NEJ!
! ! ! !
ADVARSEL!
For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst
årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet
(på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper
eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal
turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen.
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
"Technical Information" for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i V1000 ICE-E series serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9464 220 V, 969-9564 120V) og skal forbindes med en
primær pumpe (se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den
fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres
til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 4668 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og
det
anvendte
tilspændingsmoment
flangedimensioner og typer af klemmer.
FLANGE
KLEMMETYPE
ISO 200
Dobbelt klemme,
gevind M10
Enkelt klemme,
gevind M10
For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at
anvende tre M6-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens
fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm
skruernes korrekte tilspændingsmoment er 4,5 Nm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen
på indgangsflangen ikke overstige 80°C.
Brug altid vandafkøling under opvarmningen.
for
de
enkelte
ANTAL
TILSPÆNDING-
SMOMENT
6
23 Nm
12
23 Nm
2
! ! ! !
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet
med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne.
! ! ! !
Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af TURBO-V1000 ICE-E series typen behøver ikke
nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal
foretages af autoriseret personale.
! ! ! !
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis
en
pumpe
skal
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
14
BRUGSANVISNING
ADVARSEL!
! ! ! !
PAS PÅ
! ! ! !
PAS PÅ
! ! ! !
PAS PÅ
ADVARSEL!
ADVARSEL!
BEMÆRK
skrottes,
skal
dette
87-900-942-01(A)
foregå
i