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5 | Instalación
5.8.4 Configuración recomendada de la instalación para el
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de entrada constante alcanza la máxima sensibilidad del sistema general a esta
presión de entrada. La válvula de la bomba solo puede estar cerrada cuando la
capacidad de aspiración del módulo de la bomba es tan grande que la presión de
vacío en la cámara de inspección no sube (> 3 mbar).
modo de servicio FINE con el módulo de bomba
Fig. 7: Configuración recomendada de la instalación para el modo de servicio FINE con el
módulo de bomba
1 Módulo del espectrómetro de
masas
2 Módulo de bomba (opción)
3 ---
4 Cruceta
5 Bomba turbomolecular
6 Espectrómetro de masas
7 Conexión FINE
8 Punto de medición de presión pv
9 Fuga calibrada interna (opción)
La presión de entrada máxima es de 0,3 mbar. La tasa de fuga mínima detectable del
-7
helio es de 7·10
mbar·l/s con una presión de entrada de 0,3 mbar. Siempre que la
válvula de la bomba (14) esté abierta, se determina la tasa de fuga mínima detectable
10 Punto de medición de presión de
la cámara de inspección
11 Objeto de prueba
12 Cámara de inspección
13 Suministro de gas de prueba
14 Válvula de la bomba
15 Estado de la bomba de vacío
16 Válvula de entrada
17 Conexión del módulo de bomba
(opción)
LDS-Retrofit-Kit-manual-de-instrucciones-jinb10es1-02-(1901)
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