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INFICON
5.8.5 Modo de servicio LDS3000
Modo de servicio
GROSS
Modo de servicio FINE
Modo de servicio
ULTRA
LDS-Retrofit-Kit-manual-de-instrucciones-jinb10es1-02-(1901)
de helio mediante la emisión de gas total de todo el sistema de vacío. Si se cierra la
válvula de la bomba, la disposición a presión de entrada constante alcanza la máxima
sensibilidad del sistema general a esta presión de entrada.
LDS3000 dispone de tres modos de servicio posibles para las aplicaciones de vacío:
• GROSS
• FINE
• ULTRA
LDS3000 funciona con dos números de revoluciones de turbobombas seleccionables:
• 1000 Hz
• 1500 Hz
En el modo de servicio GROSS, el LDS3000 se encuentra en la disposición de
medición menos sensible con un tiempo de reacción considerablemente retardado
con presiones de entrada muy altas de 18 mbar (1000 Hz). El límite de detección es
-9
de 1·10
mbar·l/s. Si selecciona un número de revoluciones de 1500 Hz, el límite de
-8
detección baja a 2·10
mbar·l/s con una presión de entrada máxima de hasta 15 mbar
debido a la elevada compresión de la bomba turbomolecular.
El modo de servicio FINE tiene una sensibilidad mayor (respecto a la de GROSS) de
-11
1·10
mbar·l/s a 1000 Hz, a una presión de entrada reducida de 0,9 mbar.
En el modo de servicio ULTRA, el LDS3000 se encuentra en la disposición de
medición más sensible. Esta disposición logra tanto la máxima capacidad de
aspiración de 6 l/s, como la máxima sensibilidad de 5·10
mediante la variación del número de revoluciones de la turbobomba.
Instalación | 5
-12
mbar·l/s (a 1000 Hz)
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