Tabla de contenido
Publicidad
NEJ!
! ! ! !
ADVARSEL!
For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst
årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsåbning.
Det
anbefales
beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en
vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på
pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til
underlagspladen.
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
"Technical Information" for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i V 250 serien må kun anvendes
med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9423,
969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866) og skal
forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical
Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den
fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres
til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 1000 Nm omkring aksen. Pumpen kan
også fastspændes ved hjælp af det særlige udstyr, der fås på
efterspørgsel.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og
det
anvendte
tilspændingsmoment
flangedimensioner og typer af klemmer.
FLANGE
KLEMMETYPE
ISO 100
Dobbelt klemme,
gevind M10
Enkelt klemme,
gevind M8
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til "Teknisk information".
For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at
anvende tre M4-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens
fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm
skruernes korrekte tilspændingsmoment er 0,9 Nm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
at
anvende
et
for
de
enkelte
ANTAL
TILSPÆNDING-
SMOMENT
4
22 Nm
8
11 Nm
2
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen
på indgangsflangen ikke overstige 120°C.
Brug altid vandafkøling under opvarmningen.
! ! ! !
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
Undgå stød eller pludselig flytning af turbopumpen, mens den
er i drift. Lejerne kan beskadiges.
Brug kun specialpumperne af Turbo - V 250 typen til pumpning
af ætsende luftarter. Disse pumper er forsynede med en særlig
åbning, gennem hvilken den passive luftarts strømning skal
ligge mellem 0.4 og 1 mbar l/s.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af TURBO-V 250 typen behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
! ! ! !
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis
en
pumpe
skal
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
14
BRUGSANVISNING
ADVARSEL!
! ! ! !
PAS PÅ
! ! ! !
PAS PÅ
! ! ! !
PAS PÅ
ADVARSEL!
BEMÆRK
skrottes,
skal
dette
87-900-851-01(A)
foregå
i
Publicidad
Tabla de contenido
