Figura 2-2 Vistas trasera y lateral
Artículo
Descripción
1
Conexión de vacío de la
bomba de vacío
preliminar
2
Suministro de aire (gas1/
gas2)
3
Suministro de escape de
la fuente
4
Conexión de
comunicación de la
fuente
Guía del usuario del sistema
RUO-IDV-05-6808-ES-A
Materiales principales
Aluminio (conector de
manguera), acero con plancha
de zinc (abrazadera de
manguera)
Plástico
Acero inoxidable
Aluminio
Principios de funcionamiento
Para obtener más
información...
Póngase en contacto con un
representante del servicio técnico.
Consulte la Guía de planificación
del centro. El tubo del suministro de
gas 1/gas 2 se conecta a este puerto.
Consulte la Guía de planificación
del centro. El tubo del suministro de
gas de escape de la fuente se conecta
a este puerto.
Póngase en contacto con un
representante del servicio técnico.
Serie de instrumentos 4500
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