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ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist f¸r Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten
Zusatzdokumentationen
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgem‰flem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht
autorisierten
Eingriffen
einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen
¸bernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1000 ICE E-series handelt
es
sich
um
Turbomolekularpumpen
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich insbesonders
f¸r
den
Einsatz
in
den
Halbleiterindustrie und zur Fˆrderung von jeder Art von Gasen
oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Fˆrderung von
Fl¸ssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max.
38000
Upm)
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-
V1000
ICE-E
series-Pumpen
unweltsch‰dliche Substanzen und eignen sich deshalb auch
f¸r
Anwendungszwecke,
die
vorschreiben.
In
den
folgenden
Abschnitten
Informationen f¸r die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Ger‰ts aufgef¸hrt. Detaillierte technische
Informationen
sind
im
Anhang
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaflen hervorgehoben:
! ! ! !
GEFAHR!
Die
Gefahrenhinweise
lenken
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausf¸hrung schwere Verletzungen hervorrufen
kˆnnen.
! ! ! !
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener
darauf
aufmerksam,
Sch‰den an der Anlage entstehen kˆnnen.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m¸ssen
folgende klimatische Verh‰ltnisse vorliegen:
−
Temperatur: von -20]C bis +70]C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach
extrem
langer
Lagerung
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert.
Eventuelle
Transportsch‰den
zust‰ndigen ˆrtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
f‰llt oder Stˆflen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial mufl korrekt entsorgt werden. Es ist
vollst‰ndig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
f¸r Umweltschutz.
! ! ! !
ACHTUNG!
Um
Entgasungsprobleme
Komponenten, die in Ber¸hrung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloflen H‰nden angefaflt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
genau
lesen.
Bei
und
Miflachtung
der
f¸r
Hoch-
und
verschiedenen
Gebieten
der
erzielt,
die
von
einem
enthalten
keinerlei
ein
"sauberes"
Vakuum
sind
alle
erforderlichen
"Technical
Information"
die
Aufmerksamkeit
des
dafl
bei
Nichteinhaltung
mufl
die
Pumpe
bei
m¸ssen
der
zu
vermeiden,
d¸rfen
die
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosph‰re
ausgesetzt ist, keine Sch‰den erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
! ! ! !
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschliefllich
mittels
entsprechend
Versetzungsger‰ten transportiert bzw. angehoben werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungesch¸tzt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhˆhte
Brandgefahr besteht.
Beim
Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:
−
Maximaldruck: 2 Bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
−
Temperatur: von +5?C bis +35?C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber
Einsatz
eines
entsprechend
gesch¸tzt werden.
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschlufl der Turbopumpe an die Anlage.
3
GEBRAUCHSANLEITUNG
ANMERKUNG
GEFAHR!
geeigneten
Hebe-
geeigneten
Schutzschirms
! ! ! !
ACHTUNG!
87-900-942-01(A)
bzw.
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