Varian Turbo-DRY 65 Manual De Instrucciones página 12

ANMERKUNG
Die Turbo-DRY-Einheit muß so installiert werden,
daß eine unbehinderte
gesamten Einheit gewährleistet ist.
Die Turbo-DRY-Einheit darf nicht in Umgebungen
installiert bzw.
Witterungseinflüssen
Staub und aggressiven Gasen ausgesetzt sind und
in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr
besteht.
Die Turbo-DRY-Einheit muß in einer stabilen Lage
installiert werden,
Turbopumpe muß
Gegenflansch angeschlossen werden. Die Pumpe
muß um die eigene Achse einem Drehmoment von
200 Nm standhalten.
Hinsichtlich genauerer Angaben zum Anschluß der
Turbopumpe an die Vakuumkammer wird auf die
entsprechenden technischen
verwiesen.
BEDIENUNG
! ! ! !
Betrieben Sie die Turbopumpe nie, ohne daß der
Einlaßflansch an die Anlage angeschlossen oder
geöffnet ist.
!
ACHTUNG!
Jeder Betrieb der Turbo-DRY-Einheit in einer
Umgebung, die keine ausreichende Luftkühlung
gewährleistet, ist in jedem Fall zu vermeiden.
Die für den
Höchsttemperatur beträgt 120°C.
In den nachstehenden Abschnitten wird die
Bedienung der Einheit beschrieben.
Zu- und Abschaltung der Turbo-DRY-Einheit
Drücken Sie zur Zu- und Abschaltung der Turbo-
DRY-Einheit die auf der vorderen Schalttafel
befindliche Taste "POWER".
Die erfolgte Zuschaltung der Turbo-DRY-Einheit
wird durch Aufleuchten
Leuchtschalters angezeigt.
Luftzirkulation
benutzt werden,
(Regen, Frost, Schnee),
der Einlaßanschluß
an einen feststehenden
Anleitungen
GEFAHR!
Einlaßflansch geltende
des weißen
Betrieb in "Low Speed"-Status
Drücken Sie die auf der vorderen Schalttafel der
Turbo-DRY-Einheit befindliche Taste "Low Speed",
der
um die
Betriebsgeschwindigkeit zu versetzen.
Die Zuschaltung
die
Betriebsgeschwindigkeit wird durch Aufleuchten
des grünen Leuchtschalters angezeigt.
Normalbetrieb
Während des normalen Betriebs der Turbo-DRY-
Einheit sind
der erforderlich. Das auf der vorderen Schalttafel der
Turbo-DRY-Einheit befindliche grüne LED leuchtet
auf, wenn die Pumpe die jeweils maximal
zulässige Rotationsgeschwindigkeit erreicht hat
(sowohl im "Low Speed"-Status als auch bei hohen
Betriebsgeschwindigkeiten).
Betriebsstörungen
Sobald eine Betriebsstörung vorliegt, wird dies
durch Aufleuchten des auf der vorderen Schalttafel
befindlichen gelben LEDs angezeigt.
In diesem Fall muß die Turbo-DRY-Einheit sofort
über den Hauptschalter abgeschaltet werden.
Abschaltung in Notfällen
Zur Abschaltung in besonderen Notfällen, wenn
beispielweise der Hauptschalter "POWER" defekt
sein sollte, kann die Turbo-DRY-Einheit über
Ziehen des Netzsteckers abgeschaltet werden.
WARTUNG
Die Turbo-DRY-Einheit ist wartungsfrei. Eventuell
erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem
Fachpersonal ausgeführt werden.
Wenden Sie sich bei Störungen einer zur Turbo-
DRY-Einheit
Varian-Kundendienst.
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BEDIENUNGSANLEITUNG
Turbpumpe in
der
keine besonderen
gehörenden Baugruppe
87-900-895-01(A)
langsame
langsamen
Vorgänge
an den