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Conexiones del panel posterior
La figura siguiente muestra la ubicación en el panel posterior de los
conectores que se utilizan para hacer funcionar el módulo con dispositivos
externos.
Panel posterior del módulo:
Alimentación
Vacío de la
fuente
Salida de gases de la fuente
1-22
Especificaciones y modos de funcionamiento
Entradas y salidas
de eventos
Cable Ethernet
blindado
Control de la bomba
de pre-vacío
Vacío de la bomba
turbomolecular
Entrada de gas de la
cámara de colisión
Entrada de nitrógeno
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