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ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist f¸r Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte
der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten
Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch
teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgem‰flem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und
Miflachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden
Bestimmungen ¸bernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V 70D handelt es sich um Tur-
bomolekularpumpen f¸r Hoch- und Ultrahochvakuumanwendun-
gen. Sie eignen sich f¸r jede Art von Gas oder gashaltige Gemi-
sche, nicht jedoch zur Fˆrderung von Fl¸ssigstoffen oder Festpar-
tikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 75000 Upm) erzielt, die von einem Hochleistungsdreh-
strommotor angetrieben wird. Die Turbo-V 70D-Pumpen enthalten
keinerlei unweltsch‰dliche Substanzen und eignen sich deshalb
auch f¸r Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vor-
schreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informatio-
nen f¸r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Ger‰ts aufgef¸hrt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaflen hervorgehoben:
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners
auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Aus-
f¸hrung schwere Verletzungen hervorrufen kˆnnen.
!
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Be-
diener darauf aufmerksam, dafl bei Nichteinhaltung Sch‰den an
der Anlage entstehen kˆnnen.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Hˆchstmafl an Effizienz und Zuverl‰ssigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gew‰hrleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
•
W‰hrend des Transports, der Handhabung und der Einlage-
rung der Pumpen d¸rfen die folgenden Grenzwerte nicht ¸-
berschritten werden:
•
Temperatur: von ñ20 [C bis 70 [C
•
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
•
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
•
Die Lagerdauer f¸r eine Turbomolekularpumpe betr‰gt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gr¸nden die genan-
nte Frist ¸berschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zur¸ckzusenden. F¸r Informationen wenden Sie sich bitte an den
ˆrtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportsch‰den m¸ssen der zust‰ndigen ˆrtlichen
Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht f‰llt
oder Stˆflen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial mufl korrekt entsorgt werden. Es ist
vollst‰ndig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 f¸r
Umweltschutz.
!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, d¸rfen die Komponenten,
die in Ber¸hrung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloflen
H‰nden angefaflt werden. Immer Handschuhe oder einen ande-
ren geeigneten Schutz tragen.
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosph‰re aus-
gesetzt ist, keine Sch‰den erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubver-
schmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die unge-
sch¸tzt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressi-
ven Gasen sind und in denen Explosions- und erhˆhte Brandge-
fahr besteht.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
−
Maximaldruck: 2 Bar
−
Temperatur: von +59C bis +359C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms gesch¸tzt werden.
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschlufl der Turbopumpe an die Anlage.
3
GEBRAUCHSANLEITUNG
ACHTUNG!
ANMERKUNG
!
ACHTUNG!
87-900-861-01(E)
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