Tabla de contenido
Publicidad
NEIN!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzube-
hör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder
eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 70D dürfen
ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen betrie-
ben werden (Baureihen 969-9405, 969-9505, 969-9507 oder
969-9508) und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen
werden (siehe Schema "Technical Information").
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, in-
dem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 200 Nm um seine eigene Achse aushält, oder
den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung am
Sockelteil benutzen
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten
oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer ange-
schlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl
der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jeweilige
Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH
SCHELLENART
ISO 63
Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme
mit
NM8-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
"Technical Information".
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben ein-
gesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von
2
500N/mm
haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm ange-
zogen werden. Installation Sonderzubehör: siehe Anhang
"Technical Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsys-
temen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
ANZAHL ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderaus-
führungen der Pumpe Turbo-V 70D benutzt werden. Diese
Pumpen haben einen Anschluß, durch die ein Edelgasstrom
von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec fließen muß.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 70D sind wartungsfrei. E-
ventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften
vorgenommen werden.
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -
d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-
tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
6
GEBRAUCHSANLEITUNG
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
ANMERKUNG
ENTSORGUNG
87-900-861-01(G)
Publicidad
Tabla de contenido
