Mode D'EMploi - Varian Turbo-V 1000 ICE E-series Manual De Instrucciones

INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V1000 ICE E-series sont des
pompes turbomoléculaires conçues pour des applications
de vide poussé et ultrapoussé, particulièrement adaptées à
l'utilisation dans les secteurs liés à l'industrie des semi-
conducteurs et elles sont appropriées pour le pompage de
n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne
sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de
particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-
V1000 ICE-E series sont totalement dépourvues d'agents
polluants et sont par conséquent indiquées pour les
applications exigeant un vide "propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
! ! ! !
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.
! ! ! !
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra
veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:
−
température: de - 20°C - à + 70°C
−
humidité relative 0 - 95 % (non condensante)
Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en
marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
! ! ! !
ATTENTION!
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
à l'utilisateur de lire
avant certaines
5
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
! ! ! !
DANGER!
En vertu de son poids, la pompe doit être manipulée à l'aide
d'outils de levage et de déplacement appropriés.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque
fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions
environnementales suivantes:
−
pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
−
température: de +5°C° à +35°C
−
humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".
! ! ! !
ATTENTION!
N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.

MODE D'EMPLOI

élevé d'incendie. Pendant
87-900-942-01(A)
le