A Turbo-V 81-M széria turbómolekuláris szivattyúit kizárólag a
megfelelő Agilent vezérlő egységek egyikével szabad használni, és a
szivattyúkat előzőleg egy elsődleges szivattyúra kell kötni (lásd a
"Technical Information" (Technical Information) részben megadott
rajzot).
Az alkalmazható vezérlő egységek a következők:
A Turbo-V 81-M bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a Turbo-V
81-Mt stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy
rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 250 Nm
tengely körüli nyomatéknak.
Például az ISO 63 karima rögzíthető nagy teherbírású acélkapcsokkal
(mint az IC 63250 DCMZ Agilent típus).
A következő táblázat megmutatja a kapcsok szükséges számát és a
hozzátartozó rögzítő nyomatékot.
Tab. 1
KARIMA
ISO 63
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd
"Technical Information".
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
RÖGZÍTŐ ESZKÖZ
M10 kapcsok
Felhasználói Kézikönyv
Telepítés
N.
RÖGZÍTŐ NYOMATÉK
4
22 Nm
11
135/237