Varian Turbo-V 81-M Manual De Instrucciones página 42

Bombas turbomoleculares
Tabla de contenido

Publicidad

Idiomas disponibles
  • MX

Idiomas disponibles

  • MEXICANO, página 13
Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-M należy używać
wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Varian i muszą być
one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w
"Informacje Techniczne ").
Kontrolery będące w dyspozycji są następujące:
-
Rack controller 81-AG: 969-8988
-
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
-
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
-
PCB 24 V 969-9538
Turbo-V 81-M może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Zamocować Turbo-V 81-M w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 1000 Nm wokół własnej osi.
Na przykład kołnierz ISO 63 może być zamocowany z
zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu
Varian IC 63250 DCMZ).
Niniejsza tabela przedstawia dla każdego wymiaru kołnierza,
ilość potrzebnych zacisków i moment na jaki trzeba je dokręcić.
KOŁNIERZ
TYP
ZACISKU
ISO 63
Podwójny zacisk
z gwintem M10
Pojedynczy zacisk
z gwintem M8
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem "Informacje
Techniczne"
INFORMACJA
Turbo-V 81-M nie może być mocowany poprzez własną podstawę.
Turbo-V 81-M należy do drugiej kategorii instalacji (lub
nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego
też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te
wymogi.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne".
UŻYTKOWANIE
Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania
pompy turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania
jednostki kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać
wspomniane instrukcje.
By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie, przewidziane
zostało ewentualne nagrzanie systemu.
Podczas
ewentualnego
nagrzewania
temperatura na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać
120 °C z wywiniętym kołnierzem ConFlat oraz 80 °C i z
wywiniętym kołnierzem ISO.
Zawsze
stosować
chłodzenie
nagrzewania.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz
wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty
z kołnierzem zamknięcia.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas
operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować
uszkodzenia ciała na osobach.
Unikać
uderzeń,
wahań
turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub
obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
Nr.
MOMENT
DOKRĘCENIA
4
22 Nm
4
11 Nm
UWAGA !
kamery próżniowej,
wodne
podczas
fazy
UWAGA !
lub
gwałtownych
przesunięć
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar ( ponad
ciśnienie atmosferyczne).
Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie
przepływ obojętnego gazu (Azot i Hel) dla zabezpieczenia
łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne").
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych,
łatwo
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.
KONSERWACJA
Pompy z serii Turbo-V 81-M nie wymagają żadnej konserwacji.
Jakakolwiek
interwencja
upoważniony personel.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego
Varian
service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu
w zastępstwie uszkodzonego systemu.
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub
advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i
przekazać
do
miejscowego
„Bezpieczeństwo i Zdrowie" załączoną do niniejszej instrukcji.
Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do
opakowania systemu przed jego wysyłką.
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
PRZETWORSTWO ODPADOW
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo
"WEEE".
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia
"WEEE" Unii Europejskiej.
Symbol
ten
(prawomocny
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony
NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi
domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany
w
miejscu
przeznaczonym
zroznicowanej .
Dlatego
tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej
weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie
sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca
urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu.
39
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
palnych
lub
radioaktywnych,
musi
być
wykonana
lub
"Varian
advanced
INFORMACJA
biura
sprzedaży
tylko
w
krajach
dla
odpadow
do
87-900-983-01(B)
należy
przez
exchange
kartę
Unii
przerobki

Publicidad

Tabla de contenido
loading

Este manual también es adecuado para:

969-8901969-8902969-8903969-8904

Tabla de contenido