Použití - Agilent Technologies TPS-compact Serie Manual De Istrucciones

13 Návod k Použití
Použití
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při případném zahřívání vakuové komory teplota vstupní
příruby nesmí překročit 120 °C v případě příruby ConFlat a 80 °C v
případě příruby ISO.
NEBEZPEČÍ! Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k
vakuové komoře.
NEBEZPEČÍ! Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká
teplota může způsobit popáleniny.
NEBEZPEČÍ! Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího
chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám
na věcech.
204/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H)