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Detector de Fugas Espectrómetro de Masas por Medio de Helio Modelo Serie 979
Tabla 3-2 Tabla de Estado de Válvulas del 979 - Sistema de Bomba Mecánica Dual
Estado de
Funcionamiento del 979
PURGAR
DETECCIÓN
PRELIMINAR
PRUEBA BRUTA
CONTRA-FLOW
ETAPA MEDIA
MODO DE VENTILACIÓN
*A – Abierta
**C – Cerrada
FUGA BRUTA
OPCIÓN
VÁLVULA DE AGUJA
V8 BRUTA
VÁLVULA DE FUGA
FUGA CALIBRADA
Figura 3-7 Diagrama del Sistema de Vacío del 979
V1
V2
A*
C**
C
A
C
A
C
A
C
C
C
A
PRUEBA
PUERTO
DETECCIÓN PRELIMINAR
V1 PURGAR
PUERTO DE PRUEBAS
V6 PUERTO DE PRUEBAS
V7 (3 VÍAS)
V4 ETAPA MEDIA
V2
V5 ALTO VACÍO
VACÍO PRINCIPAL
B
BOMBA
V4
V5
V6
C
A
C
C
C
A
C
A
A
A
C
A
OPCIÓN DE FUGA BRUTA
B
DETECCIÓN PRELIMINAR
VÁLVULA
BOMBA
SISTEMA
TP
TP
TURBO
BOMBA
V7
V8
C
C
C
C
C
C
C
C
A
A
C
C
A
C
C
A
C
C
ESPECTRÓMETRO
TUBO
3-9
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