Seleccionar Modo Prueba De Precisión O Prueba Bruta Sólo; Sensibilidad Del Sistema - Varian 979 Serie Manual De Funcionamiento

Detector de Fugas Espectrómetro de Masas por Medio de Helio Modelo Serie 979
2.6.5.2 Seleccionar Modo Prueba de Precisión o Prueba Bruta Sólo
Toque el cuadro conmutador USAR PRUEBA DE PRECISIÓN (PRUEBA BRUTA SÓLO) para
alternar el detector de fugas entre un modo de funcionamiento de prueba de precisión
(normal) y un modo de prueba de fugas bruta sólo.
MODO PRUEBA DE
PRECISIÓN
PRUEBA BRUTA SÓLO

2.6.5.3 Sensibilidad del Sistema

Tabla 2-5 y Tabla 2-6 muestran matrices de sensibilidad para realizar pruebas de Precisión y
Brutas usando configuraciones de sensibilidad estándar y alta.
Sistema de Alta Sensibilida
Sistema de Sensibilidad
Estándar
2-24
Cuando se muestra USAR PRUEBA DE PRECISIÓN (modo
de funcionamiento normal), el detector de fugas prueba
automáticamente fugas brutas y después pasa a prueba de
precisión si no se detectan fugas brutas.
Cuando se muestra PRUEBA BRUTA SÓLO (función sólo
disponible en configuraciones de bomba mecánica dual),
el detector de fugas no pasa a modo PRUEBA DE
PRECISIÓN. Esta función es útil para calificar partes que
tengan una tasa extrañamente alta de defectos de fuga
bruta antes de la prueba de fugas de precisión.
El sistema de Alta Sensibilidad del 979 puede alcanzar una
-10
sensibilidad de 10
sensibilidad se puede alcanzar a una presión de
transferencia de 100 mTorr. Las condiciones de alto fondo
ambiental de helio pueden evitar pruebas de
-10
10 atm cc/seg a presiones relativamente altas. La
capacidad de fuga máxima detectable en el modo
CONTRA-FLOW para configuraciones de bomba de
pre-vacío/vacío principal es 9.9 x 10
escala completa en rango 10
El sistema de Sensibilidad Estándar del 979 puede alcanzar
una sensibilidad de 10
sensibilidad se puede alcanzar a una presión de
transferencia de 100 mTorr. Las condiciones de alto fondo
ambiental de helio pueden evitar pruebas de
-10
9 atm cc/seg a presiones relativamente altas. La
capacidad de fuga máxima detectable en el modo
CONTRA-FLOW para configuraciones de bomba de
pre-vacío/vacío principal es 9.9 x 10
de escala completa en rango 10
atm cc/seg (5E-11 MDL). Esta
-5
atmc/seg (lectura de
-5
).
-9
atm cc/seg (5E-10 MDL). Esta
-4
atm cc/seg (lectura
-4
).