Figura 6 – Retardo de inicio del funcionamiento de la bomba turbomolecular con una bomba
3.9.2
Conexión de un vacuómetro
No conecte manómetros de capacitancia Baroce al conector de manómetros de la T-Station. Si lo hace,
el manómetro podría sufrir daños que invalidarían la garantía.
Se puede conectar un único manómetro activo compatible a la T-Station. Acople el manómetro con un cable para
manómetros activos de Edwards en el conector de manómetro situado en el lateral de la carcasa del controlador
(consulte la
Figura
1). Para el control y configuración del manómetro activo, consulte la
Los siguientes manómetros activos de Edwards son adecuados para su uso con la T-Station:
Vacuómetro Pirani activo APG100
Manómetro activo de convección lineal APGX-H
Manómetro de magnetrón activo invertido AIM-X
Manómetro activo de amplio intervalo WRG-S
Manómetro de tensión activo ASG
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de diafragma XDD1
Periodo de retardo (s)
PRECAUCIÓN
D395-93-888 Issue A
Sección
4.3.2.
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