Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses
pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical
Information".
A TPS-mini -ot bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a TPS-
mini -ot stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy
rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 50 Nm
tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy peckekkel
kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő táblázat mindegyik
rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok vagy peckek szükséges
számát és a hozzátartozó rögzítő nyomatékot.
Tab. 1
KARIMA
ISO 63
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd
„Technical Information".
ATPS-mini nem rögzíthető az alapján keresztül.
MEGJEGYZÉS
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical
Information".
VESZÉLY!
A rendszert úgy kell telepíteni,hogy a táp könnyen megszakítható legyen.
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
RÖGZÍTŐ ESZKÖZ
M10 kapcsok
M8 kapcsok
Felhasználói Kézikönyv
N.
RÖGZÍTŐ NYOMATÉK
4
22 Nm
4
11 Nm
11
Telepítés
179/318