Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-M lze používat jen
ve spojení s některým ze speciálních controllerů Varian a musí
být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu
Technické informace).
Jsou k dispozici následující controllery:
-
Rack controller 81-AG: 969-8988
-
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
-
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
-
PCB 24 V 969-9538
Vývěvu Turbo-V 81-M lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
Turbo-V 81-M upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 1000 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO 63 lze připevnit příchytkami z vysoce pevné
oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující
tabulka uvádí nezbytný počet příchytek pro každou přírubu a
příslušný utahovací moment.
PŘÍRUBA
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
ISO 63
Příchytky M10
Příchytky M8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit
k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Vývěvu Turbo-V 81-M nelze připevnit pomocí její podstavy.
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 81-M do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou
uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto
příručku pozorně přečtěte.
Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla
zahřát.
Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na
vstupní přírubě překročit 120°C v případě příruby typu ConFlat
a 80°C v případě příruby ISO.
Při zahřívání používejte vždy chlazení vodou.
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu
(Dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
"Technické informace").
POČET
UTAHOVACÍ
MOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
ÚDRŽBA
Čerpadla řady Turbo-V 81-M nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.
Níže
uvedený
symbol
pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro
státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto
označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními
domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho
předat do patřičných provozních sběren, kde musí být
tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby
se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který
se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek
postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
42
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VÝSTRAHA!
VÝSTRAHA!
POZNÁMKA
"Health and Safety" (Zdraví a
LIKVIDACE
odpovídá
směrnicím
87-900-983-01(B)
CE