Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu
používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení
Varian a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému
v materiále "Technical Information").
K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia:
-
Rack controller 81-AG: 969-8988
-
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
-
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
-
PCB 24 V 969-9538
Zariadenie Turbo-V 81-M môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe.. Upevnite Turbo-V 81-M do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 1000 Nm okolo
svojej osi.
Napríklad príruba typu ISO 63 môže byť pripevnená oceľovými
svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Varian IC 63250
DCMZ). Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby
potrebný počet svoriek a príslušný upevňovací krútiaci moment.
PRÍRUBA
UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
ISO 63
svorky M10
kleštiny M8
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian.
Podrobné
informácie
„Technické informácie".
POZNÁMKA
Zariadenie Turbo-V 81-M sa nemôže upevniť pomocou vlastnej
základne.
UPOZORNENIE
Zariadenie
Turbo-V
81-M
(prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie
je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje
uvedenej kategórii.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku "Technické
Informácie".
POUŽITIE
Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla,
sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto
príručku pozorne preštudujte.
Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém
vyhriať.
Pri zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota na vstupnej
prírube prekročiť hodnotu 120°C u obrubového systému
ConFlat a 80°C u obrubového systému ISO.
Pri vyhrievaní používajte vždy chladenie vodou.
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho
príslušenstva.
Vysoké
popáleniny
POČET
UŤAHOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
sa
nachádzajú
v dodatku
patrí
do
druhej
inštalačnej
teploty
môžu
spôsobiť
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa
poškodiť ložiská.
Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,
zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe
musí byť nižší než 2 bar (pretlakový).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie
agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu
(Dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok
„Technické informácie").
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
ÚDRŽBA
Čerpadlá série Turbo-V 81-M nevyžadujú žiadnu údržbu.
Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný
personál.
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko
spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia.
Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte
vyplniť dotazník "Zdravie a bezpečnosť",
Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.
Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s
názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,
že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s
bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí
odstrániť ako delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za
účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.
45
NÁVOD K POUŽITIU
UPOZORNENIE
VAROVANIE!
VAROVANIE!
POZNÁMKA
LIKVIDÁCIA
87-900-983-01(B)