de Emergência Para parar o TV 551/701 SEM Navigator em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. Manutenção O TV 551/701 SEM Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...

  • Página 74: Eliminação

    Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.

  • Página 75: Bedrijfshandleiding

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76 Algemene informatie 77 Opslag 78 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp 81 Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 551/701 SEM Navigator Afzetten van de TV 551/701 SEM Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 86...

  • Página 76: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Página 77: Algemene Informatie

    Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...

  • Página 78: Opslag

    Bedrijfshandleiding Opslag Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.

  • Página 79: Uitpakken

    Bedrijfshandleiding Uitpakken Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Uitpakken De TV 551/701 SEM Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd;...

  • Página 80: Installatie

    Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 1 Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten VOORZICHTIG! mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 2 80/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 81: Bevestiging Van De Pomp

    Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max.

  • Página 82: Gebruik

    Bedrijfshandleiding Gebruik De volgende tabel beschrijft voor elke flens het aantal benodigde klemmen IC 63250 DCMZ en met welk koppel ze aangetrokken moeten worden. Tab. 1 FLENS AANHAAL KOPPEL ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". De TV 551/701 SEM Navigator kan in alle standen worden geïnstalleerd.
  • Página 83 Bedrijfshandleiding Gebruik Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan.

  • Página 84: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 551/701 Sem Navigator

    Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 551/701 SEM Navigator Om de TV551/701 SEM Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.

  • Página 85: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen.

  • Página 86: Afvalverwerking

    Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij OPMERKING deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk.

  • Página 87: Istruktionsbog

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 93 Anvendelse Start og anvendelse af TV 551/701 SEM Navigator 95 Stop af TV 551/701 SEM Navigator 96 Nødstop Vedligeholdelse 97 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne...

  • Página 88: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

  • Página 89: Generel Information

    Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.

  • Página 90: Opbevaring

    Istruktionsbog Opbevaring I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.

  • Página 91: Forberedelse Før Installation

    Istruktionsbog Forberedelse før installation Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Forberedelse før installation TV 551/701 SEM Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage.

  • Página 92: Installation

    Istruktionsbog Installation Figur 1 Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Figur 2 92/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 93: Fastgørelse Af Pumpe

    Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk temperatur: fra +5 °C til + 35 °C (se illustrationen i bilaget “Technical Information”) relativ luftfugtighed: 0 –...

  • Página 94: Anvendelse

    Istruktionsbog Anvendelse Tab. 1 FLANGE ANT. DREJNINGS-MOMENT ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TV 551/701 SEM Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. SEM Navigator TV 551/701 kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK TV 551/701 SEM Navigator hører til den anden installationsklasse (eller FORSIGTIG!

  • Página 95: Start Og Anvendelse Af Tv 551/701 Sem Navigator

    Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på personer.

  • Página 96: Stop Af Tv 551/701 Sem Navigator

    Istruktionsbog Anvendelse For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232 “COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Technical Information”). Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 551/701’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation langsomme blink: (periode på...

  • Página 97: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Nødstop Afbrydelse af TV 551/701 SEM Navigator i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. Vedligeholdelse TV 551/701 SEM Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen.

  • Página 98: Bortskaffelse

    Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på en godkendt affaldsstation.

  • Página 99: Bruksanvisning

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar100 Allmänt Förvaring Förberedelser för installationen 103 Installation Fastsättning av pump 105 Användning Start och användning av TV 551/701 SEM Navigator Att stänga av TV 551/701 SEM Navigator 108 Nödstopp Underhåll Bortskaffande Översättning av originalinstruktionerna...

  • Página 100: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Página 101: Allmänt

    Bruksanvisning Allmänt Allmänt Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

  • Página 102: Förvaring

    Bruksanvisning Förvaring I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.

  • Página 103: Förberedelser För Installationen

    Bruksanvisning Förberedelser för installationen Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Förberedelser för installationen TV 551/701 SEM Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage.

  • Página 104: Installation

    Bruksanvisning Installation Figur 1 Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Figur 2 104/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 105: Fastsättning Av Pump

    Bruksanvisning Fastsättning av pump Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) temperatur: från +5 °C till +35 °C (se bild i “Technical Information”) relativ luftfuktighet: 0 - 95 % (utan kondens).

  • Página 106: Användning

    Bruksanvisning Användning Tab. 1 FLÄNS ANT. ÅTDRAGNINGS-MOMENT ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TV 551/701 SEM Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. TV 551/701 SEM Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA TV 551/701 SEM Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller OBSERVER!

  • Página 107: Start Och Användning Av Tv 551/701 Sem Navigator

    Bruksanvisning Användning VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador. Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av OBSERVER! turbopumpen när den är igång.

  • Página 108: Att Stänga Av Tv 551/701 Sem Navigator

    Bruksanvisning Användning Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av inledningscykeln slås av automatiskt. Därefter sker pumpens inledningar utan funktionen "Mjukstart". För att återaktivera "Mjukstart" måste man återställa ovannämnda läge genom mjukvaran (se stycket "RS 232 COMMUNICATlON DESCRIPTION" i bilagan "Technical information").

  • Página 109: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 551/701 SEM Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.

  • Página 110: Bortskaffande

    Bruksanvisning Bortskaffande Bortskaffande Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Denna symbol (som endast gäller för länder inom Europeiska gemenskapen) anger att produkten på vilken den sitter INTE kan skaffas bort tillsammans med vanligt hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.

  • Página 111: Instruksjon Manual

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 112 Generell informasjon 113 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk 118 Starte og bruke TV 551/701 SEM Navigator Stoppe TV 551/701 SEM Navigator 120 Nødstopp Vedlikehold Avhending Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen...

  • Página 112: Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper

    Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...

  • Página 113: Generell Informasjon

    Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...

  • Página 114: Lagring

    Instruksjon Manual Lagring Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.

  • Página 115: Klargjøre Til Installasjon

    Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Klargjøre til installasjon TV 551/701 SEM Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må...

  • Página 116: Installasjon

    Instruksjon Manual Installasjon Figur 1 Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Figur 2 116/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 117: Festing Av Pumpen

    Instruksjon Manual Festing av pumpen Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) temperatur: fra +5 °C til +35 °C (se diagram i tillegget “Technical Information”) relativ fuktighet: 0 - 95 % (uten kondens)

  • Página 118: Bruk

    Instruksjon Manual Bruk Tab. 1 FLENS ANT. STRAMME- MOMENT ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm For detaljer henvises det til “Technical Information”. TV 551/701 SEM Navigator kan monteres i en valgfri stilling. TV 551/701 SEM Navigator må ikke festes gjennom fundamentet. MERK TV 551/701 SEM Navigator hører til installasjonsklasse (eller FORSIKTIG!

  • Página 119: Starte Og Bruke Tv 551/701 Sem Navigator

    Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i FORSIKTIG! funksjon.

  • Página 120: Stoppe Tv 551/701 Sem Navigator

    Instruksjon Manual Bruk den lyser fast: pumpen roterer normalt den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock” den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Stoppe TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator stoppes ved å...

  • Página 121: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 551/701 SEM Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Página 122: Avhending

    Instruksjon Manual Avhending Avhending Betydning av logotypen "WEEE" som er indikert på etiketten. Symbolet nedenfor er appliserst i samovar med direktiv CE, "WEEE". Dette symbolet (gjelder bare i EU-landene) indikerer at produktet som den er applisert på IKKE må avhendes sammen med husholds- eller industriavfall, uten må...

  • Página 123: Ohjekäsikirja

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 129 Käyttö 130 TV 551/701 SEM Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 551/701 SEM Navigatorin pysäyttäminen 132 Hätäpysäytys 132 Huolto 133 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 123/276...

  • Página 124: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 124/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual /...

  • Página 125: Yleisiä Tietoja

    Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...

  • Página 126: Varastointi

    Ohjekäsikirja Varastointi Näissä käyttöohjeissa noudatetaan seuraavia merkintöjä VAROITUS! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeätä tekstistä otettua tietoa. HUOM Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu...

  • Página 127: Valmistelut Asennusta Varten127

    Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Valmistelut asennusta varten TV 551/701 SEM Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 551/701 SEM Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.

  • Página 128: Asennus

    Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.

  • Página 129: Pumpun Kiinnitys

    Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen lämpötila: + 5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla.

  • Página 130: Käyttö

    Ohjekäsikirja Käyttö Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 551/701 SEM Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. TV 551/701 SEM Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM TV 511/701 SEM Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen HUOMIO! asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää...

  • Página 131: Tv 551/701 Sem Navigatorin Käynnistys Ja Käyttö

    Ohjekäsikirja Käyttö Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä HUOMIO! laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information”...

  • Página 132: Tv 551/701 Sem Navigatorin Pysäyttäminen

    Ohjekäsikirja Käyttö TV 551/701 SEM Navigatorin pysäyttäminen TV 551/701 SEM Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).

  • Página 133: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 551/701 SEM Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en.

  • Página 134: Hävittäminen

    Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...

  • Página 135: Felhasználói Kézikönyv

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 136 Általános információk 137 Tárolás Előkészítés telepítésre 139 Telepítés A szivattyú rögzítése 141 Használat A TV 551/701 SEM Navigator bekapcsolása és használata A TV 551/701 SEM Navigator kikapcsolása Vészleállítás 144 Karbantartás Megsemmisítés 146...

  • Página 136: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...

  • Página 137: Általános Információk

    Felhasználói Kézikönyv Általános információk Általános információk A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...

  • Página 138: Tárolás

    Felhasználói Kézikönyv Tárolás Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.

  • Página 139: Előkészítés Telepítésre

    Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Előkészítés telepítésre A TV 551/701 SEM Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához.

  • Página 140: Telepítés

    Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ábra 1 Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való csatlakoztatása előtt. Ábra 2 140/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 141: A Szivattyú Rögzítése

    Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-hőmérséklet diagramot a „Technical Information”...

  • Página 142: Használat

    Felhasználói Kézikönyv Használat Tab. 1 KARIMA RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Részletes leírásért lásd „Technical Information”. A TV 551/701 SEM Navigator bármely helyzetben telepíthető. A TV 551/701 SEM Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A TV 551/701 SEM Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) FIGYELEM!

  • Página 143: A Tv 551/701 Sem Navigator Bekapcsolása És Használata

    Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához. Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat. Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A FIGYELEM! csapágyak megsérülhetnek.

  • Página 144: A Tv 551/701 Sem Navigator Kikapcsolása

    Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 551/701 SEM Navigatoron elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog; lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár” állapotban van; gyorsan villog (kb.

  • Página 145: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 551/701 SEM Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Página 146: Megsemmisítés

    Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címken jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...

  • Página 147: Podrecznik Instrukcji

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 149 Magazynowanie 150 Przygotowanie do instalacji 151 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 551/701 SEM Navigator Zatrzymanie systemu TV 551/701 SEM Navigator 156 Zatrzymanie Alarmowe 157 Konserwacja Przetworstwo odpadow...

  • Página 148: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...

  • Página 149: Ogólne Informacje

    Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...

  • Página 150: Magazynowanie

    Podrecznik Instrukcji Magazynowanie W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia : ZAGROŻENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść...

  • Página 151: Przygotowanie Do Instalacji

    Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Przygotowanie do instalacji System TV 551/701 SEM Navigator jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu;...

  • Página 152: Instalacja

    Podrecznik Instrukcji Instalacja Postać 1 Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Postać 2 152/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 153: Mocowanie Pompy

    Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w dodatku „Technical Information”) względna wilgoć...

  • Página 154: Użytkowanie

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Tab. 1 KOŁNIERZ MOMENT DOKRĘCENIA ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem „Technical Information” TV 551/701 SEM Navigator może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. System TV 551/701 SEM Navigator nie może być mocowany poprzez własną PRZYPIS podstawę.

  • Página 155: Włączenie I Użytkowanie Systemu Tv 551/701 Sem Navigator

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie ZAGROŻENIE! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach.

  • Página 156: Zatrzymanie Systemu Tv 551/701 Sem Navigator

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Pierwsze uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start który na zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się automatycznie, i dlatego też wszystkie następne uruchomienia odbywają się bez sposobu „Soft-Start” Aby móc ponownie uruchomić z “Soft-Start” należy włączyć w/w tryb poprzez oprogramowanie (patrz paragraf “RS 232/485 OPIS KOMUNIKACJI”...

  • Página 157: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 551/701 SEM Navigator należy odłączyć kabel zasilania ze sterownika. Konserwacja System TV 551/701 SEM Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć...

  • Página 158: Przetworstwo Odpadow

    Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdujące się na etykiecie napisu "WEEE" Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem zarządzenia "WEEE" Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób nim oznaczony, nie może być przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemysłowymi odpadami, lecz musi być...

  • Página 159: Návod K Použití

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160 Všeobecné informace 161 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití 166 Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Vypnutí vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Nouzové...

  • Página 160: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...

  • Página 161: Všeobecné Informace

    Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...

  • Página 162: Uskladnění

    Návod k Použití Uskladnění Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.

  • Página 163: Příprava K Instalaci

    Návod k Použití Příprava k instalaci Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Příprava k instalaci Vývěva TV 551/701 SEM Navigator se dodává ve speciálním ochranném obalu.

  • Página 164: Instalace

    Návod k Použití Instalace Postava 1 Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Postava 2 164/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 165: Montáž Vývěvy

    Návod k Použití Montáž vývěvy Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v příloze "Technical Information") relativní...

  • Página 166: Použití

    Návod k Použití Použití Tab. 1 PŘÍRUBA POČET UTAHOVACÍ MOMENT ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Viz podrobný popis v příloze "Technical Information". Vývěvu TV 551/701 SEM Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 551/701 SEM Navigator nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Podle směrnice EN 61010-1 patří...
  • Página 167 Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená k vakuové komoře. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. POZOR! Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.

  • Página 168: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 551/701 Sem Navigator

    Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Pro uvedení vývěvy TV 551/701 SEM Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”. Jakmile bude rozběhový...

  • Página 169: Údržba

    Návod k Použití Údržba Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TV 551/701 SEM Navigator v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky. Údržba Vývěva TV 551/701 SEM Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než...

  • Página 170: Likvidace

    Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...

  • Página 171: Návod Na Obsluhu

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 173 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 175 Inštalácia Upevnenie vývevy 177 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Vypnutie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Núdzové...

  • Página 172: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...

  • Página 173: Všeobecné Informácie

    Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...

  • Página 174: Uchovávanie

    Návod na Obsluhu Uchovávanie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE! Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky zhrňujú dôležité informácie, vytiahnuté z textu. POZNÁMKA Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali...

  • Página 175: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu POZOR! do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení.

  • Página 176: Inštalácia

    Návod na Obsluhu Inštalácia Postava 1 Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu POZOR! k systému. Postava 2 176/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 177: Upevnenie Vývevy

    Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť...

  • Página 178: Použitie

    Návod na Obsluhu Použitie Tab. 1 PRÍRUBA POČET UŤAHOVACÍ KRÚTIACI MOMENT ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical Information”. Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator sa nemôže upevniť...
  • Página 179 Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore. V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu POZOR! alebo prudkým pohybom.

  • Página 180: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 551/701 Sem Navigator

    Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 551/701 SEM Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný...

  • Página 181: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba NEBEZPEČÍE! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou). Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené...

  • Página 182: Likvidácia

    Návod na Obsluhu Likvidácia Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte vyplniť dotazník POZNÁMKA “Zdravie a bezpečnosť”, Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná...

  • Página 183: Priročnik Za Navodila

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 551/701 SEM Navigator 191 Izklop naprave TV 551/701 SEM Navigator Zaustavitev v sili 192 Vzdrževanje Odlaganje opadkov...

  • Página 184: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.

  • Página 185: Splošne Informacije

    Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.

  • Página 186: Shranjevanje

    Priročnik za Navodila Shranjevanje Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informaciije iz besedila.

  • Página 187: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko POZOR! vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Priprava za montažo TV 551/701 SEM Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.

  • Página 188: Montaža

    Priročnik za Navodila Montaža Slika 1 Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 2 188/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 189: Pritrjevanje Črpalke

    Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere Temperatura: od +5 °C do +35 °C (glej diagram pritisk- temperatura v prilogi “Technical Information”)

  • Página 190: Uporaba

    Priročnik za Navodila Uporaba Tab. 1 PRIROBNICA NAVOR ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm Za dodatne informacije glejte prilogo “Technical Information”. Napravo TV 551/701 SEM Navigator lahko namestite v poljuben položaj. Naprave TV 551/701 SEM Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo OPOMBA ploskvijo.

  • Página 191: Vklop In Uporaba Naprave Tv 551/701 Sem Navigator

    Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom POZOR! delovanja.

  • Página 192: Izklop Naprave Tv 551/701 Sem Navigator

    Priročnik za Navodila Uporaba Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 551/701 SEM Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti; Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«;...

  • Página 193: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 551/701 SEM Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Página 194: Odlaganje Opadkov

    Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen oznake "WEEE" na etiketah. Omenjeni znak je v skladu z direktivo ES pod imenom "WEEE". Ta znak (ki velja le v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek ne smemo odstraniti skupaj z ostalimi komunalnimi oziroma industrijskimi odpadki, temveč v skladu z določili za odlaganje posebnih odpadkov.

  • Página 195: Instructions For Use

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 196 General Information Storage Preparation for Installation 199 Installation Pump Fixing Switching on and Use of TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator Switching off 204 Emergency Stop Maintenance Disposal...

  • Página 196: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.

  • Página 197: General Information

    Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.

  • Página 198: Storage

    Instructions for Use Storage This manual uses the following conventions WARNING! Warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment Notes contain important information taken from the text.

  • Página 199: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for Installation If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Preparation for Installation The TV 551/701 SEM Navigator is supplied in a special protective packing.

  • Página 200: Installation

    Instructions for Use Installation Figure 1 Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the CAUTION! turbopump to the system. Figure 2 200/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 201: Pump Fixing

    Instructions for Use Pump Fixing Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pressure- temperature in the appendix “Technical Information”)

  • Página 202: Use

    Instructions for Use Tab. 1 FLANGE FIXING TORQUE ISO 160 K 35 Nm ISO 200 K 35 Nm See the appendix "Technical Information" for a detailed description. The TV 551/701 SEM Navigator can be installed in any position. The TV 551/701 SEM Navigator cannot be fixed by means of its base. NOTE The TV 551/701 SEM Navigator belongs to the second installation (or CAUTION!
  • Página 203 Instructions for Use WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber. Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. CAUTION! The bearings may become damaged.

  • Página 204: Switching On And Use Of Tv 551/701 Sem Navigator

    Instructions for Use Switching on and Use of TV 551/701 SEM Navigator To switch on the TV 551/701 SEM Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. The first pump start up is in “Soft Start”...

  • Página 205: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Emergency Stop To immediately stop the TV 551/701 SEM Navigator in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug. Maintenance The TV 551/701 SEM Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel.

  • Página 206: Disposal

    Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

  • Página 207: Technical Information

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator 209 Pump Description 210 Controller Description 212 Technical Specification 213 TV 551/701 SEM Navigator Outline 216 Interconnections 221 P3 – Vent P4 – External Fan 222 J1 - In-Out Signal Description 224 How to Connect the Output Open Collector of the...
  • Página 208 Technical Information Air Cooling Kit Installation 246 TV 551/701 SEM with Navigator Controller TV 551/701 SEM Pump with Standard Rack Controller Water Cooling Kit Installation Vent Accessories 252 TV 551/701 SEM Navigator Controller Compatible 252 Vent Valve mod. 969-9834 Standard Rack Controller Compatible 254 Vent Valve mod.

  • Página 209: Description Of The Tv 551/701 Navigator

    TV 551 and two models for TV 701. The models of each group differ in the high vacuum flange. The TV 551 SEM Navigator pump two models are: Model 969-8935 with ISO 160 K high vacuum flange; Model 969-8936 with ISO 160 F high vacuum flange.

  • Página 210: Pump Description

    Technical Information Pump Description Figure 3 Model 969-8935, Model 969-8936, Model 969-8937, Model 969-8938 Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Página 211 Technical Information Pump Description The Macrotorr stages are in the form of four discs. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings.

  • Página 212: Controller Description

    Technical Information Controller Description Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section. The power supply, together with the 3-phase output, converts the single phase AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump.

  • Página 213: Technical Specification

    Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 CHARACTERISTIC TV 551 SEM TV 701 SEM Pumping speed (with inlet screen) ISO160: ISO200: 550 l/s 690 l/s 600 l/s 620 l/s 510 l/s 510 l/s Compression ratio 1 x 10 1 x 10 1 x 10 1 x 10 1 x 10...
  • Página 214 Technical Information Technical Specification CHARACTERISTIC TV 551 SEM TV 701 SEM Cooling water flow: 200 l/h (0.89 GPM) temperature: + 10 ° C to + 30 °C pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi) Bakeout temperature 120 °C at inlet flange max. (CF flange) 80 °C at inlet flange max.
  • Página 215 Technical Information Technical Specification CHARACTERISTIC TV 551 SEM TV 701 SEM Serial communication (Navigator RS232 cable with a 9-pin D type male kit) connector and a 9-pin D type female connector, and Navigator software (optional) Storage temperature -20 °C to +70 °C Weight kg (lbs): pump 19.4 (43)

  • Página 216: Tv 551/701 Sem Navigator Outline

    TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551/701 SEM Navigator Outline The following figures show the TV 551/701 SEM Navigator outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 6 TV 551 SEM Navigator outline 216/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Página 217 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline Figure 7 TV 701 SEM Navigator outline TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 217/276...
  • Página 218 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551 SEM TV 701 SEM Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (with inlet screen) 218/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Página 219 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 219/276...
  • Página 220 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551 SEM TV 701 SEM Figure 10 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 220/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 221: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 551/701 SEM interconnections. Figure 11 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 221/276...

  • Página 222: P3 - Vent

    Technical Information P3 – Vent P3 – Vent Figure 12 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. P4 – External Fan Figure 13 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan.

  • Página 223: J1 - In-Out

    Technical Information J1 - In-Out J1 - In-Out Figure 14 This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 551/701 SEM Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.

  • Página 224: Signal Description

    Technical Information J1 - In-Out PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT SPARE FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) Signal Description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug &...
  • Página 225 Technical Information J1 - In-Out Figure 15 If any signal isn't applied (no connection) the pump speed is set to "High Speed" (714 Hz max and settable by window "121"). If a continuous signal is applied (pin 5 fixed at +24 V and pin 6 fixed to ground) the pump speed is set to "Low Speed".
  • Página 226 Technical Information J1 - In-Out Figure 16 The screen can be mounted on each pump model. Figure 17 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. 226/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Página 227 Technical Information J1 - In-Out PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or "low level active"...
  • Página 228 Technical Information J1 - In-Out It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency thereshold: 643 Hz hysteresis: 2 % activation type: high level delay time: 0 second The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the NOTE...

  • Página 229: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller

    Technical Information J1 - In-Out How to Connect the Output Open Collector of the Controller Here below there are the typical connections of the output open collector of TV551/701 SEM Navigator to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
  • Página 230 Technical Information J1 - In-Out Figure 21 Case 2 with relay utilization 230/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Página 231 Technical Information J1 - In-Out Figure 22 Case 2 with transistor utilization TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 231/276...

  • Página 232: J2 - Serial

    Technical Information J2 – Serial J2 – Serial Figure 23 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 551/701 SEM. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME SPARE TX (RS232) RX (RS232) SPARE...

  • Página 233: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
  • Página 234 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02 <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR>...
  • Página 235 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>...

  • Página 236: Examples

    Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 236/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Página 237 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 237/276...
  • Página 238 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR...

  • Página 239: Window-Meanings

    Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Window-Meanings Tab. 7 Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop (in remote Start = 1 mode the window is a Stop = 0 read only) Low Speed activation NO = 0 YES = 1 (default = 0) Remote (default) or Remote = 1...
  • Página 240 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Data Description Admitted Values Write Type (write only in stop) 1 = YES Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ To reset write ‘1’...
  • Página 241 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Data Description Admitted Values Write Type Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) Driving frequency in Hz Pump temperature in °C 0 to 70 Pump status...
  • Página 242 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Data Description Admitted Values Write Type Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n.

  • Página 243: Inlet Screen Installation

    Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 25 Figure 26 The inlet screens mod. 969-9304 and 969-9316 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %.
  • Página 244 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 27 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 28 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange.
  • Página 245 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 29 Figure 30 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 245/276...

  • Página 246: Air Cooling Kit Installation

    Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation TV 551/701 SEM with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9339) is available to improve the TV 551/701 SEM cooling during heavy operational conditions (optional). Figure 31 Fan specifications: air flow: 200 m input voltage: 24 Vdc dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.)
  • Página 247 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TV 551/701 SEM case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...

  • Página 248: Tv 551/701 Sem Pump With Standard Rack Controller

    Technical Information Air Cooling Kit Installation TV 551/701 SEM Pump with Standard Rack Controller When the TV 551/701 SEM pumps are used with the standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model 969-9314. Figure 33 Fan specification: air flow: 25 l/s (51 CFM) input voltage: 120 Vac 50-60 Hz...
  • Página 249 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the pump, position it ensuring that the holes in the plate line up with those in the pump base. Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver. Connect the fan to the controller.

  • Página 250: Water Cooling Kit Installation

    Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation The water cooling kit mod. 969-9347 or 969-9337 must be installed when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. Figure 35 Model 969-9337 Figure 36 Model 969-9347 250/276...
  • Página 251 Technical Information Water Cooling Kit Installation The kit is assembled as shown in the figure. Figure 37 Model 969-9347 Two rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two water cooling banjos. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system.

  • Página 252: Vent Accessories

    Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. TV 551/701 SEM Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 Figure 38 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec.
  • Página 253 Technical Information Vent Accessories Figure 39 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 40 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”).

  • Página 254: Standard Rack Controller Compatible

    Technical Information Vent Accessories Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9843 Figure 41 This vent valve has a fixed delay time of about 5 sec. This value can be used only with rack controller. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 969-9834 (see the above paragraph).
  • Página 255 Technical Information Vent Accessories The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). This value can be used only with rack controller. To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see the following figure). Figure 43 Screw the flange mod.

  • Página 256: Vibration Isolators

    Technical Information Vibration Isolators Vibration Isolators Single Damper Two vibration isolators are available as accessories. The four models part number are the following: model 969-9345 for ISO 160 K flange; model 969-9346 for ISO 200 K flange; model 969-9373 for ISO 160 F flange; model 969-9374 for ISO 200 F flange.

  • Página 257: Purge Valve Installation

    Technical Information Purge Valve Installation For more information, please refer to the relevant instruction manual. Figure 45 Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 46...

  • Página 258: Serial Cable Installation

    Technical Information Serial Cable Installation and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 47 Figure 48 Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 551/701 SEM Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer.

  • Página 259: Tv 551/701 Sem Controller Installation

    Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation TV 551/701 SEM Controller Installation The controller can be mounted in two position: bottom mounting (as per the complete system) side mounting. To install the controller execute the following procedures. Bottom Mounting See the following figure. Turn the pump upside-down;...
  • Página 260 Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation Figure 50 260/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 261: Side Mounting

    Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation Side Mounting The L-shaped bracket (P/N 969-9349) is available as an option. NOTE See the following figure. Place the L-shaped bracket on the controller, with the pump cable toward the bracket, and fix it by means of the three socket head screws M5, the washers and the nuts.

  • Página 262: Connection A - High Vacuum Flange

    Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation Figure 51 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps as shown in the figure. Figure 52 262/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Página 263: Connection Configurations

    Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation WARNING! It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "INSTRUCTION FOR USE" section. Specifically pay attention to clamp design, material of clamps and bolts and bolt fixing torque. To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange.

  • Página 264: Connection B - Fore-Vacuum Pump

    Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation Connection B - FORE-VACUUM PUMP A flange KF 25 NW is available to connect the Turbo-V551/701 SEM pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.

  • Página 265: Pump Used With Corrosive Gases

    Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Connection C – ELECTRICAL Figure 54 The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground;...
  • Página 266 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. To prevent bearing damage, Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of CAUTION! 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements.
  • Página 267 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Figure 55 Purge layout Tab. 8 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 267/276...

  • Página 268: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
  • Página 269 Technical Information Accessories and Spare Parts Description Part number Bracket for Navigator Controller side mounting 969-9349 Single vibration isolator ISO 160 K 969-9345 Single vibration isolator ISO 200 K 969-9346 Single vibration isolator ISO 160 F 969-9373 Single vibration isolator ISO 200 F 969-9374 Double vibration isolator ISO 160 F 969-9377...
  • Página 270 Technical Information Accessories and Spare Parts 270/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Página 276 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Este manual también es adecuado para:

Tv 701 sem navigator969-8935969-8936969-8937969-8938969-8976 ... Mostrar todo

Tabla de contenido