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INFICON
5.8.3 Configuración recomendada de la instalación para el
LDS-Retrofit-Kit-manual-de-instrucciones-jinb10es1-02-(1901)
modo de servicio GROSS con el módulo de bomba
Fig. 6: Configuración de vacío LDS1000 para modo GROSS con módulo de bombeo
1 Módulo del espectrómetro de
masas
2 Módulo de bomba (opción)
3 Tubo coaxial
4 Cruceta
5 Bomba turbomolecular
6 Espectrómetro de masas
7 Conexión FINE
8 Punto de medición de presión pv
9 Fuga calibrada interna (opción)
10 Punto de medición de presión de
la cámara de inspección
La presión de entrada máxima al LDS1000 es de 3 mbar. La tasa de fuga mínima
detectable de helio es de 3,5·10
tasa de fuga de helio detectable es de 3·10
esté abierta, se determina la tasa de fuga mínima detectable de helio mediante la
relación de la capacidad de aspiración del módulo de la bomba (2) y el estado de la
bomba de vacío (15). Si se cierra la válvula de la bomba (14), la disposición a presión
11 Espécimen
12 Cámara de inspección
13 Suministro de gas de prueba
14 Válvula de la bomba
15 Estado de la bomba de vacío
16 Válvula de entrada
17 Pieza en T
18 Conexión GROSS
19 Conexión del módulo de bomba
(opción)
-10
mbar·l/s. Con una presión de entrada de 3 mbar, la
-5
mbar·l/s. Mientras la válvula de la bomba
Instalación | 5
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