Página 1 TwisTorr 404 FS Pump models: X3511-64004, X3511-64005, X3511-64006, X3511-64019, X3511-64020, X3511-64021 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual...
Página 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2016 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Página 3 TwisTorr 404 FS Pump TwisTorr 404 FS Pump TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 3/328...
Página 4 TwisTorr 404 FS Pump 4/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 5: Tabla De Contenido
Contents Contents Istruzioni per l’uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 20 Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa Uso della TwisTorr 404 FS Manutenzione 29 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 37 Installation 39...
Página 6 Contents Entsorgung 46 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l’installation Installation 55 Fixation de la pompe 57 Utilisation de la TwisTorr 404 FS 59 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 63 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 65 Almacenamiento Preparación para la instalación 69...
Página 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 80 Informações gerais 81 Armazenagem 84 Preparação para a instalação 85 Instalação 87 Fixação da bomba Utilização do TwisTorr 404 FS Manutenção Eliminação 94 Bedrijfshandleiding 95 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 96 Algemene informatie Opslag Uitpakken 101...
Página 8 Contents Generel information 113 Opbevaring 116 Forberedelser før installation 117 Installation 119 Fastgøring af pumpen Anvendelse af TwisTorr 404 FS 123 Vedligeholdelse 125 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 128 Allmän information 129 Förvaring Förberedelser för installation 133 Installation 135 Fastsättning av pumpen 137 Användning av TwisTorr 404 FS 139 Underhåll...
Página 9 Contents Klargjøre til installasjon 149 Installasjon 151 Festing av pumpen 153 Bruk av TwisTorr 404 FS 155 Vedlikehold 157 Eliminering 158 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 164 Valmistelut asennusta varten165 Asennus Pumpun kiinnitys TwisTorr 404 FS käyttö 171 Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 175...
Página 10 Contents A szivattyú rögzítése 185 A TwisTorr 404 FS használata Karbantartás Megsemmisítés 190 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 192 Ogólne Informacje 193 Magazynowanie 196 Przygotowanie do instalacji 197 Instalacja Mocowanie pompy 201 Użytkowanie pompy TwisTorr 404 FS 203 Konserwacja Przetworstwo odpadow 206 13 Návod k Použití...
Página 11 Contents Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 223 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie vývevy TwisTorr 404 FS 235 Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 240 Splošne informacije 241 Shranjevanje Priprava za montažo 244...
Página 12 Contents 16 Instructions for Use 255 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 256 General Information 257 Storage Preparation for installation 261 Installation 263 Pump Fixing 265 Use of TwisTorr 404 FS 267 Maintenance Disposal 17 Technical Information 271 Description of the TwisTorr 404 FS Technical Specification 279 TwisTorr 404 FS Outline 282 Output Power during High Termperature Condition (derating) 288...
Página 13 Contents Purge Valve Installation 305 Serial Cable Installation 306 TwisTorr 404 FS On Board Controller Installation 308 Connection of the High Vacuum Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases 317 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Cleaning Accessories and Spare Parts 321 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 14 Contents 14/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 15: Istruzioni Per L'uSo
TwisTorr 404 FS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 17 Simboli di Sicurezza Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa 25 Uso della TwisTorr 404 FS 27 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 15/328...
Página 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Página 17: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Página 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Página 19: Simboli Di Sicurezza
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Simboli di Sicurezza SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e per proteggere l’apparato da eventuali danni. L’apparato è...
Página 20: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –40 °C a 70 °C ...
Página 21: Preparazione Per L'iNstallazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Dal momento che il peso della pompa è maggiore di 13 kg, la movimentazione deve essere effettuata da almeno 2 persone. La pompa TwisTorr 404 FS viene fornita in un imballo protettivo speciale;...
Página 22 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 22/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 23: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Il cavo di alimentazione del controller svolge anche la funzione di AVVERTENZA! disconnessione dall’alimentazione elettrica del controller e della pompa in caso di emergenza. Assicurarsi che il cavo di alimentazione elettrica dell’apparato possa essere facilmente raggiunto per poterlo scollegare. Prevedere uno spazio adeguato dietro la presa di alimentazione del controller per scollegare il cavo.
Página 24 Istruzioni per l’uso Installazione umidità relativa: 0 – 90 % (non condensante).  In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La pompa TwisTorr 404 FS deve essere utilizzata solo con uno degli appositi controller Agilent e deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere lo schema nell’appendice "Technical Information").
Página 25: Fissaggio Della Pompa
Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa La mancata osservazione di queste istruzioni di installazione, nel caso in cui AVVERTENZA! si verifichi un guasto del rotore, può provocare il distacco della pompa dal sistema, causando danneggiamenti, gravi ferite o morte. La TwisTorr 404 FS può...
Página 26 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa La seguente tabella descrive, per ogni flangia ISO-F, il numero di viti d’acciaio classe 12.9 necessarie e con quale coppia di serraggio stringerle secondo le raccomandazioni di Agilent. Tab. 3 FLANGIA DIMENSIONI VITI COPPIA DI SERRAGGIO ISO 100 F 35 Nm La seguente tabella descrive, per ogni flangia CF, il numero di viti...
Página 27: Uso Della Twistorr 404 Fs
Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 404 FS Uso della TwisTorr 404 FS Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare il sistema. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Página 28 Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 404 FS AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto, Argon e gas più...
Página 29: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TwisTorr 404 FS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Página 30: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Página 31: Gebrauchsanleitung
TwisTorr 404 FS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Sicherheits-Symbole 35 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 41 Verwendung der TwisTorr 404 FS Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/328...
Página 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Página 33: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Página 34 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Página 35: Sicherheits-Symbole
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Sicherheits-Symbole SYMBOL BESCHREIBUNG DES SYMBOLS Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener im Handbuch nachschlagen soll, um sich selbst und das Gerät vor Schäden zu schützen. Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener sich während des Betriebs davon fernhalten soll.
Página 36: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –40 °C bis 70 °C ...
Página 37: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Da die Pumpe über 13 kg wiegt, muss sie von mindestens zwei Personen bewegt werden. Die Pumpe TwisTorr 404 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die TwisTorr 404 FS ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Página 38 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 38/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 39: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Versorgungskabel des Controllers dient auch dazu, Controller und Pumpe WARNUNG! im Notfall von der Stromversorgung abzuschneiden. Vergewissern Sie sich, dass das Versorgungskabel leicht zugänglich ist und schnell abgezogen werden kann. Sorgen Sie dafür, dass am Versorgungsanschluss des Controllers ausreichend Platz zum Abziehen des Kabels ist.
Página 40 Gebrauchsanleitung Installation temperatur: von +5°C bis +35°C;  relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 90 % (nicht kondensierend).  Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Die Turbomolekularpumpe TwisTorr 404 FS kann nur mit einem der passenden Agilent Controller verwendet werden und muss an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema im Anhang „Technical Information“).
Página 41: Befestigung Der Pumpe
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe WARNUNG! Im Fall der Nichtbeachtung dieser Installationsanleitung kann sich bei einem Schaden am Rotor die Pumpe vom System lösen, was zu Sach- oder Personenschäden bis hin zu schweren Verletzungen und zum Tod führen kann.
Página 42 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Die folgende Tabelle nennt für jeden ISO-F-Flansch die Anzahl der erforderlichen Stahlschrauben der Klasse 12.9 und gibt an, mit welchem Drehmoment diese gemäß den Agilent-Empfehlungen angezogen werden müssen. Tab. 3 FLANSCH ABMESSUNGEN DER SCHRAUBEN ANZ. ANZUGSMOMENT ISO 100 F 35 Nm Die folgende Tabelle nennt für jeden CF-Flansch die Anzahl der...
Página 43: Verwendung Der Twistorr 404 Fs
Gebrauchsanleitung Verwendung der TwisTorr 404 FS Verwendung der TwisTorr 404 FS Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch. Für den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es möglich, das System zu erhitzen. Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Temperatur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über 120 °C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C liegen.
Página 44 Gebrauchsanleitung Verwendung der TwisTorr 404 FS Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder WARNUNG! radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Die Pumpe wurde für den Durchsatz von leichten Gasen wie Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert.
Página 45: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen TwisTorr 404 FS erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Página 46: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Página 47: Mode D'eMploi
TwisTorr 404 FS User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Symboles de sécurité 51 Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 404 FS 59 Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 47/328...
Página 48: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Página 49: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Página 50 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
Página 51: Symboles De Sécurité
Mode d’emploi Indications générales Symboles de sécurité SYMBOLE DESCRIPTION Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se reporter au mode d’emploi pour sa propre sécurité et pour ne pas endommager l’appareil. Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se tenir à distance de sécurité...
Página 52: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –40 °C à...
Página 53: Préparation Pour L'iNstallation
Mode d’emploi Préparation pour l’installation Préparation pour l’installation La pompe pesant plus de 13 kg, deux personnes minimum sont nécessaires pour la déplacer. La pompe TwisTorr 404 FS est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Página 54 Mode d’emploi Préparation pour l’installation Figure 1 54/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 55: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Le câble d’alimentation du contrôleur a également pour fonction de AVERTISSEMENT! couper l’alimentation électrique du contrôleur et de la pompe en cas d’urgence. Vérifiez que le câble d’alimentation électrique de l’appareil est facilement accessible pour pouvoir le débrancher rapidement. Prévoyez un espace suffisant derrière la prise d’alimentation du contrôleur pour pouvoir débrancher le câble.
Página 56 Mode d’emploi Installation température: de +5°C° à +35°C;  humidité relative: 0 – 90 % (non condensante).  En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". La pompe TwisTorr 404 FS doit être utilisées uniquement avec un des contrôleurs prévus Agilent et doit être reliées à...
Página 57: Fixation De La Pompe
Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas de panne du rotor, tout manquement au respect de ces instructions comporte des risques de décrochage de la pompe du système pouvant entraîner des dommages, des blessures graves ou la mort. Le TwisTorr 404 FS peut être installée dans n'importe quelle position.
Página 58 Mode d’emploi Fixation de la pompe Le tableau ci-dessous indique, pour chaque bride ISO-F, le nombre de vis en acier de classe 12.9 nécessaires et le couple de serrage à respecter selon les recommandations d’Agilent. Tab. 3 BRIDE DIMENSIONS DES VIS COUPLE DE SERRAGE ISO 100 F 35 Nm...
Página 59: Utilisation De La Twistorr 404 Fs
Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 404 FS Utilisation de la TwisTorr 404 FS Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo pompe sont contenues dans le manuel de l’unité de contrôle. Lire attentivement ce manuel avant l’emploi. Pour atteindre des pressions limites meilleures, on peut chauffer le système.
Página 60 Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 404 FS N'utilisez jamais la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosifs pouvant ATTENTION! endommager le matériau interne de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.
Página 61: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TwisTorr 404 FS ne demand aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Página 62: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Página 63: Manual De Istrucciones
TwisTorr 404 FS User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 64 Información general Símbolos usados 67 Almacenamiento Preparación para la instalación 69 Instalación Fijación de la bomba Uso de la TwisTorr 404 FS 75 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 63/328...
Página 64: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Página 65: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Página 66 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Página 67: Símbolos Usados
Manual de istrucciones Información general Símbolos usados SÍMBOLO DESCRIPCIÓN DE LOS SÍMBOLOS Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el operador debe remitirse al manual de instrucciones para protegerse de los riesgos de daño y para proteger al equipo de eventuales Daños. Cuando el equipo está...
Página 68: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –40 °C y 70 °C;...
Página 69: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación Dado que el peso de la bomba supera los 13 kg, se requieren 2 personas como mínimo para moverla. La TwisTorr 404 FS se suministra en un embalaje especial de protección;...
Página 70 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 70/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 71: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación El cable de alimentación del controlador también lleva a cabo la función de ¡ADVERTENCIA! desconexión de la alimentación eléctrica del controlador y de la bomba en caso de emergencia. Asegurarse de que se pueda acceder fácilmente al cable de alimentación eléctrica del equipo para poder desconectarlo.
Página 72 Manual de istrucciones Instalación humedad relativa: 0 – 90 % (no condensadora).  Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. La bomba TwisTorr 404 FS debe usarse exclusivamente con uno de los controladores Agilent y debe conectarse a una bomba primaria (véase esquema en el anexo “Technical Information”).
Página 73: Fijación De La Bomba
Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! La falta de cumplimiento de estas instrucciones de instalación, en caso de que se produzca una avería en el rotor, puede implicar la separación de la bomba del sistema, causando daños, heridas graves o la muerte. La TwisTorr 404 FS puede instalarse en cualquier posición.
Página 74 Manual de istrucciones Fijación de la bomba La tabla siguiente describe el número de tornillos de acero, clase 12.9, necesario para cada brida ISO-F, y el par de apriete que se debe aplicar según las recomendaciones de Agilent. Tab. 3 BRIDA DIMENSIONES DE LOS TORNILLOS PAR DE APRIETE...
Página 75: Uso De La Twistorr 404 Fs
Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 404 FS Uso de la TwisTorr 404 FS En el manual de la unidad de control se encuentran todas las instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba. Leer atentamente este manual antes de su uso. Para obtener mejores presiones de máxima es posible calentar el sistema.
Página 76 Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 404 FS ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. La bomba está diseñada para tener una alta transferencia de Nitrógeno, Argón y gases más livianos.
Página 77: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 404 FS no requiere ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Página 78: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Página 79: Manual De Istruções
TwisTorr 404 FS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 80 Informações gerais Símbolos de segurança 83 Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 89 Utilização do TwisTorr 404 FS Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 79/328...
Página 80: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Página 81: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Página 82 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à...
Página 83: Símbolos De Segurança
Manual de Istruções Informações gerais Símbolos de segurança SÍMBOLO DESCRIÇÃO DOS SÍMBOLOS O aparelho é marcado com este símbolo quando o operador deve consultar o manual de instruções a fim de se proteger contra os riscos de danos e para proteger o aparelho contra eventuais danos.
Página 84: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de -40 °C a 70 °C ...
Página 85: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação Uma vez que o peso da bomba é superior a 13 kg, a movimentação deve ser realizada por, no mínimo, duas (2) pessoas. O TwisTorr 404 FS é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Página 86 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 86/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 87: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! O cabo de alimentação do controloador também realiza a função de desconexão da alimentação eléctrica do controlador e da bomba em caso de emergência. Certifique-se de que o cabo de alimentação eléctrica do aparelho possa ser facilmente alcançado para poder desligá-lo.
Página 88 Manual de Istruções Instalação pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica;  temperatura: de +5 °C a +35 °C;  humidade relativa: 0 – 90 % (não condensante).  Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
Página 89: Fixação Da Bomba
Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! A não observância destas instruções de instalação, no caso de haver uma avaria do rotor, pode provocar a desconexão da bomba do sistema, causando danos, ferimentos graves ou morte. O TwisTorr 404 FS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TwisTorr 404 FS em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema, com uma conexão capaz de resistir a um torque de 25000 Nm ao redor do próprio eixo.
Página 90 Manual de Istruções Fixação da bomba A tabela na sequência descreve, para cada flange ISO-F, o número de parafusos de aço classe 12.9 necessários e com qual torque deverão ser apertados, de acordo com as recomendações da Agilent. Tab. 3 FLANGE DIMENSÕES DOS PARAFUSOS TORQUE DE APERTO...
Página 91: Utilização Do Twistorr 404 Fs
Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 404 FS Utilização do TwisTorr 404 FS Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler com muita atenção este manual antes do uso. Para alcançar melhores pressões limite é...
Página 92 Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 404 FS Nunca usar a bomba na presença de gases ou vapores corrosivos que possam CUIDADO! danificar os materiais internos da bomba. ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás.
Página 93: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TwisTorr 404 FS não necessita de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Página 94: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Página 95: Bedrijfshandleiding
TwisTorr 404 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Veiligheidssymbolen 99 Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 404 FS 107 Onderhoud Afvalverwerking 110 Vertaling van de originele instructies 95/328...
Página 96: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Página 97: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Página 98 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Página 99: Veiligheidssymbolen
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Veiligheidssymbolen SYMBOOL BESCHRIJVING VAN DE SYMBOLEN Het apparaat drag dit symbool alleen wanneer de bediener de handleiding moet raadplegen, teneinde zichzelf te behoeden voor letsels en het apparaat te beschermen tegen eventuele schade. Het apparaat drag dit symbool wanneer de bediener op afstand moet blijven tijdens de werking van het apparaat.
Página 100: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van -40 °C tot 70 °C ...
Página 101: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken Gezien de pomp zwaarder is dan 13 kg, zijn minstens 2 personen nodig voor de verplaatsing ervan. De TwisTorr 404 FS wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Página 102 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 102/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 103: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! De voedingskabel van de controller dient ook om de elektrische voedin van de controller en de pomp los te koppelen in een noodsituatie. Zorg ervoor dat de elektrische kabel makkelijk bereikt kan worden om losgekoppeld te worden. Voorzie voldoende ruimte achter de stroomingang van de controller om de kabel los te koppelen.
Página 104 Bedrijfshandleiding Installatie temperatuur: van +5°C tot +35°C;  relatieve vochtigheid: 0 – 90 % (niet condenserend).  In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De Turbomolecular Pump TwisTorr 404 FS mag alleen worden gebruikt met een van de speciale Agilent-controllers en moet worden aangesloten op een primaire pomp (zie het schema in de bijlage "Technical Information").
Página 105: Bevestiging Van De Pomp
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Indien deze instructies voor de installatie niet nageleefd worden en zich een defect van de rotor voordoet, kan de pomp loskomen van het systeem en schade, ernstige letsels of de dood veroorzaken. De TwisTorr 404 FS kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Página 106 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De volgende tabel geeft voor elke flens ISO-F het aantal stalen schroeven klasse 12.9 aan dat nodig is en het aanhaalkoppel om ze vast te draaien volgens de aanbevelingen van Agilent. Tab. 3 FLENS AFMETINGEN SCHROEVEN AANHAAL KOPPEL ISO 100 F 35 Nm...
Página 107: Gebruik Van De Twistorr 404 Fs
Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 404 FS Gebruik van de TwisTorr 404 FS Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan in de handleiding van de controle-eenheid. Lees de handleiding aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen. Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd worden.
Página 108 Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 404 FS WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
Página 109: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen TwisTorr 404 FS zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Página 110: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Página 111: Istruktionsbog
TwisTorr 404 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Sikkerhedssymboler Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen 121 Anvendelse af TwisTorr 404 FS 123 Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 111/328...
Página 112: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Página 113: Generel Information
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Página 114 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Página 115: Sikkerhedssymboler
Istruktionsbog Generel information Sikkerhedssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AF SYMBOLERNE Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal konsultere brugsanvisningen for at beskytte sig mod risikoen for skader, og for at beskytte enheden fra mulige skader. Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal holde sig på sikker afstand under drift af apparatet.
Página 116: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra -40 °C til +70 °C ...
Página 117: Forberedelser Før Installation
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation Da pumpens vægt er højere end 13 kg, skal befordringen foretages af mindst 2 personer. TwisTorr 404 FS leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten.
Página 118 Istruktionsbog Forberedelser før installation Figur 1 118/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 119: Installation
Istruktionsbog Installation Installation ADVARSEL! Styreenhedens netledning fungerer også som afbryder af strømforsyningen for styreenheden og pumpen i tilfælde af en nødsituation. Sørg for, at enhedens netledning nemt kan nås, således at den kan afbrydes. Sørg for tilstrækkelig plads bag stikkontakten på styreenheden til at kunne trække ledningen ud.
Página 120 Istruktionsbog Installation relativ luftfugtighed: 0 – 90 % (ikke kondenserende)  Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. Den turbomolekylær pumpe TwisTorr 404 FS må kun benyttes med en af de specielle Agilent controller og de skal tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet i bilaget "Technical Information").
Página 121: Fastgøring Af Pumpen
Istruktionsbog Fastgøring af pumpen Fastgøring af pumpen ADVARSEL! Manglende ovreholdelse af denne monteringsvejledning kan, i tilfælde af at rotoren går i stykker, medføre, at pumpen løsrives fra systemet og foråsager skader, alvorlige kvæstelser eller dødsfald. TwisTorr 404 FS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TwisTorr 404 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indløbsflange på...
Página 122 Istruktionsbog Fastgøring af pumpen Den nedenstående tabel beskriver for hver ISO-F flange det nødvendige antal stålskruer af klasse 12.9, samt det påkrævede drejningsmoment, i henhold til Agilents forskrifter. Tab. 3 FLANGE SKRUERNES MÅL ANT. DREJNINGS-MOMENT ISO 100 F 35 Nm Den nedenstående tabel beskriver for hver CF flange det nødvendige antal skruer af klasse 12.9, samt det påkrævede drejningsmoment, i henhold til Agilents forskrifter.
Página 123: Anvendelse Af Twistorr 404 Fs
Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 404 FS Anvendelse af TwisTorr 404 FS Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er indeholdt i manualen for styreenheden. Læs omhyggeligt denne manual før den anvendes. For at opnå bedre begrænsnings-tryk er det muligt at opvarme systemet. Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må...
Página 124 Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 404 FS ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Pumpen er konstrueret til at have en høj overførsel af kvælstof, argon og lettere gasser. Såfremt der er behov for at pumpe gasser, som er tungere end argon, skal man kontakte den tekniske kundeservice hos Agilent for yderligere oplysninger.
Página 125: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 404 FS kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Página 126: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Página 127: Bruksanvisning
TwisTorr 404 FS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 128 Allmän information Säkerhetssymboler131 Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 404 FS 139 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 127/328...
Página 128: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Página 129: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Página 130 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Página 131: Säkerhetssymboler131
Bruksanvisning Allmän information Säkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVNING AV SYMBOLERNA Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören hänvisas till instruktionsboken för att skydda sig mot risk för kroppsskada och för att skydda apparaten mot eventuella skador. Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören ska hålla sig på...
Página 132: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -40 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 90 % (utan kondens). ...
Página 133: Förberedelser För Installation
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Eftersom pumpens vikt överstiger 13 kg ska den hanteras av minst 2 personer. Pumpen TwisTorr 404 FS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TwisTorr 404 FS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Página 134 Bruksanvisning Förberedelser för installation Figur 1 134/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 135: Installation
Bruksanvisning Installation Installation Styrenhetens elkabeln kopplar även ur elförsörjningen till styrenheten ooch VARNING! pumpen vid nödläge. Se till att apparatens elkabel lätt kan nås för att kopplas ur. Förutse ett lmpligt utrymme bakom styrenhetens eluttag för att koppla ur kabeln. Om styrenheten inte kan installeras I systemet så...
Página 136 Bruksanvisning Installation Pumpen TwisTorr 404 FS ska endast användas med en av de speciella Agilent systemen och måste anslutas till en huvudpump (se schemat i bilagan "Technical Information"). Följande kontrollsystem finns tillgängliga: Tab. 1 PRODUKTNAMN KONTROLLSYSTEM DELNUMMER Controller Rack X3501-64016 TwisTorr Medium-TMP Rack Controller Controller onboard...
Página 137: Fastsättning Av Pumpen
Bruksanvisning Fastsättning av pumpen Fastsättning av pumpen VARNING! Om de här installationsinstruktionerna inte iakttas kan det leda till att pumpen kommer loss från systemet om det uppstår en skada på rotorn vilket orsakar allvarliga materialskador, kroppsskador eller döden. TwisTorr 404 FS kan installeras i valfri position. Fäst TwisTorr 404 FS i ett stabilt läge genom att montera pumpens intagsfläns till systemetskontrafläns med en anslutning som måste tåla ett vridmoment på...
Página 138 Bruksanvisning Fastsättning av pumpen Följande tabell beskriver, för varje ISO-F-fläns, det antal stålskruvar av klass 12,9 som krävs och åtdragningsmoment för att skruva åt dem enligt Agilents rekommendationer. Tab. 3 FLÄNS SKRUVSTORLEKAR ANT. ÅTDRAGNINGS-MOMENT ISO 100 F 35 Nm Följande tabell beskriver, för varje CF-fläns, det antal skruvar av klass 12,9 som krävs och åtdragningsmoment för att skruva åt dem enligt Agilents rekommendationer.
Página 139: Användning Av Twistorr 404 Fs
Bruksanvisning Användning av TwisTorr 404 FS Användning av TwisTorr 404 FS Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning. Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning. För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp. Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej temperaturen på...
Página 140 Bruksanvisning Användning av TwisTorr 404 FS Användn aldrig pumpen om det finns frätande gas eller ångor som kan skada OBSERVER! materialen inuti pumpen. VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Página 141: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TwisTorr 404 FS kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Página 142: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Página 143: Instruksjon Manual
TwisTorr 404 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 145 Sikkerhetssymboler Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 404 FS Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 143/328...
Página 144: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Página 145: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Página 146 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Página 147: Sikkerhetssymboler
Instruksjon Manual Generell informasjon Sikkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AV SYMBOLENE Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må konsultere brukerhåndboken for å beskytte seg mot fare for skader og for å beskytte apparatet mot eventuelle skader. Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må holde avstand mens apparatet er i drift.
Página 148: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra -40 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 90 % (uten kondensering).
Página 149: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Ettersom pumpen veier over 13 kg, skal den løftes av minst 2 personer. TwisTorr 404 FS leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Página 150 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 150/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 151: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Kontrollerens strømkabel har også som oppgave å koble fra den elektriske ADVARSEL! forsyningen til kontrolleren og pumpen i nødstilfeller. Sørg for at apparatets strømkabel er lett tilgjengelig slik at den kan kobles fra. La det være nok plass bak kontrollerens kontakt slik at kabelen kan kobles fra.
Página 152 Instruksjon Manual Installasjon Pumpen TwisTorr 404 FS skal kun brukes sammen med en av de egnede Agilent-styreenhetene og den må koples til en hovedpumpe (se skjema i tillegget "Technical Information"). Følgende styreenheter kan brukes: Tab. 1 PRODUKTNAVN STYREENHET DELENUMMER Controller Rack X3501-64016 TwisTorr Medium-TMP Rack Controller...
Página 153: Festing Av Pumpen
Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Manglende overholdelse av disse installasjonsinstruksene kan føre til at pumpen løsner fra systemet hvis rotoren ødelegges. Dette kan føre til materielle skader, alvorlige personskader eller død. TwisTorr 404 FS kan monteres i en valgfri stilling. Fest TwisTorr 404 FS i en stabil stilling ved å...
Página 154 Instruksjon Manual Festing av pumpen Tabellen nedenfor beskriver hvor mange stålskruer i klasse 12,9 som trengs per ISO-F flens, og hvilket tiltrekkingsmoment Agilent anbefaler ved stramming. Tab. 3 FLENS SKRUENES MÅL ANT. STRAMME- MOMENT ISO 100 F 35 Nm Tabellen nedenfor beskriver hvor mange skruer i klasse 12,9 som trengs per CF flens, og hvilket tiltrekkingsmoment Agilent anbefaler ved stramming.
Página 155: Bruk Av Twistorr 404 Fs
Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 404 FS Bruk av TwisTorr 404 FS Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i styreenhetens bruksanvisning. Les nøye denne manualen før du bruker pumpen. For å forbedre grensetrykket, er det mulig å varme opp pumpen. Mens oppvarmingen av vakuumkammeret pågår, må...
Página 156 Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 404 FS ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Pumpen er utformet for å overføre nitrogen, argon og lettere gasser.
Página 157: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TwisTorr 404 FS er vedlikeholdsfri.Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Página 158: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Página 159: Ohjekäsikirja
TwisTorr 404 FS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 160 Yleisiä tietoja Turvamerkit Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 169 TwisTorr 404 FS käyttö 171 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 159/328...
Página 160: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 160/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 161: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Página 162 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö-tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 162/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 163: Turvamerkit
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Turvamerkit MERKKI MERKKIEN KUVAUS Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on viitattava ohjekirjaan suojautuakseen vahingoilta ja suojatakseen laitetta mahdollisilta vahingoilta. Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on pysyttävä siitä loitolla sen toiminnan aikana. Laitteesa on tämä merkki kun käyttäjän on maadoitettava laite. TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 163/328...
Página 164: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -40 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 90 % (ei tiivistävä). ...
Página 165: Valmistelut Asennusta Varten165
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Koska pumpun paino ylittää 13 kg, sitä on liikutettava vähintään 2 henkilön toimesta. TwisTorr 404 FS pumppu toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TwisTorr 404 FS in putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Página 166 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 166/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 167: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Valvontayksikön virtajohtoa käytetään myös valvontayksikön ja pumpun VAROITUS! sähkövirran kytkemiseksi irti hätätilan syntyessä. Varmista, että laitteen virtajohtoon päästään helposti sen kytkemiseksi irti. Varmista, että valvontayksikön pistorasian taakse jätetään riittävästi tilaa johdon kytkemiseksi irti. Jos valvontayksikköä ei voi asentaan järjestelmään siten, että virtajohtoon päästään helposti, päävirransyöttöön on asennettava erilainen järjestelmä.
Página 168 Ohjekäsikirja Asennus Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TwisTorr 404 FS turbomolekyylipumppua saa käyttää vain sopivilla Agilent-säätimillä, ja se on kytkettävä pääpumppuun (ks. "Technical Information" liitteen kaaviota). Saatavilla on seuraavan tyyppisiä valvojia: Tab.
Página 169: Pumpun Kiinnitys
Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. TwisTorr 404 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TwisTorr 404 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitännällä, joka kestää...
Página 170 Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Seuraavassa taulukossa kuvataan jokaista ISO-F laippaa kohti tarvittavien teräsruuvien luokka 12.9 määrä ja niiden kiristysmomentit Agilentin antamien suositusten mukaisesti. Tab. 3 LAIPPA RUUVIEN KOKO MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI ISO 100 F 35 Nm Seuraavassa taulukossa kuvataan jokaista CF -laippaa kohti tarvittavien ruuvien luokka 12.9 määrä...
Página 171: Twistorr 404 Fs Käyttö
Ohjekäsikirja TwisTorr 404 FS käyttö TwisTorr 404 FS käyttö Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät valvontayksikön käyttöoppaasta. Lue tämä käyttöopas huolellisesti ennen käytön aloittamista. Voit saavuttaa parhaat rajapaineet lämmittämällä järjestelmän. Tyhjiökammion mahdollisen lämmittämisen yhteydessä imulaipan lämpötilan ei tule nousta 120 °C yläpuolelle ConFlat laipoituksella ja 80 °C yläpuolelle ISO laipoituksella.
Página 172 Ohjekäsikirja TwisTorr 404 FS käyttö VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu typen, argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen. Mikäli argoniin nähden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan, ottakaa yhteyttä...
Página 173: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TwisTorr 404 FS pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Página 174: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Página 175: Felhasználói Kézikönyv
TwisTorr 404 FS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Biztonsági jelzések 179 Tárolás Előkészítés telepítésre 181 Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 404 FS használata Karbantartás Megsemmisítés 190 Az eredeti utasítás fordítása 175/328...
Página 176: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Página 177: Általános Informáicó
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Página 178 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja.
Página 179: Biztonsági Jelzések
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Biztonsági jelzések JELZÉS JELZÉSEK LEÍRÁSA A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a használati útmutatást kell figyelembe vennie, hogy a önmagát és a berendezést a kártól megóvja. A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a berendezés működése alatt attól távol kell tartózkodnia.
Página 180: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -40 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 90 % (nem kondenzáló) ...
Página 181: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre Mivel a szivattyú 13 kg-nál súlyosabb, a mozgatásához legalább 2 személyre van szükség. A TwisTorr 404 FSt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. TwisTorr 404 FS A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Página 182 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 182/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 183: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés VESZÉLY! A controller tápkábele veszély esetén a szivattyú és a controller elektromos táplálásának szétkapcsolására is szolgál. Győződjön meg arról, hogy a berendezés tápkábeléhez könnyen hozzá lehessen férni azért, hogy le lehessen csatlakoztatni. Biztosítson elegendő helyet a controller csatlakozóaljzata mögött a kábel lecsatlakoztatásához. Ha a rendszerbe nem lehet telepíteni a controllert úgy, hogy a tápkábel könnyen elérhetó...
Página 184 Felhasználói Kézikönyv Telepítés relatív páratartalom: 0 – 90 % (nem kondenzáló).  Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A TwisTorr 404 FS sorozat turbinaolekuláris szivattyúját csak az egyik Agilent vezérlőegységgel szabad használni, és a szivattyút először egy primer szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd a “Technical Information”...
Página 185: A Szivattyú Rögzítése
Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ezeknek a telepítési utasításoknak figyelmen kívül hagyása, amennyiben a rotor meghibásodik, a szivattyúnak a rendszerről való leválását eredményezheti úgy, hogy a dolgokban kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A TwisTorr 404 FS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TwisTorr 404 FSt stabil helyzetben, a turbószivattyú...
Página 186 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése Az alábbi táblázatban olvasható minden ISO-F karimához a 12,9 osztályba tartozó szükséges acélcsavarok száma és a zárónyomaték mértéke az Agilent javaslata szerint. Tab. 3 KARIMA CSAVARMÉRETEK RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 100 F 35 Nm Az alábbi táblázatban olvasható minden CF karimához 12,9 osztályba a szükséges csavarok száma és a zárónyomaték mértéke az Agilent javaslata szerint.
Página 187: A Twistorr 404 Fs Használata
Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 404 FS használata A TwisTorr 404 FS használata A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet! A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet melegíteni.
Página 188 Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 404 FS használata VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! A szivattyút úgy tervezétk, hogy nitrogén, argon és más könnyebb gázok jó átvitelét biztosítsa.
Página 189: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TwisTorr 404 FS típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Página 190: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Página 191: Podrecznik Instrukcji
TwisTorr 404 FS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Zastosdowane symbole 195 Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 197 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 404 FS 203 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 191/328...
Página 192: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Página 193: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Página 194 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Página 195: Zastosdowane Symbole
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Zastosdowane symbole SYMBOL OPIS SYMBOLU Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi zajrzeć do instrukcji obsługi, aby zabezpieczyć się przed zagrożeniem obrażenia i zabezpieczyć urządzenie przed ewentualnymi uszkodzeniami. Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi znajdować...
Página 196: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy przestrzegać następujących zaleceń: podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie  należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: temperatura: od -40 °C do 70 °C  względna wilgoć·od 0 do 90 % ( bez opar) ...
Página 197: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Ponieważ ciężar pompy przekracza 13 kg, przemieszczanie musi być wykonywane przez co najmniej 2 osoby. Ponpa TwisTorr 404 FS jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń, do których mogłoby dojść...
Página 198 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Postać 1 198/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 199: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja ZAGROZENIE! Kabel zasilający sterownika pełni również funkcję odłączania od zasilania elektrycznego sterownika i pompy w przypadku wystąpienia sytuacji awaryjnej. Upewnić się, czy kabel zasilający urządzenia jest łatwodostępny w celu odłączenia go. Należy przewidzieć odpowiednią ilość miejsca za gniazdkiem zasilania sterownika, aby można było odłączyć...
Página 200 Podrecznik Instrukcji Instalacja maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym;  temperatura: od +5 °C do +35 °C;  względna wilgoć 0 – 90 % (bez opar).  W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się...
Página 201: Mocowanie Pompy
Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie tych instrukcji dotyczących instalacji może, w przypadku powstania usterki wirnika, spowodować odłączenie się pompy od systemu, a w konsekwencji doprowadzić do uszkodzeń sprzętu, obrażeń cielesnych osób a nawet śmierci. Pompa TwisTorr 404 FS może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji.
Página 202 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Poniższa tabela określa, dla każdego kołnierza ISO-F, ilość potrzebnych stalowych śrub klasy 12.9 oraz moment ich dokręcania zgodnie z zaleceniami Agilent. Tab. 3 KOŁNIERZ WYMIARY ŚRUB ILOŚĆ MOMENT DOKRĘCENIA ISO 100 F 35 Nm Poniższa tabela określa, dla każdego kołnierza CF, ilość potrzebnych śrub klasy 12.9 oraz moment ich dokręcania zgodnie z zaleceniami Agilent.
Página 203: Użytkowanie Pompy Twistorr 404 Fs
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 404 FS Użytkowanie pompy TwisTorr 404 FS Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania pompy turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania jednostki kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać wspomniane instrukcje. By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie, przewidziane zostało ewentualne nagrzanie systemu. Podczas ewentualnego nagrzewania kamery próżniowej, temperatura na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać...
Página 204 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 404 FS ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Pompa jest zaprojektowana w taki sposób, aby możliwy był szybki przesył...
Página 205: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 404 FS nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Página 206: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdującego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem dyrektywy Unii Europejskiej nazywanej WEEE. Symbol ten (obowiązujący tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób, który nim został oznaczony NIE może być...
Página 207: Návod K Použití
TwisTorr 404 FS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 208 Všeobecné informace 209 Bezpečnostní symboly 211 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 404 FS 219 Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 207/328...
Página 208: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Página 209: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Página 210 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.
Página 211: Bezpečnostní Symboly
Návod k Použití Všeobecné informace Bezpečnostní symboly SYMBOL POPIS SYMBOLŮ Zařízení je označeno tímto symbolem, když musí obsluha vycházet z návodu, aby byla chráněna před riziky ublížení na zdraví a poškození zařízení. Zařízení je označeno tímto symbolem, když se obsluha musí během činnosti zařízení...
Página 212: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -40 °C až 70 °C ...
Página 213: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vzhledem k tomu, že hmotnost čerpadla je větší než 13 kg, manipulace musí být provedena nejméně dvěma osobami. Vývěva TwisTorr 404 FS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní...
Página 214 Návod k Použití Příprava k instalaci Obrázek 1 214/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 215: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Napájecí kabel řídící jednotky slouží také k odpojení elektrického napájení NEBEZPEČÍ! samotné řídící jednotky i vývěvy v nouzovém stavu. Ujistěte se, že je možné snadno dosáhnout kabelu elektrického napájení za účelem jeho odpojení. Zajistěte vhodný prostor za napájecí zásuvkou řídící jednotky kvůli odpojení...
Página 216 Návod k Použití Instalace V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěvu TwisTorr 404 FS lze používat výhradně ve spojení s některým ze speciálních řídicích zařízení Agilent a musí být připojena k primárnímu čerpadlu (viz schéma v dodatku „Technical Information“).
Página 217: Upevnění Vývěvy
Návod k Použití Upevnění vývěvy Upevnění vývěvy NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě výskytu poruchy rotoru způsobit oddělení čerpadla od systému, s následným vážným zraněním nebo dokonce smrtí. Vývěvu TwisTorr 404 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte vývěvu TwisTorr 404 FS ve stabilní...
Página 218 Návod k Použití Upevnění vývěvy Níže uvedená tabulka popisuje pro každou přírubu ISO-F potřebný počet ocelových šroubů třídy 12.9 a utahovací moment šroubů, který je doporučen firmou Agilent. Tab. 3 PŘÍRUBA ROZMĚRY ŠROUBŮ POČET UTAHOVACÍ MOMENT ISO 100 F 35 Nm Níže uvedená...
Página 219: Použití Vývěvy Twistorr 404 Fs
Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 404 FS Použití vývěvy TwisTorr 404 FS Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto příručku pozorně přečtěte. Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla zahřát. Při zahřívání...
Página 220 Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 404 FS NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva byla navržena pro vysoký přenos dusíku, argonu a dalších lehčích plynů. V případě, že by s ní...
Página 221: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TwisTorr 404 FS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Página 222: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Página 223: Návod Na Obsluhu
TwisTorr 404 FS User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 224 Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly 227 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy233 Použitie vývevy TwisTorr 404 FS 235 Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 223/328...
Página 224: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Página 225: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Página 226 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...
Página 227: Bezpečnostné Symboly
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly SYMBOL POPIS SYMBOLOV Zariadenie je označené týmto symbolom, keď musí pracovník vychádzať z návodu, aby chránil sám seba, predchádzal rizikám úrazu a poškodenia zariadenia. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď sa pracovník musí počas činnosti zariadenia zdržiavať...
Página 228: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -40 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 90 % (bez kondenzácie) ...
Página 229: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Vzhľadom k tomu, že hmotnosť čerpadla je väčšia ako 13 kg, manipulácia musí byť vykonaná najmenej dvoma osobami. Výveva TwisTorr 404 FS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.
Página 230 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Obrázok 1 230/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 231: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Napájací kábel riadiacej jednotky slúži aj na odpojenie elektrického NEBEZPEČÍ! napájania samotnej riadiacej jednotky i vývevy v núdzovom stave. Uistite sa, že kábel elektrického napájania je ľahko prístupný, kvôli jeho odpojeniu. Zaistite vhodný priestor za napájacou zásuvkou riadiacej jednotky, kvôli odpojeniu kábla.
Página 232 Návod na Obsluhu Inštalácia V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Vývevu TwisTorr 404 FS je možné používať výhradne s niektorým z príslušných kontrolných zariadení Agilent a musí byť zapojená na primárne čerpadlo (viď...
Página 233: Upevnenie Vývevy233
Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže, v prípade výskytu poruchy rotora, spôsobiť oddelenie vývevy od systému, s následným vážnym zranením alebo dokonca smrťou. Vývevu TwisTorr 404 FS je možné inštalovať v ľubovoľnej polohe. Upevnite vývevu TwisTorr 404 FS do stabilnej polohy, a to tak, že vstupnú...
Página 234 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Nižšie uvedená tabuľka popisuje pre každú prírubu ISO-F potrebný počet oceľových skrutiek triedy 12.9 a doťahovací moment skrutiek, odporúčaný firmou Agilent. Tab. 3 PRÍRUBA ROZMERY SKRUTIEK POČET UŤAHOVACÍ KRÚTIACI MOMENT ISO 100 F 35 Nm Nižšie uvedená...
Página 235: Použitie Vývevy Twistorr 404 Fs
Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 404 FS Použitie vývevy TwisTorr 404 FS Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla, sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto príručku pozorne preštudujte. Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém vyhriať. Pri zahrievaní...
Página 236 Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 404 FS NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva bola navrhnutá pre vysoký prenos Dusíka, Argónu a ďalších ľahších plynov.
Página 237: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Výveva TwisTorr 404 FS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Página 238: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Página 239: Priročnik Za Navodila
TwisTorr 404 FS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Varnostni znaki Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 404 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 239/328...
Página 240: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Página 241: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Página 242: Varnostni Znaki
Priročnik za Navodila Splošne informacije Varnostni znaki ZNAK OPIS ZNAKOV Ta znak na napravi pomeni, da mora upravljavec v uporabniškem priročniku poiskati navodila glede zaščite pred tveganji telesnih poškodb in poškodb naprave. Ta znak na napravi pomeni, da se upravljavec delujoči napravi ne sme približevati.
Página 243: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -40 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 90 % (brez kondenza) ...
Página 244: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Ker teža črpalke presega 13 kg, sta za njeno prestavljanje potrebni najmanj dve osebi. Črpalka TwisTorr 404 FS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju embalaže pazite pazite, da vam črpalka TwisTorr 404 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem.
Página 245 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 245/328...
Página 246: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Električni napajalni kabel krmilnika služi tudi za izklop električnega SVARILO! napajanja krmilnika in črpalke v primeru sile. Poskrbite, da bo napajalni kabel naprave prosto dostopen, tako da po potrebi lahko vtič izvlečete iz vtičnice. Zagotovite dovolj prostora v predelu za napajalno vtičnico krmilnika, tako da lahko izvlečete vtič...
Página 247 Priročnik za Navodila Montaža V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Turboreolekularna črpalka TwisTorr 404 FS se lahko uporablja samo z ustreznimi krmilniki Agilent in mora biti priključena na primarno črpalko (glej sliko v dodatku “Technical Information”).
Página 248: Pritrditev Črpalke
Priročnik za Navodila Pritrditev črpalke Pritrditev črpalke SVARILO! Neupoštevanje teh navodil glede namestitve lahko v primeru okvare rotorja povzroči odklop črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. TwisTorr 404 FS lahko montirate v številne pozicije. TwisTorr 404 FS namestite v stabilen položaj tako, da pritrdite vhodno prirobnico turbočrpalke na števno prirobnico s tako spojko, ki lahko prenaša navor 25000 Nm okoli svoje osi.
Página 249 Priročnik za Navodila Pritrditev črpalke V naslednji tabeli je navedeno število jeklenih vijakov razreda 12.9, ki so potrebni za vsako prirobnico in zatezni moment vijačenja slednjih po priporočilih Agilent. Tab. 3 PRIROBNICA VELIKOSTI VIJAKOV NAVOR ISO 100 F 35 Nm V naslednji tabeli je navedeno število jeklenih vijakov razreda 12.9, ki so potrebni za vsako prirobnico in zatezni moment vijačenja slednjih po priporočilih Agilent.
Página 250: Uporaba Črpalke Twistorr 404 Fs
Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 404 FS Uporaba črpalke TwisTorr 404 FS Vsa navodila za pravilno delovanje turbočrpalke se nahajajo v priročniku kontrolne enote. Pazljivo preberite ta priročnik pred uporabo. Za dosego boljših mejnih pritiskov je možno segreti sistem. Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in 80 stopinj C s prirobnicami ISO.
Página 251 Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 404 FS SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je zasnovana za prenos velike količine dušika, argona in lažjih plinov. Če bi želeli črpati pline, ki so težji od argona, se posvetujte s službo za tehnično pomoč...
Página 252: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke TwisTorr 404 FS ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Página 253: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Página 254 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 254/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 255: Instructions For Use
TwisTorr 404 FS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Safety Symbols 259 Storage Preparation for installation 261 Installation Pump Fixing Use of TwisTorr 404 FS Maintenance Disposal Original Instructions 255/328...
Página 256: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Página 257: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Página 258 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Página 259: Safety Symbols
Instructions for Use General Information Safety Symbols SYMBOL SYMBOL DESCRIPTION The apparatus is marked with this symbol when the user should refer to the instruction manual in order to protect risk of harm to the operator and to protect the apparatus against damage. The apparatus is marked with this symbol when the user should stay clear during operation of the apparatus.
Página 260: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -40 °C to 70 °C ...
Página 261: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation Because the pump weight exceeds 13 kg, handling must be executed by at least 2 operators. The TwisTorr 404 FS pump is supplied in a special protective pack- ing. If this shows signs of damage which may have oc-curred during transport, contact your local sales office.
Página 262 Instructions for Use Preparation for installation Figure 1 262/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 263: Installation
Instructions for Use Installation Installation WARNING! The power cord of the controller is defined as disconnecting device in order to remove the power from the pump and the contoller in case of an emergency. Make sure the power connector of the instrument can be easily reached and unplugged.
Página 264 Instructions for Use Installation relative humidity: 0 – 90 % (non-condensing).  In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TwisTorr 404 FS pump must be used in conjunction with one of the suitable Agilent controller and must be connected to a primary pump (see "Technical Information").
Página 265: Pump Fixing
Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The TwisTorr 404 FS can be installed in any position.
Página 266 Instructions for Use Pump Fixing The following table describes, for each ISO-F flange, the required number of steel screws class 12.9 and the tightening toque according to Agilent’s recommendations. Tab. 3 FLANGE SCREW SIZES FIXING TORQUE ISO 100 F 35 Nm The following table describes, for each CF flange, the required number of screws class 12.9 and tightening torque according to Agilent’s recommendations.
Página 267: Use Of Twistorr 404 Fs
Instructions for Use Use of TwisTorr 404 FS Use of TwisTorr 404 FS All the instructions to correctly use the turbopump are contained in the controller manual. Read carefully this manual before use the pump. To obtain better limit pressures it is possible to heat the pump.
Página 268 Instructions for Use Use of TwisTorr 404 FS WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas.
Página 269: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 404 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Página 270: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Página 271: Technical Information
TwisTorr 404 FS User Manual Technical Information Description of the TwisTorr 404 FS Pump Description 277 Technical Specification TwisTorr 404 FS Outline Output Power during High Termperature Condition (derating) Interconnections 290 Earth (Ground) Connection Connection C – Electrical Soft Start Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation TwisTorr 404 FS with TMP Rack Controller...
Página 272 Technical Information Procedure to Connect the Serial and I/O ports to an External Cable 306 TwisTorr 404 FS On Board Controller Installation 308 Side Mounting Connection of the High Vacuum Flange 311 Installation of ISO-K Flange Installation of ISO-F Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump 316 Pump Used with Corrosive Gases...
Página 273: Description Of The Twistorr 404 Fs
Technical Information Description of the TwisTorr 404 FS Description of the TwisTorr 404 FS The TwisTorr 404 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 404 FS pump models are: X3511-64004 TwisTorr 404 FS ISO100K KF25 Air Cooling ...
Página 274 Technical Information Description of the TwisTorr 404 FS Figure 3 Model X3511-64004 Figure 4 Model X3511-64005 274/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 275 Technical Information Description of the TwisTorr 404 FS Figure 5 Model X3511-64006 Figure 6 Model X3511-64019 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 275/328...
Página 276 Technical Information Description of the TwisTorr 404 FS Figure 7 Model X3511-64020 Figure 8 Model X3511-64021 276/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 277: Pump Description
Technical Information Description of the TwisTorr 404 FS Pump Description The TwisTorr 404 FS pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 2.5 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Página 278 Technical Information Description of the TwisTorr 404 FS If the thermistor reading exceeds 60 °C the pump fails and stops with Error Code = 2. If the thermistor reading is below 0 °C, the pump fails and stops with Error Code = 1 (see Controller Manual). The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange.
Página 279: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 5 Technical Specification Pumping speed (♦) 380 l/s 505 l/s 415 l/s 340 l/s Max gas throughput (**) (■) Air cooling Water cooling (with recommended forepump) 4.3 mbar l/s – 255 SCCM 6.1 mbar l/s – 365 SCCM 1.5 mbar l/s –...
Página 280 Technical Information Technical Specification Inlet flange CFF 6” ISO 100F ISO 100K Foreline flange KF25 NW Rotational speed Auto setting from 40800 RPM to 49500 RPM Start-up time < 5 minutes Recommended forepump mechanical: DS302 dry pump: IDP-10 Operating position Operating ambient temperature +5 °C to +35 °C Relative humidity of air...
Página 281 Technical Information Technical Specification Weight kg (lbs): CFF 6" 22.4 kg (49.4) ISO 100K 22.4 kg (49.4) ISO 100F 22.4 kg (49.4) Mean values based on a significative sample (Ar and N2 compression ratio estimated); (■) standard deviation per test: noise pressure level: ± 10%. Estimated values (♦) TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 282: Twistorr 404 Fs Outline
Technical Information TwisTorr 404 FS Outline TwisTorr 404 FS Outline The following figures show the TwisTorr 404 FS (dimensions are in mm [inches]). Figure 9 TwisTorr 404 FS (X3511-64004+X3501-68001) 282/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 283 Technical Information TwisTorr 404 FS Outline Figure 10 TwisTorr 404 FS (X3511-64005+X3501-68001) TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 283/328...
Página 284 Technical Information TwisTorr 404 FS Outline Figure 11 TwisTorr 404 FS (X3511-64006+X3501-68001) 284/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 285 Technical Information TwisTorr 404 FS Outline Figure 12 TwisTorr 404 with water cooling kit (X3511-64019) TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 285/328...
Página 286 Technical Information TwisTorr 404 FS Outline Figure 13 TwisTorr 404 with water cooling kit (X3511-64020) 286/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 287 Technical Information TwisTorr 404 FS Outline Figure 14 TwisTorr 404 with water cooling kit (X3511-64021) TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 287/328...
Página 288: Output Power During High Termperature Condition (Derating)
Technical Information Output Power during High Termperature Condition (derating) Output Power during High Termperature Condition (derating) An enhanced power derating is implemented to provide the following benefits: Immediate auto-detection of changing requirements in the  application. Dynamic TMP performance adapting to application conditions for ...
Página 289 Technical Information Output Power during High Termperature Condition (derating) An example of the trend of the derating curves implemented to optimize the vacuum performances is reported in figure 15. Figure 15 Figure caption: Example of a power limit curve Furthermore, the final power limit curves also minimize mechanical stress to extend the pump reliability through a smart rotational frequencies management.
Página 290: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 404 FS interconnections. EARTH GROUND FORELINE CONTROLLER CONNECTION Figure 16 Earth (Ground) Connection It is required to connect the pump to protective earth with a M5 screw (marked thread in the pump envelope) using a green/yellow wire of size AWG 16.
Página 291: Connection C - Electrical
Technical Information Interconnections Connection C – Electrical Figure 17 The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, and pin E is connected to the pump ground; pins H and G are not connected.
Página 292: Soft Start
Technical Information Soft Start Soft Start To start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 404 FS, it’s recommended to enable the “Soft Start” function; this allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default. NOTE To enable the “Soft Start”...
Página 293: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation Figure 18 The inlet screen mod. 9699302 (ISO100-CFF6”), prevents the blades of the pump from being damaged by debris. The inlet screen, however, reduces the pumping speed as followed: Reduction in pumping speed (%) 9699302 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Página 294 Technical Information Inlet screen installation Figure 19 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 20 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains inside the pump profile.
Página 295: Air Cooling Kit Installation Twistorr 404 Fs With Tmp Rack Controller
Technical Information Air Cooling Kit Installation TwisTorr 404 FS with TMP Rack Controller Air Cooling Kit Installation TwisTorr 404 FS with TMP Rack Controller When the pump is used with the TMP rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model X3501-68001. Figure 21 Fan specifications: air flow: 187 m...
Página 296 Technical Information Air Cooling Kit Installation TwisTorr 404 FS with TMP Rack Controller power input: 4.6 W  dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.)  To fix the fan to the pump bottom; Position it ensuring that the two slotted-holes in the sheet plate are alined with the 2 holes in the pump base shown in the image 22.
Página 297: Twistorr 404 Fs With On Board Controller
Technical Information TwisTorr 404 FS with On Board Controller TwisTorr 404 FS with On Board Controller An air cooling kit (model 9699297) is available to improve the TwisTorr 404 FS cooling during heavy operational conditions (optional). Figure 23 Fan specifications: air flow: 187 m ...
Página 298 Technical Information TwisTorr 404 FS with On Board Controller To fix the fan to the pump bottom; Tear out the little rectangular sheet metal plate from the rest of the fan. Position this rectangular plate and the fan ensuring that the the 3 holes in the sheet plate are alined with the 3 holes in the pump base as shown in the image 24.
Página 299: Water Cooling Kit Connection
Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection The TwisTorr 404 FS pump has a water cooling loop made of a corrosion resistant stainless steel pipe with two standard 1/8 G connections. Two types of water cooling kits are available to be mounted. The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model).
Página 300 Technical Information Water Cooling Kit Connection The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 27 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the stainless-steel pipe with a recommended closing torque of 5 Nm. Figure 28 300/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 301 Technical Information Water Cooling Kit Connection Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Página 302: Vent Accessories
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. TwisTor 404 FS On Board Controller Compatible Vent Valve mod. 9699834 Figure 29 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec.
Página 303 Technical Information Vent Accessories Figure 30 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 31 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”).
Página 304: Tmp Rack Controller Compatible Vent Valve Mod. X3501- 68002
Technical Information Vent Accessories TMP Rack Controller Compatible Vent Valve mod. X3501-68002 Figure 32 This vent valve has a fixed delay time of about 2 sec. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 9699834 (see the above paragraph). 304/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 305: Purge Valve Installation
Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 33 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as...
Página 306: Serial Cable Installation
Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TwisTorr 404 FS Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Página 307 Technical Information Serial Cable Installation Take care to have a good contact between the metallic case and the external NOTE shield of the wire. Moreover, this operation has to be done at least on the controller side. In this way, you will be sure to reduce the influence of the external noise and to accomplish the EMC requests.
Página 308: Twistorr 404 Fs On Board Controller Installation
Technical Information TwisTorr 404 FS On Board Controller Installation TwisTorr 404 FS On Board Controller Installation The controller can be mounted in two positions: bottom mounting (as per the complete system);  side mounting.  To install the controller execute the following procedures. Bottom Mounting See the following figure 37.
Página 309: Side Mounting
Technical Information TwisTorr 404 FS On Board Controller Installation Figure 37 Side Mounting The L-shaped bracket (P/N X3511-68003) is available as an option. NOTE See the following figure. Place the L-shaped bracket on the controller, with the pump cable toward the bracket, and fix it by means of the three socket head screws M5, the washers and the nuts;...
Página 310 Technical Information TwisTorr 404 FS On Board Controller Installation Place the bracket on the pump bottom (the hole on the bracket has the same diameter as the pump bottom flange); Screw a little bit the three screws M6 in the holes on the pump bottom;...
Página 311: Connection Of The High Vacuum Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Connection of the High Vacuum Flange In the case the rotor is suddenly blocked, the torque arising from the system and the high vacuum flange must be absorbed. Only the components listed in the following can be used to fasten the pump to the high vacuum flange.
Página 312: Installation Of Iso-K Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps (high resistance 12.9 Agilent IC 63250 DCMZ) as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 39 Use the required number of claw clamps: 10 for ISO 100 K flange...
Página 313: Installation Of Iso-F Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-F Flange For ISO-F flange connections, fix the two flanges with the high resistance 12.9 screws as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 40 Use the required number of hex screws: 8 for ISO 100 F flange ...
Página 314: Installation Of Conflat Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Installation of ConFlat Flange For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the high resistance 12.9 screws as shown in the following figures (a protective screen can optionally be used). Figure 41 Use the required number of screws: 16 for CFF 6”...
Página 315 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 315/328...
Página 316: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 25 is available to connect the TwisTorr 404 FS pump to the forevacuum pump. The TwisTorr 404 FS pump is characterized by its high compression ratio also NOTE for oil vapors.
Página 317: Pump Used With Corrosive Gases
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Página 318 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 42 Purge layout 318/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 319: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Página 320: Cleaning
Technical Information Cleaning Cleaning The Exterior surfaces of the turbo pump may be cleaned with mild detergent only. 320/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01...
Página 321: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 6 Accessories and spare parts DESCRIPTION PART NUMBER Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699958 Mains cable European Plug, 3m long 9699957 Mains cable UK Plug, 3m long X3501-68005 Mains cable China Plug 8121-0723 Serial cable and A-plus...
Página 322 Technical Information Accessories and Spare Parts Vent valve Rack extension cable 20m long X3501-68074 Vent valve Rack extension cable 30m long X3501-68084 Vent valve Rack extension cable 50m long X3501-68034 Vent valve Rack extension cable 75m long X3501-68094 Vent valve Rack extension cable 100m long X3501-68104 Purge valve 10 SCCM NW16KF –...
Página 328 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Este manual también es adecuado para:

X3511-64004 X3511-64005 X3511-64006 X3511-64019 X3511-64020 X3511-64021

Agilent Technologies TwisTorr 404 FS Serie Manual De Istrucciones

Enlaces rápidos

Capítulos

Manuales relacionados para Agilent Technologies TwisTorr 404 FS Serie

Resumen de contenidos para Agilent Technologies TwisTorr 404 FS Serie