12.5 Utilisation du diaphragme de ouverture (AS)
La valeur de l'ouverture numérique (A.N.) du diaphragme d'ou-
verture affecte le contraste de l'image. Augmenter ou diminuer
cette valeur en fonction de l'ouverture numérique de l'objectif
modifie la résolution, le contraste et la profondeur de champ de
l'image.
1. Déplacez le bouton du diaphragme ④ (Fig. 24) pour ouvrir
ou fermer le diaphragme à la position souhaitée.
•
Pour les échantillons à faible contraste, réglez la valeur de
l'ouverture numérique à environ 70%-80% de la A.N. de
l'objectif. Si nécessaire, retirer un oculaire et, en regardant
dans le support d'oculaire vide, ajuster l'écrou à anneau du
condensateur jusqu'à l'obtention d'une image comme celle
de la Fig. 19.
12.6 Utilisation des filtres
1. Insérez le filtre ① dans l'une des deux fentes ② en haut de
l'illuminateur pour la lumière réfléchie. (Fig. 25)
Filtre
Bleu
Convertit la température de couleur de la
source à celle de la lumière du jour
Vert
Augmente le contraste en photographie noir
Jaune
Filtre de contraste pour l'observation de wafer
Blanc givré
Réduit les irrégularités d'éclairage en créant
12.7 Utilisation de la lumière polarisée
1. Déplacer le polariseur "PO" dans le chemin optique. (Fig. 26)
2. Déplacer l'analyseur "AN" dans le chemin optique. (Fig. 27)
Application
et blanc
et de semi-conducteurs
un champ de vision homogène
①
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④
F ig. 24
F
ig. 24
②
F ig. 25
F
ig. 25
F ig. 26
F
ig. 26
F ig. 27
F
ig. 27