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INFICON
5.8.6.3 Configuración de vacío LDS3000 para el modo de servicio
LDS-Retrofit-Kit-manual-de-instrucciones-jinb10es1-02-(1901)
• Capacidad de aspiración: ≥ 2,5 m
• Presión final (total): ≤ 6·10
GROSS con el módulo de bomba
Fig. 9: Configuración de vacío LDS3000 para el modo de servicio GROSS con el módulo de
bomba
1 Módulo del espectrómetro de
masas
2 Bomba turbomolecular
3 Punto de medición de presión pv
4 Fuga calibrada externa
5 Cruceta DN 16 KF
6 Módulo de bomba (opción)
7 Punto de medición de presión de
la cámara de inspección
8 Conexión ULTRA
3
/h
-3
mbar
9 Cámara de inspección
10 Suministro de gas de prueba
11 Conexión FINE
12 Objeto de prueba
13 Válvula de entrada
14 Válvula de la bomba
15 Bomba previa
Instalación | 5
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